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高功率紫外超短脉冲激光 被引量:6
1
作者 汤秀章 张海峰 +3 位作者 李静 陶业争 单玉生 王乃彦 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第2期112-116,共5页
建立了国内第一台桌面高功率紫外超短脉冲激光系统。采用放电泵浦KrF准分子激光器、离轴放大技术 ,将能量 1mJ的 2 48nm紫外超短脉冲激光放大到 5 0mJ,利用棱镜对进行群速度色散补偿 ,将激光脉冲宽度由 42 0fs压缩到 2 2 0fs,用焦距为 4... 建立了国内第一台桌面高功率紫外超短脉冲激光系统。采用放电泵浦KrF准分子激光器、离轴放大技术 ,将能量 1mJ的 2 48nm紫外超短脉冲激光放大到 5 0mJ,利用棱镜对进行群速度色散补偿 ,将激光脉冲宽度由 42 0fs压缩到 2 2 0fs,用焦距为 40cm的透镜将放大后的超短脉冲激光聚焦到焦斑 5 μm ,功率密度达到 1 0 17W/cm2 。 展开更多
关键词 紫外超短脉冲激光 短脉冲 KRF激光 激光放大 脉冲激光器 氟化氮准分子激光器
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紫外超短脉冲激光辐照固体靶产生硬X射线研究 被引量:5
2
作者 陶业争 李业军 +2 位作者 汤秀章 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期378-380,共3页
实验研究了紫外高强度超短脉冲激光 (2 4 8nm,4 4 0 fs,5 0 m J)辐照固体靶时产生的硬 X-射线 (大于 30 ke V)能量连续谱 ,靶上强度达到 10 1 7W/ cm2 。 P极化光 4 5°照射 5 mm铜片 ,实验探测到了能量大于 2 0 0 ke V的 X射线信... 实验研究了紫外高强度超短脉冲激光 (2 4 8nm,4 4 0 fs,5 0 m J)辐照固体靶时产生的硬 X-射线 (大于 30 ke V)能量连续谱 ,靶上强度达到 10 1 7W/ cm2 。 P极化光 4 5°照射 5 mm铜片 ,实验探测到了能量大于 2 0 0 ke V的 X射线信号 ,利用 Maxwellian分布拟合能谱得到了的超热电子温度为 6 7ke V。 展开更多
关键词 激光辐照 紫外超短脉冲激光 固体靶 硬X射线 热电子 等离子体 相互作用
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紫外超短脉冲的准分子激光放大技术
3
作者 张艳琳 游利兵 +4 位作者 王宏伟 王琪 胡泽雄 范军 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期677-686,共10页
由于具有波长短、聚焦特性好、峰值功率高等优势,紫外超短脉冲在超快科学、强场物理等领域具有重要的应用价值。准分子激光工作气体作为增益介质在放大紫外超短脉冲方面具有独特的优势,利用准分子激光放大紫外超短脉冲获得高强度的激光... 由于具有波长短、聚焦特性好、峰值功率高等优势,紫外超短脉冲在超快科学、强场物理等领域具有重要的应用价值。准分子激光工作气体作为增益介质在放大紫外超短脉冲方面具有独特的优势,利用准分子激光放大紫外超短脉冲获得高强度的激光输出为紫外激光的应用提供了新的可能性。概括介绍了准分子激光放大的特点,进而基于准分子的放大特性分单元介绍了紫外超短准分子激光放大技术,并对深紫外超短脉冲脉宽的测量进行了简单阐述。 展开更多
关键词 激光技术 紫外超短脉冲 准分子激光放大 脉宽测量
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吸积盘内区相对论效应与活动星系核“紫外超”现象
4
作者 吴学兵 《华中师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1993年第2期164-170,共7页
