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表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响 被引量:1
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作者 黄见秋 黄庆安 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1229-1233,共5页
建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较... 建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差. 展开更多
关键词 微开关 MEMS 接触电阻 粘连效应
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