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复杂曲面上精细图形制作技术工艺研究
1
作者
杨青
刘晓丽
聂延平
《印制电路信息》
2000年第2期22-23,共2页
本文主要介绍了不可展曲面型雷达罩外表面金属图形的精制技术。
关键词
雷达罩
曲面
精细图形
制作
金属
图形
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职称材料
激光化学镀金形成精细图形
2
作者
源明
《电子电路与贴装》
2003年第3期25-29,共5页
在无氰电镀液镀槽内电镀铁镍合金基础上利用激光化学镀金导线而形成精细电路图形。激光的功率和扫描速度直接影响导线的高度和宽度。能获得均匀的高度和宽度金导线和与导体最好的结合力。如导体的高度为0.7μm和宽度为37μm,这时的激...
在无氰电镀液镀槽内电镀铁镍合金基础上利用激光化学镀金导线而形成精细电路图形。激光的功率和扫描速度直接影响导线的高度和宽度。能获得均匀的高度和宽度金导线和与导体最好的结合力。如导体的高度为0.7μm和宽度为37μm,这时的激光功率为0.5W和扫描速度为5μm/s。
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关键词
增强性激光电镀
导线
图形
化学镀金
精细图形
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职称材料
液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面 精细图形制作中应用研究
3
作者
张晟
《印制电路信息》
2000年第6期39-41,共3页
本文详细介绍了液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多影响因素,制作图形精度达到0.08mm。
关键词
液态感光抗蚀油墨
三维曲面
精细图形
印制电路板
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职称材料
精细图形DRAM
4
作者
邓志杰
《现代材料动态》
2002年第5期9-9,共1页
关键词
精细图形
DRAM
动态随机存取存储器
加工工艺
半导体
原文传递
减成法制造精细线路
5
作者
李明
《印制电路资讯》
2007年第6期82-87,共6页
一、绪言 用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制,这是因为在蚀刻过程中,不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致(见图1所示),除此之外,印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此,就需要对减成法...
一、绪言 用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制,这是因为在蚀刻过程中,不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致(见图1所示),除此之外,印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此,就需要对减成法工艺从蚀刻过程、蚀刻使用的专用设备、化学药品和干膜抗蚀剂的成果的发展,
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关键词
工艺制造
精细
线路
表面蚀刻
蚀刻速率
干膜抗蚀剂
精细图形
非均匀性
专用设备
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职称材料
大面积高分辨率光刻技术研究
被引量:
1
6
作者
张振宇
邓建国
刘英坤
《电子工业专用设备》
2009年第3期11-14,共4页
以NSR1755i7A型投影曝光机为基础,分析了影响大面积精细光刻图形分辨率的主要因素。利用表面平坦化技术、BARC工艺技术和PEB工艺技术,解决了高分辨率和聚焦深度的矛盾,消除了曝光过程中出现的表面反射和因驻波造成曝光图形边缘罗纹状的...
以NSR1755i7A型投影曝光机为基础,分析了影响大面积精细光刻图形分辨率的主要因素。利用表面平坦化技术、BARC工艺技术和PEB工艺技术,解决了高分辨率和聚焦深度的矛盾,消除了曝光过程中出现的表面反射和因驻波造成曝光图形边缘罗纹状的现象,实现了大面积(17.5mm×17.5mm)、高长宽比(160)、高密集(占空比36%)、高分辨率亚微米(0.5μm)精细线条光刻。同时提出了采用两次曝光技术在NSR1755i7A型投影曝光机上实现了厚胶高分辨率图形的制作。
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关键词
NSR1755i7A型投影曝光机
大面积
精细图形
光刻
分辨率
聚焦深度
表面平坦化
BARC:PEB
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职称材料
喷墨打印技术在PCB中的应用(下)
被引量:
5
7
作者
林金堵
《印制电路信息》
2008年第8期10-20,共11页
4数字喷墨打印用油墨 目前在PCB中,喷墨打印用的油墨主要有三大类:(1)抗蚀/抗镀油墨,用于取代传统干膜与湿膜;(2)阻焊、字符(含介质层)等油墨,取代常规的阻焊、字符(介质层/绝缘层)等油墨;(3)直接喷印形成导电图形...
