用于微机械工艺的精密电铸设备

本文介绍用于微型机械ＬＩＧＡ工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。