300mm硅晶圆粗抛速率优化

针对直径300 mm硅晶圆的粗抛,研究了不同稀释比例的FA/O型硅片粗抛液对硅去除速率的影响,发现按1∶30的体积比稀释时硅片背面去除速率偏低。通过深入分析1∶30的稀释体积比下温度与硅去除速率的关系,对抛光液和工艺进行调整优化,提高了硅片去除速率。优化结果表明,硅晶圆背面和正面抛光的启动温度和最高温度均上升了约1℃,同时5.5 min内背面去除量由3.34μm增至3.67μm,15 min内正面去除量由10.075μm提高到12.285μm,均满足工业要求。进而对抛光液循环使用寿命进行了验证,结果表明FA/O型硅粗抛液使用寿命可达300 min,有利于降低生产成本。

碱性铜粗抛液中各组分对铜去除速率的影响

针对不含腐蚀抑制剂苯并三唑(BTA)的碱性铜粗抛(P1)液,研究各成分对铜膜去除速率的影响,选出一种合适的具有高速率的碱性铜粗抛液。实验结果表明:当SiO2磨料体积分数为0.25%、螯合剂(FA/OⅡ)体积分数为0.3%、氧化剂体积分数为0.05%、非离子表面活性剂体积分数为0.3%时,此抛光液铜膜去除速率为602.364 nm/min,达到了工业去除速率的要求,对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜膜表面的形貌具有较好的改善作用。

稀释倍数对弱碱性铜粗抛液性能的影响

研究了三种不同稀释倍数的弱碱性铜粗抛液,原液采用商用FA/O型铜抛光液,稀释倍数分别为1倍、3倍和5倍。基于化学机械抛光(CMP)作用机理,在相同工艺条件下分析了三种粗抛液对铜膜的平均去除速率、片内非均匀性(WIWNU)和平坦化性能等指标的影响。铜膜的抛光实验结果表明:稀释3倍的弱碱性铜粗抛液对铜膜平均去除速率高达869.76 nm/min,片内非均匀性仅为2.32%。四层图形片的平坦化测试结果显示,图形片初始高低差为312.5 nm,采用稀释3倍的粗抛液抛光20 s后,有效消除高低差261.5 nm,基本实现了全局平坦化,满足45 nm技术节点的要求。

碱性铜粗抛液中氧化剂对化学机械平坦化的影响

针对不含腐蚀抑制剂苯并三氮唑(BTA)的碱性铜粗抛液,通过对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜片上的动态抛光速率和静态腐蚀速率的研究来模拟评估氧化剂对晶圆表面平坦化的影响。在12英寸铜镀膜片和TM1图形片上分别研究氧化剂体积分数对表面平坦化的影响。实验结果表明:动态抛光速率和静态腐蚀速率均随着氧化剂体积分数的增加先逐渐增大,达到最大值,然后下降,趋于平缓。片内非均匀性和剩余高低差均随H2O2体积分数的增加,先呈下降趋势,后缓慢上升。当氧化剂体积分数为3%时,动态去除速率(vRR)为398.988 nm/min,静态腐蚀速率vER为6.834 nm/min,vRR/vER比值最大,片内非均匀性最小为3.82%,台阶高低差最小为104.6 nm/min,此时晶圆片有较好的平坦化效果。

抛光机6圆磨块粗抛抛光头的改进

笔者对6圆磨块粗抛抛光头进行了改进,选用了合理的自转速度,在不需降低功率的条件下,提高了易损轴承的承载能力,延长了每次维修后的正常使用时间、降低了维修费用、提高了生产效率。

攀西某极贫钒钛磁铁矿粗粒抛尾试验研究

针对攀西某极贫钒钛磁铁矿直接选矿成本高的问题,在查明了矿石中有价元素的赋存状态和有用矿物的嵌布特征的基础上,采用分级-磨矿-强磁选工艺进行粗粒抛尾,扩大连续试验获得了产率为63.12%,TFe、TiO_(2)品位分别为22.85%、12.45%,回收率分别为80.75%、84.60%的粗粒抛尾分选精矿,粗精矿中钛磁铁矿、钛铁矿矿物含量分别为18.13%和21.95%,对钛磁铁矿、钛铁矿矿物的回收率分别达95.82%、91.23%,有效的实现了该钒钛磁铁矿中铁、钛矿物的综合回收。

