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冲击对泵浦激光器反馈片紫外胶连接性能的影响 被引量:1
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作者 林绍义 陈贵清 柯丽娜 《闽江学院学报》 2014年第2期45-51,127,共8页
通过试制样品的有功率性能测试和无功率性能测试的冲击实验,分析了超小型泵浦激光器反馈片紫外胶连接抗冲击性能影响因素,结果表明,样品外壳冲击变形的局部应力导致反馈片胶连接产生冲击裂纹损伤;样品冲击后的功率-电流-温度(P-I-T)性... 通过试制样品的有功率性能测试和无功率性能测试的冲击实验,分析了超小型泵浦激光器反馈片紫外胶连接抗冲击性能影响因素,结果表明,样品外壳冲击变形的局部应力导致反馈片胶连接产生冲击裂纹损伤;样品冲击后的功率-电流-温度(P-I-T)性能测试的热胀冷缩产生热应力,促进了胶连接内亚裂纹扩展并形成了絮状纹,且促进反馈片胶连接冲击裂纹扩展并成为新的裂纹生长的潜在因素,劣化了胶连接性能. 展开更多
关键词 泵浦激光器 反馈片 紫外胶固化连接 抗冲击性能
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柔性透明导电膜用UV胶的配方探讨
2
作者 徐丹丹 秦苏琼 +2 位作者 陶军 瞿然 刘世国 《电子工业专用设备》 2024年第1期43-47,57,共6页
应用于柔性透明导电膜用UV胶压印技术,对柔性透明导电膜产品性能有重要作用,特别是胶的黏度、硬度、附着力、光学性能、耐水性、伸长率等对实现高精度印刷效果、导电膜柔韧性、透光率和稳定性都有重要的意义。根据柔性透明导电膜用UV胶... 应用于柔性透明导电膜用UV胶压印技术,对柔性透明导电膜产品性能有重要作用,特别是胶的黏度、硬度、附着力、光学性能、耐水性、伸长率等对实现高精度印刷效果、导电膜柔韧性、透光率和稳定性都有重要的意义。根据柔性透明导电膜用UV胶实用性能的要求,讨论了柔性透明导电膜用UV胶的配方成份。 展开更多
关键词 柔性透明导电膜 紫外光固化(UV) 压印
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紫外光固化胶与有机溶剂用于无菌医疗器械生产的风险评价 被引量:2
3
作者 蔡虎 李闻涛 许李彬 《中国药业》 CAS 2015年第22期6-7,共2页
通过对比有机溶剂与紫外光固化胶的黏合性能和生物安全性,论证紫外光固化胶替代有机溶剂用于无菌医疗器械粘接工艺的适用性。
关键词 紫外光固化 医疗器械 黏合剂
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快速跨上皮核黄素-紫外光角膜胶原交联治疗圆锥角膜的临床疗效和安全性评价 被引量:14
4
作者 张晶 郑燕 +5 位作者 刘倩 王玥 李颖 张秋露 徐雯 周跃华 《中华实验眼科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期160-165,共6页
背景研究证实经典角膜胶原交联法(CXL)可有效控制圆锥角膜的进展及角膜扩张,但由于其需要去上皮,因此引起较多不良反应和并发症。目前跨上皮核黄素-紫外线CXL已开始在临床上使用,但其有效性和安全性评价的研究较少。目的评价快速... 背景研究证实经典角膜胶原交联法(CXL)可有效控制圆锥角膜的进展及角膜扩张,但由于其需要去上皮,因此引起较多不良反应和并发症。目前跨上皮核黄素-紫外线CXL已开始在临床上使用,但其有效性和安全性评价的研究较少。目的评价快速跨上皮核黄素-紫外线CXL治疗圆锥角膜的安全性及有效性。方法采用前瞻性自身对照系列病例观察研究设计,纳入2014年3—10月在北京同仁医院眼科就诊的圆锥角膜患者28例46眼,采用快速跨上皮核黄素-紫外线CXL治疗,术后随访1年。分别于术前、术后1周及术后1个月、3个月、6个月和12个月测定术眼的视力、屈光度、中央角膜厚度(CCT)、角膜内皮细胞计数、角膜地形图参数、眼前节光学相干断层扫描仪检查结果及角膜生物力学参数,对术眼手术前后的检查指标进行比较,评价快速跨上皮核黄素-紫外线CXL治疗的有效性。对随访期间术眼的刺激症状和不良反应进行观察,评价快速跨上皮核黄素-紫外线CXL治疗的安全性。结果所有手术顺利,未发现术中并发症及术后感染。术眼术后1d出现轻度刺激症状,均于术后3d缓解或消失。