双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究

针对具有非对称结构的直线电机驱动精密XY运动平台,为提高Y向双边同步运动控制性能,采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方法获得了精密XY运动平台Y向解耦控制,并采用相对增益矩阵(RGA)定量分析了解耦性能。同时考虑到X轴位置变化,将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与X轴滑块位置参数相关的,从而实现参数变化解耦控制。运动平台控制仿真结果表明,该控制策略实现了两变量平动和转动的解耦控制,可以较好地完成双边同步控制。