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软膜紫外光固化纳米压印中Amonil光刻胶的刻蚀参数优化(英文)
被引量:
1
1
作者
陈静
石剑
+2 位作者
刘正堂
DECANINI Dominique
HAGHIRI-GOSNET Anne-Marie
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012年第1期52-58,共7页
报道了反应离子刻蚀转移图形过程中对Amonil光刻胶的刻蚀参数优化的结果.利用软膜紫外光固化纳米压印技术,首先制备了线宽/间距均为200 nm的纳米光栅结构.然后采用反应离子刻蚀的方法去除残留的Amonil光刻胶.研究了不同的气体组成、射...
报道了反应离子刻蚀转移图形过程中对Amonil光刻胶的刻蚀参数优化的结果.利用软膜紫外光固化纳米压印技术,首先制备了线宽/间距均为200 nm的纳米光栅结构.然后采用反应离子刻蚀的方法去除残留的Amonil光刻胶.研究了不同的气体组成、射频功率、压强和气体流量对刻蚀形貌、表面粗糙度以及刻蚀速度的影响.在优化的工艺条件下,获得了理想的具有垂直侧壁形貌和较小表面粗糙度的纳米光栅阵列.结果表明,选择优化的刻蚀工艺参数,既能有效地改善图形转移的性能,同时也能提高所制备结构的光学应用特性.
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关键词
软膜
紫外光固化纳米压印
反应离子刻蚀
刻蚀形貌
表面粗糙度
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职称材料
软膜紫外光固化纳米压印制备等离子体纳米孔结构的工艺优化
2
作者
陈静
刘正堂
Anne-Marie Haghiri-Gosnet
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期899-903,908,共6页
利用软膜紫外光固化纳米压印技术和反应离子刻蚀技术在玻璃衬底上制备了等离子体纳米孔阵列。为了实现高分辨低成本软膜紫外光固化纳米压印技术在生物传感领域的应用和产业化,必须对压印的一些具体工艺参数如压印压力进行优化。在这项...
利用软膜紫外光固化纳米压印技术和反应离子刻蚀技术在玻璃衬底上制备了等离子体纳米孔阵列。为了实现高分辨低成本软膜紫外光固化纳米压印技术在生物传感领域的应用和产业化,必须对压印的一些具体工艺参数如压印压力进行优化。在这项工作中,压印压力最小化到10 psi,结果表明这一数值足以保证图案的精确复制以及图案转移的保真度。最后,利用反应离子刻蚀的方法去除残余光胶,并用剥离的方法进行图案转移,成功地制备出了均匀性良好的金纳米孔阵列。为了证明金属纳米周期结构在生物传感上的应用,使该阵列表面吸附蛋白质分子,结果观察到明显的透射峰偏移。
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关键词
软膜
紫外光固化纳米压印
等离子体
纳米
孔阵列
生物传感
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职称材料
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
3
作者
宋宝生
林亮
+2 位作者
戴明
徐叶龙
卢明辉
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期581-585,共5页
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化...
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化硅膜层上旋涂压印胶,利用紫外光固化压印技术实现模板结构向压印胶层转移。再通过电感耦合等离子体刻蚀的方法将压印胶层的结构转移到二氧化硅膜层,并以二氧化硅为掩模湿法腐蚀蓝宝石衬底形成图形结构。最后,去除二氧化硅后即可获得图形化蓝宝石衬底。实验证明,在柔性复合模板纳米压印技术制备的图形化蓝宝石衬底上生长的LED,其光致发光谱的强度比无图形结构衬底上生长的LED明显增强。
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关键词
图形化蓝宝石衬底
柔性复合模板
紫外光固化纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
湿
法腐蚀
光致发光谱
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职称材料
题名
软膜紫外光固化纳米压印中Amonil光刻胶的刻蚀参数优化(英文)
被引量:
1
1
作者
陈静
石剑
刘正堂
DECANINI Dominique
HAGHIRI-GOSNET Anne-Marie
机构
西北工业大学凝固国家重点实验室
法国国家科研中心光子与纳米结构实验室
法国巴黎高等师范学院
出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012年第1期52-58,共7页
基金
国家留学基金委留学基金资助项目
文摘
报道了反应离子刻蚀转移图形过程中对Amonil光刻胶的刻蚀参数优化的结果.利用软膜紫外光固化纳米压印技术,首先制备了线宽/间距均为200 nm的纳米光栅结构.然后采用反应离子刻蚀的方法去除残留的Amonil光刻胶.研究了不同的气体组成、射频功率、压强和气体流量对刻蚀形貌、表面粗糙度以及刻蚀速度的影响.在优化的工艺条件下,获得了理想的具有垂直侧壁形貌和较小表面粗糙度的纳米光栅阵列.结果表明,选择优化的刻蚀工艺参数,既能有效地改善图形转移的性能,同时也能提高所制备结构的光学应用特性.