术眼术后1个月及以后等效球镜度(SE)较术前降低,但手术前后总体比较差异无统计学意义(F=0.722,P=0.614);术眼术后12个月术眼柱镜度(CD)明显低于术前,差异有统计学意义(t=3.242,P=0.004)。术眼手术后不同时间点角膜内皮细胞密度、角膜内皮细胞面积的变异系数(CV)及六边形角膜内皮细胞比率值均接近于术前值,总体比较差异均无统计学意义(F=0.246、0.465、0.981,均P〉0.05)。术眼术后3个月和6个月的角膜厚度值分别为(467.86±52.92)和(468.51±52.96)μm,高于术前的(453.91±45.78)μm,但差异均无统计学意义(t=0.236、0.469,均P〉0.05),术眼术后12个月角膜厚度值为(488.67±51.44)μm,明显高于术前值,差异有统计学意义(t=3.681,P=0.002)。术眼术后3、6和12个月角膜曲率最大值(Ks)、角膜曲率最小值(Kf)及角膜平均曲率值(Avek)逐渐下降,但手术前后不同时间点间总体比较差异均无统计学意义(F=0.592、0.897、1.029,均P〉0.05)。术后1个月角膜基质层可见高密度光反射条带者39眼,占84.78%,深度平均为(214.38±31.92)μm。手术前后不同时间点角膜滞后量(CH)及角膜阻力因素(CRF)值的总体比较差异均无统计学意义(F=1.268、0.894,均P〉0.05)。结论快速跨上皮核黄素-紫外线CXL后圆锥角膜的角膜厚度增加,曲率逐渐扁平,角膜应力增强,因此可以有效地阻止圆锥角膜的进展,此外圆锥角膜患者用快速跨上皮核黄素-紫外线CXL治疗后不影响角膜上皮和内皮细胞的形态和功能,治疗后刺激症状轻,安全性较好。 展开更多
关键词 圆锥角膜/药物疗法 光化学疗法/方法 光敏剂/治疗用途 核黄素/治疗用途 紫外线 角膜生物力学 快速跨上皮核黄素-紫外线角膜原交联
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紫外光固化胶的组成及应用 被引量:8
5
作者 郑晓 孙钦勇 《化学工业与工程技术》 CAS 2014年第5期67-70,共4页
介绍了紫外光固化胶的组成,综述了齐聚体、活性稀释剂、光引发剂、助剂的研究进展,简述了紫外光固化胶在化工领域的应用情况,并对其潜在应用进行了展望。
关键词 紫外光固化 齐聚体 活性稀释剂 光引发剂 助剂 应用
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光刻胶材料的研究进展 被引量:2
6
作者 刘巧云 祁秀秀 +2 位作者 杨怡 朱翔宇 周勇 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期378-384,共7页
简单介绍了光刻胶的组成部分,综述了近年来国内外光刻胶成膜树脂合成、开发的研究进展,并根据不同曝光波长所需的不同光刻胶(包括紫外(UV)光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光刻胶等)进行了介绍。重点介绍了各光源下分子量和分子量分散指数... 简单介绍了光刻胶的组成部分,综述了近年来国内外光刻胶成膜树脂合成、开发的研究进展,并根据不同曝光波长所需的不同光刻胶(包括紫外(UV)光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光刻胶等)进行了介绍。重点介绍了各光源下分子量和分子量分散指数对光致抗蚀剂的影响,并对国内外研究中通过不同聚合工艺制备的不同分子量光致抗蚀剂性能进行了评述,总结了近年来含有特定化学结构的光致抗蚀剂以及其制备工艺的研究进展。最后对国内外光刻胶的发展和应用进行了展望,指出进一步提高光刻胶的分辨率、改善其综合性能是今后的研究重点。 展开更多
关键词 紫外(UV)光刻 紫外光刻 紫外光刻 成膜树脂 分辨率
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光量热仪表征紫外光固化胶黏剂的固化过程
7
作者 孟祥艳 魏莉萍 +4 位作者 周燕萍 王雪蓉 刘运传 王康 于万增 《化学分析计量》 CAS 2014年第5期36-38,共3页