通过比较在牛顿、拟牛顿及相对论框架下分别得到的吸积盘内区辐射流,指出相对论模型的有效温度比牛顿模型低而且在盘内变化较小,从而更适合于天体的单温黑体谱拟合。本文采用相对论模型对活动星系核“紫外超”现象中的黑体谱成分重新进... 通过比较在牛顿、拟牛顿及相对论框架下分别得到的吸积盘内区辐射流,指出相对论模型的有效温度比牛顿模型低而且在盘内变化较小,从而更适合于天体的单温黑体谱拟合。本文采用相对论模型对活动星系核“紫外超”现象中的黑体谱成分重新进行了讨论,给出了“紫外超”产生区域的一些具体特性。 展开更多
关键词 吸积盘 相对论 活动星系核 紫外超
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基于超微量紫外扫描与生物效应检测鉴别佛手、香圆和枸橼
5
作者 杨海英 彭钰婷 +5 位作者 王文瑀 谷艳佳 赵李娜 陈月华 康廷国 宋慧鹏 《中医药信息》 2024年第7期23-27,共5页
目的:通过超微量紫外扫描与体外生物效应对佛手、香圆、枸橼进行鉴别。方法:通过光学显微镜观察3种药材的粉末,采用超微量紫外扫描获得佛手、香圆、枸橼提取物的最大吸收波长,通过酶标仪检测药材提取物的DPPH自由基清除、乙酰胆碱酯酶... 目的:通过超微量紫外扫描与体外生物效应对佛手、香圆、枸橼进行鉴别。方法:通过光学显微镜观察3种药材的粉末,采用超微量紫外扫描获得佛手、香圆、枸橼提取物的最大吸收波长,通过酶标仪检测药材提取物的DPPH自由基清除、乙酰胆碱酯酶抑制和α-葡萄糖苷酶抑制活性。结果:佛手、香圆、枸橼粉末的显微特征无明显区别,其紫外最大吸收波长分别为323、285、270 nm,三者均无明显的乙酰胆碱酯酶抑制活性,但均有显著的α-葡萄糖苷酶抑制活性,其中DPPH自由基清除活性可用于香圆与枸橼的区分。结论:超微量紫外扫描结合体外生物效应检测是鉴别佛手、香圆、枸橼的有效方法,且3种药材含有潜在的DPPH自由基清除剂与α-葡萄糖苷酶抑制剂。 展开更多
关键词 柑橘属 Α-葡萄糖苷酶 自由基 生物活性 鉴定 微量紫外扫描 生物效应检测
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双色激光场中极端远紫外超连续谱相干辐射产生 被引量:24
6
作者 程亚 徐至展 《物理》 CAS 北大核心 2007年第10期754-757,共4页
通过脉宽为周期量级的超快强场激光脉冲与惰性气体原子的极端非线性相互作用,能够产生单个的阿秒量级的极端远紫外光脉冲。然而,现有的周期量级的激光脉冲的最短脉宽仍在两个光周期左右,尚不足以支持产生脉宽短于100as的单个极端远紫外... 通过脉宽为周期量级的超快强场激光脉冲与惰性气体原子的极端非线性相互作用,能够产生单个的阿秒量级的极端远紫外光脉冲。然而,现有的周期量级的激光脉冲的最短脉宽仍在两个光周期左右,尚不足以支持产生脉宽短于100as的单个极端远紫外脉冲。文章作者首次提出通过在一个周期量级(如6fs)激光脉冲上再叠加一个强度较弱但相对位相精确控制的二倍频激光,能够直接实现单个的65as光脉冲。如进一步经过位相补偿,将有望产生一个脉宽仅为23as的单脉冲,从而将阿秒光脉冲的时间宽度推进到短于一个原子时间单位。 展开更多
关键词 周期量级的快强场激光脉冲 高次谐波产生 极端远紫外超连续谱 阿秒光脉冲
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5ps紫外超短光脉冲产生技术
7
作者 赵卫 杨斌洲 +1 位作者 乔学光 杨鸿儒 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第11期981-984,共4页
描述了采用国内新型高效的二倍频晶体KTP和四倍频晶体LAP建立起来的一套稳定可靠的1.06μm脉冲激光四倍频系统,通过计算机模拟确定了运行参数的最佳值,从而使谐波器件的转换效率提高,另外还分析了失配角Δθ,光功率密度... 描述了采用国内新型高效的二倍频晶体KTP和四倍频晶体LAP建立起来的一套稳定可靠的1.06μm脉冲激光四倍频系统,通过计算机模拟确定了运行参数的最佳值,从而使谐波器件的转换效率提高,另外还分析了失配角Δθ,光功率密度等因素对倍频效率的影响。该系统产生的超短紫外光脉冲对X光条纹相机的动态参数及带时标的条纹相机的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 紫外超短光脉冲 谐波 相位匹配 激光技术
