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ZnO薄膜紫外光敏特性及晶界势垒的研究
被引量:
1
1
作者
何俊刚
陈环
+2 位作者
王莉
刘志宇
傅刚
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期36-38,共3页
以二水合醋酸锌为原料,采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。用AFM观察表面形貌,通过测量真空条件下不同温度热处理后薄膜的I-V特性,拟合计算晶界势垒高度。研究了热处理温度对ZnO薄膜性能的影响。结果表明:经650℃热处理制备的Zn...
以二水合醋酸锌为原料,采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。用AFM观察表面形貌,通过测量真空条件下不同温度热处理后薄膜的I-V特性,拟合计算晶界势垒高度。研究了热处理温度对ZnO薄膜性能的影响。结果表明:经650℃热处理制备的ZnO薄膜样品具有较佳性能,结构均匀致密,粒径分布为20~32nm。在10V偏压和1.24×10–3W/cm2光强下,紫外光灵敏度为43.95;无光照条件下晶界势垒高度为0.079eV。紫外光照使晶界势垒高度下降为0.011eV,薄膜的紫外光灵敏度与势垒高度的相对变化密切相关。
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关键词
ZNO薄膜
热处理温度
紫外光灵敏度
晶界势垒
下载PDF
职称材料
题名
ZnO薄膜紫外光敏特性及晶界势垒的研究
被引量:
1
1
作者
何俊刚
陈环
王莉
刘志宇
傅刚
机构
广州大学物理与电子工程学院
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期36-38,共3页
文摘
以二水合醋酸锌为原料,采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。用AFM观察表面形貌,通过测量真空条件下不同温度热处理后薄膜的I-V特性,拟合计算晶界势垒高度。研究了热处理温度对ZnO薄膜性能的影响。结果表明:经650℃热处理制备的ZnO薄膜样品具有较佳性能,结构均匀致密,粒径分布为20~32nm。在10V偏压和1.24×10–3W/cm2光强下,紫外光灵敏度为43.95;无光照条件下晶界势垒高度为0.079eV。紫外光照使晶界势垒高度下降为0.011eV,薄膜的紫外光灵敏度与势垒高度的相对变化密切相关。
关键词
ZNO薄膜
热处理温度
紫外光灵敏度
晶界势垒
Keywords
ZnO thin film
heat-treated temperature
UV sensitivity
grain boundary barrier
分类号
TM277 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO薄膜紫外光敏特性及晶界势垒的研究
何俊刚
陈环
王莉
刘志宇
傅刚
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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