关键词
软膜
紫外光固化纳米压印
反应离子刻蚀
刻蚀形貌
表面粗糙度
Keywords
soft UV nanoimprint lithography
reactive ion etching
etching profile
surface roughness
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
O434.14 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
软膜紫外光固化纳米压印制备等离子体纳米孔结构的工艺优化
2
作者
陈静
刘正堂
Anne-Marie Haghiri-Gosnet
机构
西北工业大学材料科学与工程学院
法国国家科研中心光子与纳米结构实验室
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期899-903,908,共6页
基金
国家留学基金委留学基金资助
文摘
利用软膜紫外光固化纳米压印技术和反应离子刻蚀技术在玻璃衬底上制备了等离子体纳米孔阵列。为了实现高分辨低成本软膜紫外光固化纳米压印技术在生物传感领域的应用和产业化,必须对压印的一些具体工艺参数如压印压力进行优化。在这项工作中,压印压力最小化到10 psi,结果表明这一数值足以保证图案的精确复制以及图案转移的保真度。最后,利用反应离子刻蚀的方法去除残余光胶,并用剥离的方法进行图案转移,成功地制备出了均匀性良好的金纳米孔阵列。为了证明金属纳米周期结构在生物传感上的应用,使该阵列表面吸附蛋白质分子,结果观察到明显的透射峰偏移。
关键词
软膜
紫外光固化纳米压印
等离子体
纳米
孔阵列
生物传感
Keywords
soft UV nanoimprint lithography (UV-NIL)
plasmonic nanoholes arrays
biosensing
分类号
O64 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
3
作者
宋宝生
林亮
戴明
徐叶龙
卢明辉
机构
南京大学材料科学与工程系固体微结构物理国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期581-585,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2012CB921503)
文摘
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化硅膜层上旋涂压印胶,利用紫外光固化压印技术实现模板结构向压印胶层转移。再通过电感耦合等离子体刻蚀的方法将压印胶层的结构转移到二氧化硅膜层,并以二氧化硅为掩模湿法腐蚀蓝宝石衬底形成图形结构。最后,去除二氧化硅后即可获得图形化蓝宝石衬底。实验证明,在柔性复合模板纳米压印技术制备的图形化蓝宝石衬底上生长的LED,其光致发光谱的强度比无图形结构衬底上生长的LED明显增强。
关键词
图形化蓝宝石衬底
柔性复合模板
紫外光固化纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
湿
法腐蚀
光致发光谱
Keywords
patterned sapphire substrate
flexible hybrid mold
LIV curable nanoimprint lithogra-phy
inductively coupled plasma etching
wet etching
photoluminescence spectrum
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软膜紫外光固化纳米压印中Amonil光刻胶的刻蚀参数优化(英文)
陈静
石剑
刘正堂
DECANINI Dominique
HAGHIRI-GOSNET Anne-Marie
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012
1
下载PDF
职称材料
2
软膜紫外光固化纳米压印制备等离子体纳米孔结构的工艺优化
陈静
刘正堂
Anne-Marie Haghiri-Gosnet
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
下载PDF
职称材料
3
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
宋宝生
林亮
戴明
徐叶龙
卢明辉
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
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