基于改进型微带结构的MEMS低通滤波器设计与研究

滤波器作为通信系统中必不可少的微波无源器件,研制小型化和高性能的滤波器已经成为主要趋势。针对设备小型化趋势下对滤波器尺寸的芯片化需求及滤波器小型化、高抑制度、宽带的难点方向,介绍了K波段不同结构的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)低通滤波器的设计。微带线采用了改进型弯折阶跃阻抗谐振器结构和改进型紧凑微带单元谐振器(CMRC)结构,输入输出采用易于探针测试台并且方便与外部电路集成的CPWG结构。基于MEMS技术并结合本文不同滤波器结构,设计了MEMS低通滤波器工艺步骤。

宽阻带小型化双频带通滤波器

文中提出了一种具有宽阻带的紧凑型双频带通滤波器,它采用了折叠短路枝节负载谐振器、紧凑型微带单元谐振器(CMRC)和阶跃阻抗谐振器结构。由于多个谐振器产生了五个可控传输零点(TZ),该滤波器实现了两个通带之间的良好隔离度以及宽阻带特性。制作并测试了尺寸紧凑的双频带通滤波器实验样品,测试结果显示,第一通带和第二通带的中心频率/插入损耗分别为0.66 GHz/0.8 dB和1.73 GHz/0.7 dB,阻带频率高达10.5 GHz,抑制水平超过15 dB。

宽阻带高选择性低通滤波器

提出一种新型的阶梯结构周期性紧凑型微带谐振器单元(CMRC)低通滤波器.该结构通过在周期性CMRC单元结构两端引入阶梯结构,解决了传统的CMRC低通滤波器不能同时实现通带匹配和阻带抑制的弊病.实验结果表明:使用这种新型结构实现的低通滤波器,不仅能够同时实现通带匹配和阻带抑制,且具有结构紧凑、选择性好和宽阻带的优点.