粗粒辉钼矿工艺矿物学及流态化浮选抛废研究

粗粒预选抛废是实现选厂节能降耗的重要技术手段,借助流态化浮选技术对河南某选厂低品位辉钼矿(粒级-1 mm,Mo品位0.076%)进行选前抛废探索。通过工艺矿物学对辉钼矿嵌布和解离特征进行了全面分析,研究了操作因素对流态化浮选的影响规律,并在不同捕收剂用量下比较了其与机械式浮选的抛废效果差异。工艺矿物学结果表明,试验所用矿石中主要有价矿物辉钼矿为中粒-细粒不均匀嵌布,粗粒级矿石中辉钼矿解离度较低。流态化浮选结果表明,操作因素对于尾矿品位和抛尾率均可能产生影响,最优条件下流态化浮选尾矿品位为0.011%~0.015%,抛尾率为40%~55%,抛废效果远优于机械式浮选,其原因是流态化浮选构建了低紊流环境,提升了浮选粒度上限。

超贫磁铁矿高压辊磨-粗细双抛尾选矿工艺研究

安徽某超贫磁铁矿TFe品位13.96%,磁铁矿含量9.58%,嵌布粒度细,硬度大。分选过程采用高压辊磨粉碎,得到的产品分级后分别进行粗粒抛尾和细粒抛尾,超细碎粗精矿进入常规阶段磨矿阶段选别工艺,得到的精矿进行淘洗机深度精选,获得最终精矿。闭路试验取得了铁精矿品位65.16%,回收率70.16%,且磁性铁矿物含量64.01%,回收率90.68%的指标,同时产出55.98%的砂石建材。

GZD动筛跳汰机与粗粒抛尾试验

本文简要介绍了广州有色金属研究院研制成功的ＧＺＤ动筛跳汰机的特点，并详细叙述了实际应用的成果。采用该机预选大厂９２号贫锡矿２０—３ｍｍ矿石，获得精矿回收率Ｓｎ９０．００％、Ｐｂ７９．８７％、Ｚｎ８７．０４％，丢废率４９．０５％的满意指标。这一试验的成功，为大厂贫锡矿合理开发利用创出了一条新途径。

铜坑92^#矿体粗粒跳汰抛废试验研究及综述

对国内外使用的粗粒抛废跳汰机和铜坑92#矿体粗粒跳汰抛废试验研究进行了综述。该研究对我国类似资源贫化型矿山低品位矿石的预选是一个有益的探索。

铜坑92#矿体粗粒跳汰抛废生产实践

介绍了铜坑92#矿体粗粒跳汰抛废的试验研究和生产流程.利用BATAC跳汰机处理该矿3～20mm粒级矿石,入选矿石锡品位为0.51%～0.85%,可达到丢废率30%左右、精矿锡回收率90%左右的指标.该流程对我国类似资源贫化型矿山低品位矿石的预选,具有较好的借鉴作用.

低品位斑岩型铜矿粗磨抛尾细度试验研究

某铜矿属特大型低品位斑岩型铜矿,铜资源及伴生金属储量大,但其主伴金属原矿品位低,地处高海拔地区。对原矿石进行详细的工艺矿物学研究,根据矿石有用矿物的浸染特性、嵌布状态和种类及含量等性质,选择粗磨抛尾工艺。通过不同细度对铜、钼指标影响的试验研究,以及矿石的可磨度和功指数研究,确定最优粗磨磨矿细度为-0.074mm占55%。