利用光量热仪对紫外光固化胶(UV胶)固化行为进行表征。使用光量热仪对UV胶进行测试并制作DSC曲线,根据固化前后的DSC曲线之差求得样品紫外光固化曲线,从而求得样品固化时间。结果表明光量热仪可方便地表征不同紫外光照射强度下光固化胶... 利用光量热仪对紫外光固化胶(UV胶)固化行为进行表征。使用光量热仪对UV胶进行测试并制作DSC曲线,根据固化前后的DSC曲线之差求得样品紫外光固化曲线,从而求得样品固化时间。结果表明光量热仪可方便地表征不同紫外光照射强度下光固化胶的固化行为,为UV胶的配方设计、固化剂类型及用量的选择、工艺应用参数的确定等提供参考数据。 展开更多
关键词 紫外-可见差示扫描量热仪 紫外光固化 固化行为 表征方法
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基于Norland紫外固化胶的热光开关器件 被引量:2
8
作者 王旗 王希斌 +3 位作者 孙小强 田亮 王菲 张大明 《中国光学》 EI CAS 2012年第2期194-198,共5页
采用新型聚合物材料Norland紫外固化胶(NOA)制备了聚合物M-Z型热光开关器件。对NOA薄膜材料的光学性质进行了表征,采用感应耦合等离子体(ICP)方法制备出形貌良好的波导器件。测得在1 550 nm波长下,长2.2 cm的直波导插入损耗为8.3 dB。... 采用新型聚合物材料Norland紫外固化胶(NOA)制备了聚合物M-Z型热光开关器件。对NOA薄膜材料的光学性质进行了表征,采用感应耦合等离子体(ICP)方法制备出形貌良好的波导器件。测得在1 550 nm波长下,长2.2 cm的直波导插入损耗为8.3 dB。在电极上施加直流信号,测得热光开关的消光比为11 dB,驱动功率为85 mW。引入直流偏置网络,获得了器件的开关特性曲线,测得开关器件的上升时间为1.085 ms,下降时间为489.5μs。实验结果表明:NOA材料在热光开关及其它聚合物光波导集成器件的制备中具有很大的应用潜力。 展开更多
关键词 平面光波导 聚合物光波导 热光开关 Norland紫外固化
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高分辨率极紫外光刻胶的研究进展 被引量:3
9
作者 高佳兴 陈龙 +6 位作者 玉佳婷 郭旭东 胡睿 王双青 陈金平 李嫕 杨国强 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1138-1153,共16页
自集成电路芯片诞生半个多世纪以来,芯片尺寸在不断减少,以极紫外光刻为代表的光刻技术也有了显著的发展。同时,实现更高精度的光刻图案需要更加先进的光刻胶材料。传统的聚合物光刻胶材料因其相对分子质量大、高精度条纹易坍塌等缺陷... 自集成电路芯片诞生半个多世纪以来,芯片尺寸在不断减少,以极紫外光刻为代表的光刻技术也有了显著的发展。同时,实现更高精度的光刻图案需要更加先进的光刻胶材料。传统的聚合物光刻胶材料因其相对分子质量大、高精度条纹易坍塌等缺陷使其使用受到限制。以分子玻璃和无机金属配合物光刻胶为代表的相对分子质量小、结构均一的新型光刻胶材料在国内外得到了广泛发展。本文对现阶段新型极紫外光刻胶材料的发展现状和趋势做了评述。 展开更多
关键词 紫外光刻 紫外光刻 分子玻璃光刻 无机金属配合物光刻 光刻
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紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用 被引量:1
10
作者 李雯 谭智敏 +1 位作者 薛昕 刘理天 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z2期247-248,共2页
研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结... 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证。 展开更多
关键词 紫外光刻 3-D MEMS
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紫外线厚胶光刻技术研究及应用 被引量:4
11
作者 李雯 谭智敏 +1 位作者 薛昕 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期151-153,共3页
紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于 3D微机械结构的制作。本文选用AZ4 6 2 0和SU 8两种光刻厚胶 ,采用德国卡尔·休斯公司的MA 6双面对准光刻机 ,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究 ,结果表明 ,负性光刻胶SU 8的光敏性好 ,胶结构图... 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于 3D微机械结构的制作。本文选用AZ4 6 2 0和SU 8两种光刻厚胶 ,采用德国卡尔·休斯公司的MA 6双面对准光刻机 ,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究 ,结果表明 ,负性光刻胶SU 8的光敏性好 ,胶结构图形的侧墙较陡直 ,能够实现较大的深宽比 ,为复杂结构的三维微机械器件的制作提供了保证。 展开更多
关键词 紫外线厚光刻技术 SU-8 AZ4620 双面对准光刻机 紫外线光刻工艺 结构图形
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基于紫外固化胶/PMMA双层胶转印技术的微纳结构制作
12
作者 郑丁杰 陶伟 +1 位作者 魏本猛 王旭迪 《真空》 CAS 2016年第3期66-69,共4页
本文基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构图章的转印技术将紫外固化胶图形转移到PMMA基底上,形成紫外固化胶/PMMA双层胶结构,用等离子刻蚀(RIE)后,得到具有内切结构的光刻胶掩膜,镀金属膜并去胶获得周期性微纳结构。由于界面间粘附能的差异... 本文基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构图章的转印技术将紫外固化胶图形转移到PMMA基底上,形成紫外固化胶/PMMA双层胶结构,用等离子刻蚀(RIE)后,得到具有内切结构的光刻胶掩膜,镀金属膜并去胶获得周期性微纳结构。由于界面间粘附能的差异,紫外固化胶图形可以在无粘附剂辅助下成功转移到PMMA基底上。比较PMMA和这种紫外固化胶在氧气等离子中的刻蚀速率,表明紫外固化胶在氧气等离子体中具有高抗刻蚀性,有利于底层的PMMA形成去胶所需的内切结构。 展开更多
关键词 紫外固化/PMMA 转印技术 金属线阵 粘附能 刻蚀速率
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一种高性能紫外光固化胶粘剂的制备 被引量:3
13
作者 李应林 阮镜棠 张银华 《粘接》 CAS 2014年第9期65-68,60,共5页
以异佛尔酮二异氰酸酯IPDI、改性聚醚多元醇、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)为主要原料,制备了聚氨酯丙烯酸酯PU1。考查了水解剥离型紫外光固化胶粘剂的基本配方中各主要组分对粘接强度和水解剥离性能的影响。研究结果表明,PU1作为基础树脂玻... 以异佛尔酮二异氰酸酯IPDI、改性聚醚多元醇、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)为主要原料,制备了聚氨酯丙烯酸酯PU1。考查了水解剥离型紫外光固化胶粘剂的基本配方中各主要组分对粘接强度和水解剥离性能的影响。研究结果表明,PU1作为基础树脂玻璃粘接强度高同时剥离时间短分别为12.2 MPa和30 min;亲水性单体聚乙二醇二丙烯酸酯比单官能甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯在粘接强度和水解剥离速度上优异。其中FA-260A均衡性最佳,玻璃粘接强度12.5 MPa,水解剥离时间20 min;高折射率、疏水性环状单体对基本配方的折射率的调节有帮助,可以实现胶粘剂折射率1.50的要求,其中低官能度邻苯基苯氧乙基丙烯酸酯性能最佳;溶剂选用环保型低级醇对水解剥离性能有帮助。()() 展开更多
关键词 紫外光固化 水解剥离 聚氨酯丙烯酸酯
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紫外固化胶的选用
14
作者 何方 《印刷技术》 北大核心 2002年第32期34-36,共3页
紫外(UV)固化胶是一种用于多层标签和烫印工艺的新型黏合剂,可采用网印和柔印方法印刷在底纸上,经紫外光源照射后,形成具有一定黏度的胶膜,之后,再进行后工序加工,是极具发展性的标签、包装印刷新材料。
