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基于精简标准单元库的OPC复用技术
1
作者
焦海龙
陈岚
+2 位作者
李志刚
杨清华
叶甜春
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1016-1021,共6页
提出了一种对标准单元的光学邻近效应校正结果进行复用的方法,并通过将传统标准单元中的所有核心逻辑通过反相器和二选一多路选择器的组合来实现,得到了一套可制造性强的精简标准单元库,从而使OPC复用技术得以有效实施,并将在很大程度...
提出了一种对标准单元的光学邻近效应校正结果进行复用的方法,并通过将传统标准单元中的所有核心逻辑通过反相器和二选一多路选择器的组合来实现,得到了一套可制造性强的精简标准单元库,从而使OPC复用技术得以有效实施,并将在很大程度上提高芯片生产效率和降低掩模数据存储量.精简标准单元库中单元的电气仿真结果表明其在面积、速度、功耗方面与传统标准单元库相比性能损失很小.
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关键词
精简标准单元库
OPC复用
可制造性设计
电气仿真
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职称材料
题名
基于精简标准单元库的OPC复用技术
1
作者
焦海龙
陈岚
李志刚
杨清华
叶甜春
机构
中国科学院微电子研究所共性技术研究室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1016-1021,共6页
文摘
提出了一种对标准单元的光学邻近效应校正结果进行复用的方法,并通过将传统标准单元中的所有核心逻辑通过反相器和二选一多路选择器的组合来实现,得到了一套可制造性强的精简标准单元库,从而使OPC复用技术得以有效实施,并将在很大程度上提高芯片生产效率和降低掩模数据存储量.精简标准单元库中单元的电气仿真结果表明其在面积、速度、功耗方面与传统标准单元库相比性能损失很小.
关键词
精简标准单元库
OPC复用
可制造性设计
电气仿真
Keywords
reduced standard cell library
OPC reuse
design for manufacturability
electrical simulation
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
基于精简标准单元库的OPC复用技术
焦海龙
陈岚
李志刚
杨清华
叶甜春
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
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