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双色场下紫外超短脉冲的频谱展宽
8
作者 吴洪 王燕玲 丁良恩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期3973-3978,共6页
当共线传输的双色强激光脉冲满足时间重叠时,其等离子体通道间将出现强烈的耦合作用,由此引起的交叉相位调制可产生强烈的非线性效应,使紫外超短脉冲的频谱展宽效应得到增强.将由钛宝石激光系统经三倍频得到的能量为0.45mJ、带宽为1.5n... 当共线传输的双色强激光脉冲满足时间重叠时,其等离子体通道间将出现强烈的耦合作用,由此引起的交叉相位调制可产生强烈的非线性效应,使紫外超短脉冲的频谱展宽效应得到增强.将由钛宝石激光系统经三倍频得到的能量为0.45mJ、带宽为1.5nm的紫外脉冲和能量为7.1mJ的近红外脉冲共线聚焦后,在氩气样品池中分别诱导产生等离子体通道,发现紫外脉冲光谱受到明显调制.调制后的光谱半高全宽增至6.4nm,为聚焦前谱宽的4倍,是单束紫外脉冲成丝时谱宽的2.5倍.实验着重研究在不同时间延迟、耦合位置和气体压强情况下,双色光丝在氩气中的紫外频谱演化规律,为紫外波段极端超快激光脉冲的获得提供了有效依据. 展开更多
关键词 紫外超快脉冲 双色光丝 非线性效应 光谱展宽
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光子晶体光纤产生紫外超连续谱的数值研究 被引量:8
9
作者 张甜甜 施伟华 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期92-97,共6页
提出了一种基于高非线性氟化镁光子晶体光纤产生紫外超连续光源的方法。采用分步傅里叶法求解光纤的非线性薛定谔方程,基于光子晶体光纤数值模拟了扩展到紫外波段的超连续谱的产生;通过分析光纤结构参量与泵浦光源参数对紫外超连续谱产... 提出了一种基于高非线性氟化镁光子晶体光纤产生紫外超连续光源的方法。采用分步傅里叶法求解光纤的非线性薛定谔方程,基于光子晶体光纤数值模拟了扩展到紫外波段的超连续谱的产生;通过分析光纤结构参量与泵浦光源参数对紫外超连续谱产生的影响,得出了光纤长度、色散参量以及泵浦脉冲峰值功率、初始脉冲宽度对超连续谱光谱宽度的影响规律。研究发现:当光子晶体光纤长度为8 cm、脉冲中心波长为450 nm、峰值功率为3.1 kW、初始脉冲宽度为40 fs时,可获得展宽至紫外的超连续谱,范围为279.6~769.0 nm。 展开更多
关键词 光纤光学 紫外超连续谱 光子晶体光纤 非线性效应 色散 光纤材料
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超高效液相色谱-紫外检测法快速同时测定烟丝中的多酚 被引量:7
10
作者 王明锋 者为 +2 位作者 范多青 刘秀明 夏建军 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期139-141,共3页
建立了超高效液相色谱(UPLC)-紫外检测法同时快速测定烟丝中的绿原酸、芸香苷和莨菪亭。采用1%的乙酸水溶液对烟丝进行超声提取后,经0.2μm滤膜过滤直接进行UPLC分析。利用PDA检测器分别对绿原酸、芸香苷和莨菪亭进行定性定量。相对标... 建立了超高效液相色谱(UPLC)-紫外检测法同时快速测定烟丝中的绿原酸、芸香苷和莨菪亭。采用1%的乙酸水溶液对烟丝进行超声提取后,经0.2μm滤膜过滤直接进行UPLC分析。利用PDA检测器分别对绿原酸、芸香苷和莨菪亭进行定性定量。相对标准偏差为2.57%~4.57%,回收率为87.29%~91.67%。该法具有前处理简便、分析时间短、重现性好等优点,适合卷烟烟丝多酚类物质的批量快速检测。 展开更多
关键词 高效液相色谱-紫外检测法 烟丝 绿原酸 芸香苷 莨菪亭