关键词 烫印 黏合剂 使用 包装印刷 紫外固化
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MAPDST单体在EUV光刻胶制备过程中的应用
15
作者 李元壮 姜靖逸 肖国民 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第S02期32-37,共6页
极紫外(EUV)光刻胶的研发作为适配未来光刻技术的发展方向,现已成为超高精度集成电路制造的最高效工艺技术。其中,(4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐(MAPDST)作为一种含辐射敏感锍基功能的关键单体,现已广泛应用于极紫外(E... 极紫外(EUV)光刻胶的研发作为适配未来光刻技术的发展方向,现已成为超高精度集成电路制造的最高效工艺技术。其中,(4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐(MAPDST)作为一种含辐射敏感锍基功能的关键单体,现已广泛应用于极紫外(EUV)光刻胶的研发生产过程中。首先,简要阐述在制约光刻胶性能提升过程中存在的分辨率(R)、线边缘粗糙度(LER)、曝光灵敏度(S)之间的平衡制约关系,即RLS平衡制约关系;随后,对MAPDST单体的优越性能以及在推动光刻胶朝着高分辨率方向发展的应用现状进行综述;最后,对EUV光刻胶材料及MAPDST单体的未来发展做出展望。 展开更多
关键词 紫外光刻技术 紫外光刻 (4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐单体 RLS平衡制约关系 二次电子
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紫外光固化易碎胶的制备和性能研究
16
作者 许逊福 《区域治理》 2020年第17期192-192,219,共2页
以自制的聚氨酯丙烯酸酯预聚体、活性稀释剂、光引发剂、气相二氧化硅、温变粉、荧光粉制备了一款紫外光固化防伪易碎胶。研究结果表明,该紫外光固化防伪易碎胶能在300mJ的能量下完全固化,用于保护电子产品质保螺丝时,具有易碎和防伪的... 以自制的聚氨酯丙烯酸酯预聚体、活性稀释剂、光引发剂、气相二氧化硅、温变粉、荧光粉制备了一款紫外光固化防伪易碎胶。研究结果表明,该紫外光固化防伪易碎胶能在300mJ的能量下完全固化,用于保护电子产品质保螺丝时,具有易碎和防伪的效果,与金属的粘接力强不易整块取下。该紫外光固化胶具有防伪、易碎、固化能量低、不易被模仿、强度高、韧性差、不能整块取下的特性,特别适合替代传统的易碎贴纸进行大规模的生产和使用。 展开更多
关键词 紫外光固化 聚氨酯丙烯酸树脂 防伪 易碎贴
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木塑复合材料3DP设备微滴喷射过程仿真及关键参数研究
17
作者 刘子昕 王琦 +2 位作者 闫承琳 王鑫旭 李晓旭 《浙江农林大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期651-658,共8页
【目的】以自主研发的木塑复合材料三维打印与胶黏(3DP)微滴喷射系统为基础,开展紫外线固化黏结剂(UV胶)微滴喷射过程的研究,优化喷射系统工艺参数和阀体结构参数,为木塑复合材料3DP工艺液滴铺展渗透研究提供数据支撑。【方法】对喷射... 【目的】以自主研发的木塑复合材料三维打印与胶黏(3DP)微滴喷射系统为基础,开展紫外线固化黏结剂(UV胶)微滴喷射过程的研究,优化喷射系统工艺参数和阀体结构参数,为木塑复合材料3DP工艺液滴铺展渗透研究提供数据支撑。【方法】对喷射阀撞针的位移特征、UV胶的流变特性进行测定分析,确定了影响木塑复合材料3DP设备微滴喷射过程的喷射参数。采用有限元法对微滴喷射过程进行仿真,分析了微滴喷射过程中UV胶在喷嘴处速度、压力和质量流率的变化特征,获得了喷射参数对微滴喷射过程的影响规律。选取撞针速度、喷嘴直径、供胶压力为自变量,以液滴成形质量和主液滴速度为评价指标,开展仿真试验求解优化参数组。【结果】单因素试验得到了撞针速度0.3~0.9 m·s^(−1),喷嘴直径0.10~0.20 mm,供胶压力0.1~0.3 MPa,阀座锥角120°~130°的合理喷射参数范围。正交试验得到了喷嘴直径是影响液滴质量的显著因素,供胶压力是影响液滴速度的显著因素,并获得最优的喷射参数组合为喷嘴直径0.10 mm,撞针速度0.9 m·s^(−1),供胶压力0.1 MPa、阀座锥角130°。【结论】建立了基于木塑复合材料3DP微滴喷射过程的VOF有限元模型,完成了喷射参数对微滴喷射影响的研究,获得了最优的喷射参数组合。 展开更多
