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CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用
被引量:
1
1
作者
冯克勤
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003年第3期219-221,共3页
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。
关键词
CRT
荫罩
制造工艺
制造技术
平板显示
精密光刻
精细腐蚀
掩膜版
下载PDF
职称材料
CRT荫罩制造技术及其应用领域的延伸
2
作者
冯克勤
《显示器件技术》
2003年第1期13-14,共2页
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。应用于制造荫罩的精密光刻、精细腐蚀技术可以引伸应用到平板显示、微电子、微机械等许多领域,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。
关键词
CRT
荫罩
制造技术
光刻
精细腐蚀
掩膜板
平板显示
下载PDF
职称材料
题名
CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用
被引量:
1
1
作者
冯克勤
机构
彩虹集团彩虹电子网版厂
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003年第3期219-221,共3页
文摘
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。
关键词
CRT
荫罩
制造工艺
制造技术
平板显示
精密光刻
精细腐蚀
掩膜版
Keywords
flat panel display
shadow mask
print-etching
precision -etching
metal pattern plate
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TN27 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
CRT荫罩制造技术及其应用领域的延伸
2
作者
冯克勤
机构
彩虹集团电子网版厂
出处
《显示器件技术》
2003年第1期13-14,共2页
文摘
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。应用于制造荫罩的精密光刻、精细腐蚀技术可以引伸应用到平板显示、微电子、微机械等许多领域,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。
关键词
CRT
荫罩
制造技术
光刻
精细腐蚀
掩膜板
平板显示
分类号
TN141.3 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用
冯克勤
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003
1
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职称材料
2
CRT荫罩制造技术及其应用领域的延伸
冯克勤
《显示器件技术》
2003
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职称材料
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