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超高效液相色谱紫外法检测对苯二甲酸生产废水中的芳香羧酸 被引量:3
11
作者 刘创基 杜振霞 《北京化工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期29-32,共4页
建立了超高效液相色谱-紫外法(UPLC-TUV)测定对苯二甲酸生产废水中6种芳香羧酸(邻苯二甲酸、对苯二甲酸、3-羧基苯甲醛、间苯二甲酸、苯甲酸和间甲基苯甲酸)的快速分析方法。该方法使用的色谱柱为Waters Acquity BEHC18(2.1mm×50mm... 建立了超高效液相色谱-紫外法(UPLC-TUV)测定对苯二甲酸生产废水中6种芳香羧酸(邻苯二甲酸、对苯二甲酸、3-羧基苯甲醛、间苯二甲酸、苯甲酸和间甲基苯甲酸)的快速分析方法。该方法使用的色谱柱为Waters Acquity BEHC18(2.1mm×50mm,1.7μm),以甲醇-0.2%甲酸水(体积分数)体系进行梯度洗脱,紫外检测波长为254nm。在优化的色谱条件下,6种芳香羧酸得到基线分离,质量浓度范围为0.5~100μg/mL(其中对苯二甲酸的质量浓度范围是0.25~50μg/mL)时,线性相关系数均大于0.9998。利用该方法检测3批废水中的6种芳香羧酸,批内相对标准偏差(RSD)均小于1.5%(n=3)。6种芳香羧酸的一组浓度加标平均回收率均在80%~110%之间,RSD均小于6%(n=3),表明基质干扰少,重现性好。 展开更多
关键词 高效液相色谱紫外 对苯二甲酸 废水 芳香羧酸
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中国传统豆制品中异黄酮的超高效液相色谱-紫外检测器快速定量法 被引量:2
12
作者 张爽 焦妍津 +1 位作者 陶冠军 陈洁 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期253-256,261,共5页
建立了超高效液相色谱-紫外检测器(UPLC-UV)测定豆制品中大豆苷、黄豆黄苷、染料木苷、大豆苷元、黄豆黄素、染料木素的检测方法。采用酸化提取条件,将豆制品中大豆异黄酮及其修饰物水解成3种葡萄糖苷和3种苷元。采用BEH C18(2.1 mm... 建立了超高效液相色谱-紫外检测器(UPLC-UV)测定豆制品中大豆苷、黄豆黄苷、染料木苷、大豆苷元、黄豆黄素、染料木素的检测方法。采用酸化提取条件,将豆制品中大豆异黄酮及其修饰物水解成3种葡萄糖苷和3种苷元。采用BEH C18(2.1 mm×50 mm,1.7μm)色谱柱,以0.1%甲酸和乙腈为流动相进行梯度洗脱,梯度洗脱程序为:0~10 min,10%~45%乙腈;10~12 min,45%~100%乙腈。流速为0.3 m L/min,柱温45℃,在波长260 nm处进行紫外检测。6种大豆异黄酮组分在7.5 min内达到完全分离。建立了外标校正标准曲线(R2≥0.9998),检出限在0.05~0.1 mg·L-1之间,加标回收率在96.8%~102.0%之间。利用本方法对腐竹、豆干、素百叶、素鸡、嫩豆腐、老豆腐和内酯豆腐等7种传统豆制品中大豆异黄酮进行了定性定量分析,总大豆异黄酮含量在8.67~25.83 g/kg间。不同豆制品间6种大豆异黄酮中以大豆苷和染料木苷为主要成分,占88.0%~93.4%。结果表明,本研究建立的UPLC法可有效降低杂质干扰,色谱基线稳定且峰型良好,在10 min内实现对6种大豆异黄酮的快速定量检测,可良好应用于常见市售豆制品的营养评估与质量控制。 展开更多
关键词 豆制品 异黄酮 高效液相色谱-紫外检测器(UPLC-uV)
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超高效液相色谱-紫外/串联质谱法检测药品中非法添加的邻苯二甲酸二异癸酯 被引量:1
13
作者 李婕 李勇 +2 位作者 张红 黄海伟 施亚琴 《中国药师》 CAS 2013年第11期1624-1626,共3页
