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微观粘着测试技术研究进展
1
作者
郑华军
刘莹
周顺斌
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期99-103,共5页
微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在。因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要。综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光...
微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在。因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要。综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置,分析了它们的工作原理和特点。
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关键词
微观
粘着
粘着
力
粘着测试装置
测试
技术
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职称材料
题名
微观粘着测试技术研究进展
1
作者
郑华军
刘莹
周顺斌
机构
南昌大学机电工程学院
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期99-103,共5页
基金
湖北省现代制造质量工程重点实验室开放基金项目(LMQ2006A02)
江西省工业攻关项目
文摘
微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在。因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要。综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置,分析了它们的工作原理和特点。
关键词
微观
粘着
粘着
力
粘着测试装置
测试
技术
Keywords
micro adhesion
adhesion force
adhesion testing device
testing technology
分类号
TG491 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微观粘着测试技术研究进展
郑华军
刘莹
周顺斌
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2008
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