关键词 木塑复合材料 三维打印与黏(3DP) 撞针式喷射阀 紫外黏剂 喷射参数
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纳米压印用压印胶的研究进展 被引量:1
18
作者 董会杰 辛忠 陆馨 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第10期666-672,共7页
纳米压印需采用压印胶进行图案转移,作为压印技术的关键材料,压印胶的性能直接影响到纳米压印的质量。根据压印技术的工艺特点对压印胶进行了分类,介绍了纳米压印用热压印胶和紫外压印胶的发展研究现状和性能优缺点,分析了目前压印胶存... 纳米压印需采用压印胶进行图案转移,作为压印技术的关键材料,压印胶的性能直接影响到纳米压印的质量。根据压印技术的工艺特点对压印胶进行了分类,介绍了纳米压印用热压印胶和紫外压印胶的发展研究现状和性能优缺点,分析了目前压印胶存在的主要问题,并指出压印胶的研究主要是提高压印胶的脱模性能、固化速率以及简化工艺,主要列举了含氟硅类压印胶、双表面能压印胶的性能特点,并展望了未来的发展方向。 展开更多
关键词 纳米压印 紫外压印 热压印 脱模性 表面能
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耐高温UV胶的配方研究 被引量:2
19
作者 甘淳 刘海涛 蒋涛 《粘接》 CAS 2016年第4期40-43,共4页
研究了手机导电玻璃镀膜生产用耐高温紫外光固化胶(耐高温UV胶)的配方组成,通过单一变量实验方法,从单体及偶联剂种类、偶联剂及光引发剂用量、抗氧化剂种类及用量等因素出发,对导电玻璃与基材玻璃在高温下粘接性能的影响进行了研究。... 研究了手机导电玻璃镀膜生产用耐高温紫外光固化胶(耐高温UV胶)的配方组成,通过单一变量实验方法,从单体及偶联剂种类、偶联剂及光引发剂用量、抗氧化剂种类及用量等因素出发,对导电玻璃与基材玻璃在高温下粘接性能的影响进行了研究。结果表明,配方组成为丙烯酸酯改性聚硅氧烷70质量份、异十三烷基丙烯酸酯30质量份、γ-缩水甘油醚基丙基三甲氧基硅烷1质量份、1-羟基环己基苯基甲酮3质量份和抗氧化剂0.4质量份时,耐高温UV胶对玻璃的粘接力较好,且有优异的耐高温性能。 展开更多
关键词 镀ITO 耐高温 紫外光固化 粘接力 配方
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钠钙玻璃微流管道的厚胶湿法腐蚀工艺优化
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作者 李其昌 王广龙 +3 位作者 王竹林 张姗姗 高敏 高凤岐 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期282-286,共5页
为了克服石英玻璃和Pyrex 7740玻璃制作微流管道价格昂贵、工艺流程复杂等缺点,利用普通钠钙玻璃为基质、正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,提出了一种高效、快速、低成本的微流管道制作方法。该方法优化了腐蚀工艺的关键参数,解决了光刻胶... 为了克服石英玻璃和Pyrex 7740玻璃制作微流管道价格昂贵、工艺流程复杂等缺点,利用普通钠钙玻璃为基质、正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,提出了一种高效、快速、低成本的微流管道制作方法。该方法优化了腐蚀工艺的关键参数,解决了光刻胶与玻璃的粘附性、光刻胶在腐蚀液中的耐受时间等问题。试验腐蚀深度达到80μm,最小特征尺寸小于50μm,微流管道侧壁陡直度小于100°,底部平整度误差小于±1.5μm,制作周期仅需4h左右。 展开更多
关键词 微细加工 钠钙玻璃 微流管道 紫外光刻 湿法腐蚀
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