东鞍山矿石新工艺流程中粗粒抛尾试验研究

介绍了东鞍山矿石两段连续磨矿、重选 -磁选 -反浮选新工艺流程中粗粒部分抛尾试验研究。结果表明粗粒部分能抛掉部分合格尾矿 。

铜坑锡矿粗粒抛废工艺流程优化设计

用跳汰机对低品位锡矿进行粗粒抛废处理是一种选矿新工艺,其技术先进。文章对粗粒抛废工艺流程进行了研究,提出了合理可行的优化措施。生产实践表明,流程优化效果良好。

我国重力粗粒预选抛废工艺技术研究与实践

金属非金属矿石资源是国民经济和社会发展的重要基础资源,成熟、高效的粗粒预选抛废技术是实现我国大量贫、杂、细、薄、散矿石资源高效、低成本、绿色开发的有力手段。为了推动重力粗粒预选抛废技术的合理应用,在简述了重力粗粒预选抛废意义的基础上,分析了常用重力粗粒预选抛废设备重介质旋流器和跳汰机的工作原理及优缺点,详细介绍了锂、钨、锰、铁、磷等单一矿石和铜铅锌锡钽铌等多金属矿石的重力粗粒预选抛废技术研究与实践情况,最后就全面、准确、系统地确定抛废程度给出了建议。

无铬酸、氢氟酸、硝酸的新型不锈钢抛光工艺

不锈钢抛光工艺，传统配方多有铬酸、氢氟酸、硝酸等毒害较大物质，对环境污染较大，同时采用高温酸洗，去除氧化皮等，使成本增加。本文介绍不锈钢的粗抛、细抛、精抛是将酸洗、化抛、电抛融为一体的不锈钢抛光组合工艺，不仅显著地降低了环境污染，还确保了不锈钢光亮如镜的靓兰色泽，这在生产实践中得到验证。

云南典型铜锌硫化矿混合浮选抛尾研究

随着金属铜、锌需求的增长及易选铜锌硫化矿资源的不断耗竭,细粒嵌布的该类难选矿成为重要原料.然而,由于对铜锌硫化矿大多采用优先浮选工艺,导致尾矿中金属损失普遍较大.本文针对云南某典型铜锌多金属硫化矿,采用粗磨条件下的混合浮选抛尾工艺,研究了磨矿细度、药剂种类、药剂用量等因素对抛尾过程的影响.在粗磨细度为-200目75%,乙黄药和丁黄药为组合捕收剂时,浮选抛尾量为原矿量的60%,尾矿含Cu 0.058%、Pb 0.027%、Zn 0.12%,尾矿中各金属损失率分别为Cu 3.21%、Pb 5.49%、Zn 3.35%,在各有价金属以混合粗精矿形式被回收的前提下,实现了较彻底的大量抛尾.本研究的粗磨浮选提前抛尾对铜锌多金属硫化矿资源的经济开发利用具有重要借鉴意义.

攀枝花钒钛磁铁矿粗细分选工艺试验研究

介绍了攀枝花钒钛磁铁矿粗细分选的小型试验及扩大连选试验情况,试验结果表明,在保证最终精矿品位和全铁回收率的前提下,采用粗细分选、粗粒抛尾的新工艺流程,可以大大提高球磨机的处理能力,为攀枝花密地选矿厂的工艺流程改造提供了一条可供选择的新途径。

粗粒级磁选机在选矿工艺中的应用

针对济南钢城矿业有限公司入选矿石废石混入率高的问题,公司引进了DCS-1050×1000F型粗粒湿式永磁筒式磁选机对入磨矿石进行了抛废改造,并介绍了工艺及设备参数的确定和生产中需关注的问题,对改造的意义进行了分析。

低品位钒钛磁铁矿预选抛尾工艺试验

重钢西昌矿业有限公司太和矿区为综合回收利用低品位钒钛磁铁矿,进行了预选抛尾干式磁滑轮抛尾、粉矿干式抛尾、粗粒湿式磁选抛尾3种工艺流程试验。经对各流程选别指标的分析对比,并结合现实生产中的选矿工艺流程,提出了高压辊磨超细碎+粗粒湿式磁选抛尾的新工艺,其矿石入选品位可提高8～12个百分点,铁回收率可达到60%～70%,技术指标较好,为工业设计提供了参考依据。