目的:建立超高效液相色谱-紫外/串联四极杆质谱法检测药品中非法添加的邻苯二甲酸二异癸酯(DIDP)。方法:色谱柱为ACQUITY UPLC^(TM)BEH C_8(50 mm×2.1mm,1.7μm),以甲醇(A)-0.1%甲酸(B)为流动相,梯度洗脱分离,紫外检测波长254 nm;... 目的:建立超高效液相色谱-紫外/串联四极杆质谱法检测药品中非法添加的邻苯二甲酸二异癸酯(DIDP)。方法:色谱柱为ACQUITY UPLC^(TM)BEH C_8(50 mm×2.1mm,1.7μm),以甲醇(A)-0.1%甲酸(B)为流动相,梯度洗脱分离,紫外检测波长254 nm;同时采用串联四极杆质谱,电喷雾正离子扫描和多反应监测模式检测。结果:超高效液相-串联四极杆质谱法,DIDP被准确定性,定性离子对(m/z)为447.6/148.9和447.6/307.2。超高效液相-紫外法,DIDP的检测限为0.4 ng;在0.6~5.0μg·ml^(-1)质量浓度范围内与峰面积呈良好的线性关系,r=0.999 4;回收率为100.2%(RSD=4.8%)。结论:该方法专属、灵敏、测定结果准确,可用于定性、定量检测药品中非法添加的DIDP。 展开更多
关键词 高效液相色谱-紫外 串联质谱 邻苯二甲酸二异癸酯 塑化剂
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超分子紫外阻隔材料改性沥青的研究与应用
14
作者 李汶卒 邢颖 +2 位作者 李凯涛 李玉环 余剑英 《石油沥青》 2014年第6期6-9,共4页
采用超分子紫外阻隔材料制备了路用耐老化沥青和屋面防水用耐老化沥青,研究了超分子紫外阻隔材料对基质沥青和SBS改性沥青物理性能和老化性能的影响。结果表明超分子紫外阻隔材料可显著改善基质沥青和SBS改性沥青的耐紫外光老化性能,并... 采用超分子紫外阻隔材料制备了路用耐老化沥青和屋面防水用耐老化沥青,研究了超分子紫外阻隔材料对基质沥青和SBS改性沥青物理性能和老化性能的影响。结果表明超分子紫外阻隔材料可显著改善基质沥青和SBS改性沥青的耐紫外光老化性能,并明显提高沥青混合料的抗车辙能力。 展开更多
关键词 分子紫外阻隔材料 沥青 紫外光老化
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超高效液相色谱-紫外法同时快速测定烟草中的5种酚类 被引量:4
15
作者 韩敬美 刘志华 +4 位作者 赵伟 何沛 王昆淼 刘春波 缪明明 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期125-127,129,共4页
对超高效液相色谱-紫外法同时测定烟草中的莨菪葶、绿原酸、芸香苷、咖啡酸和愈创木酚进行了系统研究,建立了烟草中5种酚类的测定方法。对样品中被测物的萃取溶剂和萃取条件及线性关系、精密度和回收率进行了考察和实验。该方法的相对... 对超高效液相色谱-紫外法同时测定烟草中的莨菪葶、绿原酸、芸香苷、咖啡酸和愈创木酚进行了系统研究,建立了烟草中5种酚类的测定方法。对样品中被测物的萃取溶剂和萃取条件及线性关系、精密度和回收率进行了考察和实验。该方法的相对标准偏差为1.4%~5.3%,回收率在95%~107%之间,检出限为0.01~0.14 mg/L。在9 min内,5种酚类物质得到了完全的分离,说明该方法可以用于日常复杂体系中微量酚的含量分析。此外,由于分析时间短,该方法适用于每天分析大量的样品。 展开更多
关键词 酚类 高效液相色谱-紫外检测器 烟草 测定
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超紫外波段的X射线底片相对标定 被引量:2
16
作者 张启仁 杨上金 +2 位作者 何安 黄文忠 淳于书泰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1992年第3期473-476,共4页
