248nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率，可以实现对掩模板的线宽和一维／二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级，校准使用400nm一维栅格标准物质，通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估，得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0．178nm，并给出了实际测量时的不确定度评价公式。

计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术的研究

计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应，将线宽的光学信号转换为电信号，并利用后续信号采样处理电路，提取出线宽的轮廓信号。利用激光干涉仪等精密定位装置，搭建了一套线宽测量系统，对线宽标称值为3μm的标准样板进行测量，得到的线宽测量值为3．025μm，与标称值仅相差25nm。实验表明：该方法可以准确地获取线宽的边界信号，实现线宽的准确测量。

计量型紫外显微镜实时焦点及倾角测量算法的研究

计量型紫外光学显微镜采用248 nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统,工作距离和景深均很小,为实现清晰的成像,需要进行自动聚焦。因此研究了一种焦点及倾角测量算法,采用基于图像处理的自动聚焦方法,选择Tenengrad函数作为图像清晰度判据,进行清晰度评价。针对在扫描测量时标准样板倾斜与镜片可能会出现相撞的问题,提出了样板倾角测量方法来判断样板的倾斜方向和角度,从而确定物镜执行器的移动方向,实现物镜扫描成像过程中的动态对焦。

紫外扫描线宽测量系统的研究

设计了一套紫外光学线宽测量系统用于微纳线宽、栅格的测量。在原有深紫外显微镜的基础上,设计了新的探测光路,在成像面设置针孔接收来自样品的光信号,用样品扫描方式来得到样品轮廓。该装置使用紫外光学检测设备减小对象的衍射尺寸,提高检测分辨率,使用激光干涉仪对被测线宽进行溯源。用白光CCD图像实现自动聚焦,确定待测线宽样板平面位置。采用压电陶瓷纳米台在轴向采取序列图像,用聚焦评价函数来判定聚焦清晰度。通过对多种自动聚焦算法性能的比较,采用小波分解自动聚焦算法。确定了紫外成像系统的小波基、分解层数、小波消失矩等参数。

深紫外激光光发射电子显微镜(PEEM)

1科学背景 光发射电子显微镜（Photoemission Electron Microscopy,PEEM）是一种对表面结构、电子态、化学反应等表面物理化学性质进行原位、动态研究的新技术，在化学、物理、材料等研究领域有着重要的应用。其工作原理是以紫外光或x射线光来激发固体表面原子中的电子，采用电子光学系统记录光电子发射，并进行成像研究。

不同厂家加替沙星体外溶出度比较

目的:探讨不同厂家加替沙星片剂与胶囊剂体外溶出度差异。方法:采用转蓝法,以9→1000盐酸为溶出介质,转速50r/min,温度(37±0.5)℃,采用紫外分光光度法在263nm波长处测定吸收度。并对溶出参数进行了统计学处理。结果:不同厂家加替沙星片剂与胶囊剂体外溶出度存在显著差异。结论:进行溶出度检查有助于控制药品质量,为临床合理用药提供依据。

读者信箱

编辑同志:什么是红外线与紫外线?它们都有些什么用途?许信俊许信俊同志:红外线、紫外线与可见光一样,都是电磁波。红外线的波长范围约从0.76微米—1000微米,