4数字喷墨打印用油墨 目前在PCB中,喷墨打印用的油墨主要有三大类:(1)抗蚀/抗镀油墨,用于取代传统干膜与湿膜;(2)阻焊、字符(含介质层)等油墨,取代常规的阻焊、字符(介质层/绝缘层)等油墨;(3)直接喷印形成导电图形/线路的金属颗粒油墨(其中纳米级金属颗粒油墨方能胜任低温烧结要求的优质导电的精细图形/导线)。
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关键词
喷墨打印技术
PCB
应用
精细图形
金属颗粒
低温烧结
介质层
油墨
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职称材料
蚀刻在PCB生产中应用和工艺控制
被引量:
6
8
作者
张志祥
《印制电路信息》
2003年第6期24-30,共7页
本文以实验的方法确定蚀刻速度与各参数的关系,控制蚀刻质量的精确度,减少蚀刻过程中侧蚀现象,并详细介绍喷琳蚀刻液在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多因素,制作精细线宽/间距精度达到2mil/2...
本文以实验的方法确定蚀刻速度与各参数的关系,控制蚀刻质量的精确度,减少蚀刻过程中侧蚀现象,并详细介绍喷琳蚀刻液在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多因素,制作精细线宽/间距精度达到2mil/2mil。
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关键词
蚀刻
PCB
工艺控制
印制电路板
侧蚀现象
喷琳蚀刻液
精细图形
三维曲面
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职称材料
互连技术
9
作者
李学明
《电子电路与贴装》
2007年第3期91-96,共6页
半导体封装技术中的电气互连技术,有引线接合法、TAB(带载自动安装)、FC技术等。这个技术的主体为PKG,从模块封装的现状分析,TAB、FC封装需要与采用形成精细图形的技术相配合。
关键词
互连技术
封装技术
FC技术
自动安装
模块封装
精细图形
TAB
半导体
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职称材料
题名
复杂曲面上精细图形制作技术工艺研究
1
作者
杨青
刘晓丽
聂延平
出处
《印制电路信息》
2000年第2期22-23,共2页
文摘
本文主要介绍了不可展曲面型雷达罩外表面金属图形的精制技术。
关键词
雷达罩
曲面
精细图形
制作
金属
图形
分类号
TN957 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
激光化学镀金形成精细图形
2
作者
源明
出处
《电子电路与贴装》
2003年第3期25-29,共5页
文摘
在无氰电镀液镀槽内电镀铁镍合金基础上利用激光化学镀金导线而形成精细电路图形。激光的功率和扫描速度直接影响导线的高度和宽度。能获得均匀的高度和宽度金导线和与导体最好的结合力。如导体的高度为0.7μm和宽度为37μm,这时的激光功率为0.5W和扫描速度为5μm/s。
关键词
增强性激光电镀
导线
图形
化学镀金
精细图形
分类号
TQ153.18 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面 精细图形制作中应用研究
3
作者
张晟
机构
西安导航技术研究所
出处
《印制电路信息》
2000年第6期39-41,共3页
文摘
本文详细介绍了液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多影响因素,制作图形精度达到0.08mm。
关键词
液态感光抗蚀油墨
三维曲面
精细图形
印制电路板
Keywords
Liquid photosensitive resist etching ink
spray coating
FSS array radar shade.
