1
|
国家目标下的创新生态系统构建:以极紫外光刻机为例 |
李君然
魏莹
|
《学术研究》
北大核心
|
2024 |
0 |
|
2
|
极紫外光刻材料研究进展 |
耿永友
邓常猛
吴谊群
|
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
|
2014 |
5
|
|
3
|
157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 |
臧春雨
曹望和
石春山
|
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
|
2003 |
0 |
|
4
|
高分辨率极紫外光刻胶的研究进展 |
高佳兴
陈龙
玉佳婷
郭旭东
胡睿
王双青
陈金平
李嫕
杨国强
|
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
|
2021 |
3
|
|
5
|
激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 |
宗楠
胡蔚敏
王志敏
王小军
张申金
薄勇
彭钦军
许祖彦
|
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2020 |
16
|
|
6
|
紫外光刻中部分相干光的传播及衍射效应 |
李木军
沈连婠
赵玮
李晓光
范明聪
王晓东
刘雳颋
郑津津
|
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
9
|
|
7
|
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究 |
杜立群
秦江
刘冲
朱神渺
李园园
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
6
|
|
8
|
接近式紫外光刻中图形失真的分析与预修正仿真 |
李木军
沈连婠
李晓光
赵玮
刘雳颋
郑津津
|
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2008 |
5
|
|
9
|
248nm深紫外光刻胶 |
郑金红
黄志齐
侯宏森
|
《感光科学与光化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
9
|
|
10
|
激光等离子体极紫外光刻光源 |
窦银萍
孙长凯
林景全
|
《中国光学》
EI
CAS
|
2013 |
14
|
|
11
|
利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 |
伊福廷
张菊芳
彭良强
韩勇
|
《微纳电子技术》
CAS
|
2003 |
9
|
|
12
|
紫外光刻加工误差实验 |
刘雳颋
沈连婠
赵玮
于磊
张峰
田扬超
郑津津
|
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
|
2008 |
4
|
|
13
|
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计 |
赵阳
巩岩
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2011 |
12
|
|
14
|
深紫外光刻光学薄膜 |
张立超
才玺坤
时光
|
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
|
2015 |
5
|
|
15
|
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 |
秦娟娟
董伟伟
周曙
游利兵
方晓东(指导)
|
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2014 |
3
|
|
16
|
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 |
宋源
卢启鹏
龚学鹏
王依
彭忠琦
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2017 |
3
|
|
17
|
制备纳米级ULSI的极紫外光刻技术 |
成立
王振宇
朱漪云
刘合祥
|
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
|
2005 |
4
|
|
18
|
极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究 |
罗艳
王魁波
吴晓斌
|
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2018 |
4
|
|
19
|
采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型 |
徐斌
王敏杰
于同敏
赵丹阳
|
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2013 |
1
|
|
20
|
深度紫外光刻图形精度模拟研究 |
田扬超
|
《安徽师范大学学报(自然科学版)》
CAS
|
2005 |
3
|
|