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题名光纤引导皮秒激光Al_2O_3陶瓷精细刻线研究
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作者
李健
季凌飞
吴燕
凌晨
蒋毅坚
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机构
北京工业大学激光工程研究院
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出处
《电加工与模具》
2013年第6期51-54,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51275011)
新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0007)
+1 种基金
北京市自然科学基金重点项目(3111002)
北京市教育委员会科技计划重点项目
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文摘
作为一项基础研究,提出了一种在陶瓷表面加工凹槽的新方法,利用光纤引导激光在陶瓷表面实现加工,并基于有限元分析法,对光通过光纤的电场强度进行了模拟,从实验和模拟两方面证明了光纤对激光具有光强增强效果,及其对光束的引导作用,能达到材料表面微结构的加工效果。与未用光纤引导激光加工的陶瓷表面做对比,光纤对光强的增强效应使得在具有高熔点、高硬脆物理特性的陶瓷表面产生刻蚀成为可能,小于聚焦光束直径(50μm)的增强区域尺寸保证了加工精度的提高。
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关键词
皮秒激光
光纤
陶瓷
精细刻线
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Keywords
picosecond laser
fiber
ceramics
fine engraved line
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分类号
TG485
[金属学及工艺—焊接]
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