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量子线与量子点微结构的选择生长制备技术 被引量:5
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作者 彭英才 李星文 《微细加工技术》 1994年第3期32-42,共11页
本文介绍了用于制备量子线和量子点微结构的选择区域外延和精细束加工技术,并评述了今后研究与发展方向。
关键词 量子线与量子点 选择区域外延 精细束加工
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