介绍X射线底片在超紫外波段(19.0~22.0nm)的相对标定方法。在LF-11激光装置上,用激光产生等离子体作为标定源,同时控制显影条件和底片类型与测X光激光时相同,标定出美国Kodak公司生产的SWR型底片特性曲线。解决了底片响应对所测X光激... 介绍X射线底片在超紫外波段(19.0~22.0nm)的相对标定方法。在LF-11激光装置上,用激光产生等离子体作为标定源,同时控制显影条件和底片类型与测X光激光时相同,标定出美国Kodak公司生产的SWR型底片特性曲线。解决了底片响应对所测X光激光增益系数的影响。结果表明,在超紫外波段,波长对特性曲线影响可不考虑。 展开更多
关键词 标定 X射线 底井 紫外波段
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超激光紫外线联合治疗耳廓假性囊肿50例
17
作者 杨一萍 俞萍 +1 位作者 孟敏 邓黔珍 《贵州医药》 CAS 2004年第9期819-820,共2页
关键词 激光紫外线 耳廓假性囊肿 软骨间积液 无菌性浆液性渗出
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超高效液相色谱—紫外检测法同时测定绿咖啡豆提取物中的绿原酸和咖啡因含量 被引量:7
18
作者 蔡荣华 张晓芳 +3 位作者 杜精精 徐猛 王磊 高伟 《中国食品添加剂》 CAS 北大核心 2014年第2期225-228,共4页
目的:利用超高效液相色谱—紫外法(UPLC-UV)建立一种能够同时测定绿咖啡豆提取物中绿原酸和咖啡因含量的方法.方法:采用BEH C18色谱柱,以0.6%乙酸水-乙腈(90/10,v/v)为流动相,流速0.5 mL/min,在波长274nm处检测.结果:绿原酸在6... 目的:利用超高效液相色谱—紫外法(UPLC-UV)建立一种能够同时测定绿咖啡豆提取物中绿原酸和咖啡因含量的方法.方法:采用BEH C18色谱柱,以0.6%乙酸水-乙腈(90/10,v/v)为流动相,流速0.5 mL/min,在波长274nm处检测.结果:绿原酸在6.06~ 101mg/L浓度范围内线性关系良好,相关系数r=0.9998,检出限0.30mg/L;咖啡因在8.58~143mg/L浓度范围内线性关系良好,r=0.9999,检出限0.04mg/L.绿原酸和咖啡因加标回收率都在99% ~ 101%之间.结论:本方法准确、稳定、高效、灵敏,可用于绿咖啡豆提取物中绿原酸和咖啡因含量的同时测定. 展开更多
关键词 绿咖啡豆提取物 高效液相色谱-紫外 绿原酸 咖啡因 含量
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探索超紫外波段——NASA卫星将考察局域气泡
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作者 Ron Cowen 肖建民 《世界科学》 1993年第6期53-54,共2页
如果一切按计划进行的话,DeltaⅡ型火箭将在今年6月初使四台望远镜组成的系统发射进入太空.这台被称为"超紫外探索者"(EUVE)的观测站将从离地球平均328英里的轨道上考察附近的星体和星际气体.
关键词 银河系 局域汽泡 紫外波段
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超紫外线光刻技术浮出水面
20
作者 快人 《电脑采购》 2001年第31期21-21,共1页
有消息称,使用超紫外线光刻技术(EUV)的芯片制造机器在实验室揭开面纱。如果这项技术走出实验室,它有望维持芯片处理能力的持续提高的期限再延长30年。这种超紫外线光刻技术能够将芯片的规格缩小到0.03微米,其技术关键在于紫外光的波长... 有消息称,使用超紫外线光刻技术(EUV)的芯片制造机器在实验室揭开面纱。如果这项技术走出实验室,它有望维持芯片处理能力的持续提高的期限再延长30年。这种超紫外线光刻技术能够将芯片的规格缩小到0.03微米,其技术关键在于紫外光的波长,因为超紫外光有较短的波长,能够将小尺寸的电路蚀刻在硅薄片上。但这种不可见光能够被空气和聚焦透镜吸收,因此必须在真空状态下进行操作。从九十年代开始,英特尔公司。 展开更多
关键词 光刻技术 紫外 实验室 技术关键 九十年代 处理能力 芯片制造 紫外 聚焦透镜 可见光
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