晶体生长炉籽晶杆高精度回转夹具结构

介绍了晶体生长炉籽晶杆高精度回转夹具的结构及工作原理,对现有的籽晶杆回转夹具进行了分析,从定位原理,不同直径大小籽晶杆的通用性及籽晶杆的径向跳动误差值大小等方面进行了详细分析,找出了定位长度短是影响夹具旋转精度的主要因素。设计并制作了一种由两个同轴安装的三爪卡盘组成的高精度回转夹具,由限制籽晶杆的两个自由度转变为限制籽晶杆的四个自由度,提高了定位精度,通过实验测定工作时的径向跳动,误差值大幅减小,提高了回转精度。

籽晶杆转动电源的研制

在晶体生长技术中 ,籽晶的转动是不可少的。众所周知 ,转动对温场的均匀性、促进熔体中熔液的混合及环流的产生等起着至关重要的作用。在某些特殊品种中 ,使籽晶或坩埚作正反向变速转动是得到优质晶体的重要因素之一。我们针对顶部籽晶熔盐法生长的一些晶体(如KTP、BTO等 ) ,研制了一种简单而实用的换向变速旋转电源 ,用于驱动籽晶杆或坩埚。电源驱动的负荷为 30ZYW永磁直流电机 ,额定电压 9V。电源是用一个集成组件 5 5 5构成的多谐振荡器产生三角波。随后以运算放大器 741构成跟随器 ,以起到阻抗变换和隔离作用。再由一个运放 741进行电压放大并使三角波过零 ,以达到电机加减速正反方向旋转的目的。最后由运放和达林顿管构成功率放大器 ,使输出信号满足电机所需功率要求。电源输出信号- 7.5～ + 7.5V ,输出波形为过零三角波 ,加减速周期分档并连续可调。几年来 ,顶部籽晶熔盐法的生长实践表明 ,籽晶交替换向变速旋转的结果使搅拌更充分 ,最大限度地防止了层流生成 ,使晶体的散射缺陷大大减少。晶体质量明显优于以前采用的籽晶匀速旋转方法。

GaAs高压单晶炉框架式籽晶杆传动头的设计

GaAs高压单晶炉是生产GaAs单晶的设备 ;它主要包括机架 (底座 )、籽晶杆传动头、坩埚杆传动头、炉膛及电气控制部分。重点对籽晶杆传动头的框架结构设计和参数的确定进行了讨论。

单晶炉籽晶杆的热处理

本文介绍了4Cr13籽晶杆的热处理,讨论了影响淬火变形及表面质量的因素,重点讨论了淬火趁热校直原理及操作方法和步骤.