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
精细图形DRAM
4
作者
邓志杰
出处
《现代材料动态》
2002年第5期9-9,共1页
关键词
精细图形
DRAM
动态随机存取存储器
加工工艺
半导体
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
原文传递
题名
减成法制造精细线路
5
作者
李明
出处
《印制电路资讯》
2007年第6期82-87,共6页
文摘
一、绪言 用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制,这是因为在蚀刻过程中,不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致(见图1所示),除此之外,印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此,就需要对减成法工艺从蚀刻过程、蚀刻使用的专用设备、化学药品和干膜抗蚀剂的成果的发展,
关键词
工艺制造
精细
线路
表面蚀刻
蚀刻速率
干膜抗蚀剂
精细图形
非均匀性
专用设备
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
大面积高分辨率光刻技术研究
被引量:
1
6
作者
张振宇
邓建国
刘英坤
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《电子工业专用设备》
2009年第3期11-14,共4页
文摘
以NSR1755i7A型投影曝光机为基础,分析了影响大面积精细光刻图形分辨率的主要因素。利用表面平坦化技术、BARC工艺技术和PEB工艺技术,解决了高分辨率和聚焦深度的矛盾,消除了曝光过程中出现的表面反射和因驻波造成曝光图形边缘罗纹状的现象,实现了大面积(17.5mm×17.5mm)、高长宽比(160)、高密集(占空比36%)、高分辨率亚微米(0.5μm)精细线条光刻。同时提出了采用两次曝光技术在NSR1755i7A型投影曝光机上实现了厚胶高分辨率图形的制作。
关键词
NSR1755i7A型投影曝光机
大面积
精细图形
光刻
分辨率
聚焦深度
表面平坦化
BARC:PEB
Keywords
Renewed NSR1755i7A stepper
Large area fine pattern
Resolution
DOF
Surface planarization
BARC
PEB
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
喷墨打印技术在PCB中的应用(下)
被引量:
5
7
作者
林金堵
机构
CPCA
出处
《印制电路信息》
2008年第8期10-20,共11页
文摘
4数字喷墨打印用油墨 目前在PCB中,喷墨打印用的油墨主要有三大类:(1)抗蚀/抗镀油墨,用于取代传统干膜与湿膜;(2)阻焊、字符(含介质层)等油墨,取代常规的阻焊、字符(介质层/绝缘层)等油墨;(3)直接喷印形成导电图形/线路的金属颗粒油墨(其中纳米级金属颗粒油墨方能胜任低温烧结要求的优质导电的精细图形/导线)。
关键词
喷墨打印技术
PCB
应用
精细图形
金属颗粒
低温烧结
介质层
油墨
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP334.83 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
蚀刻在PCB生产中应用和工艺控制
被引量:
6
8
作者
张志祥
机构
深圳益源丰电子材料有限公司
出处
《印制电路信息》
2003年第6期24-30,共7页
文摘
本文以实验的方法确定蚀刻速度与各参数的关系,控制蚀刻质量的精确度,减少蚀刻过程中侧蚀现象,并详细介绍喷琳蚀刻液在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多因素,制作精细线宽/间距精度达到2mil/2mil。
关键词
蚀刻
PCB
工艺控制
印制电路板
侧蚀现象
喷琳蚀刻液
精细图形
三维曲面
Keywords
etching spray etching liquid undercutting figure
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
互连技术
9
作者
李学明
出处
《电子电路与贴装》
2007年第3期91-96,共6页
文摘
半导体封装技术中的电气互连技术,有引线接合法、TAB(带载自动安装)、FC技术等。这个技术的主体为PKG,从模块封装的现状分析,TAB、FC封装需要与采用形成精细图形的技术相配合。
关键词
互连技术
封装技术
FC技术
自动安装
模块封装
精细图形
TAB
半导体
分类号
TN405.94 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复杂曲面上精细图形制作技术工艺研究
杨青
刘晓丽
聂延平
《印制电路信息》
2000
0
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职称材料
2
激光化学镀金形成精细图形
源明
《电子电路与贴装》
2003
0
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职称材料
3
液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面 精细图形制作中应用研究
张晟
《印制电路信息》
2000
0
下载PDF
职称材料
4
精细图形DRAM
邓志杰
《现代材料动态》
2002
0
原文传递
5
减成法制造精细线路
李明
《印制电路资讯》
2007
0
下载PDF
职称材料
6
大面积高分辨率光刻技术研究
张振宇
邓建国
刘英坤
《电子工业专用设备》
2009
1
下载PDF
职称材料
7
喷墨打印技术在PCB中的应用(下)
林金堵
《印制电路信息》
2008
5
下载PDF
职称材料
8
蚀刻在PCB生产中应用和工艺控制
张志祥
《印制电路信息》
2003
6
下载PDF
职称材料
9
互连技术
李学明
《电子电路与贴装》
2007
0
下载PDF
职称材料
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