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题名一种新型的紫外光源——准分子紫外灯
被引量:13
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作者
徐金洲
梁荣庆
任兆杏
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机构
中国科学院等离子体物理研究所
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第4期298-302,共5页
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文摘
非相干性紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术。本文着重介绍一种使用介质阻挡放电激发紫外或真空紫外辐射的新型光源———准分子紫外灯 ,包括准分子的形成以及光源的紫外辐射效率。最后 ,对影响准分子辐射的因素如气压、气体组成、温度及电源频率和电压进行了初步的分析。
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关键词
真空紫外辐射
介质阻挡放电
真空紫外辐射效率
准分子紫外灯
气体激光器
相干紫外辐射
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Keywords
Excimer lamp,Incoherent UV or VUV radiation,Dielectric barrier discharge, UV or VUV radiation efficiency
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
TM923.322
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名稀有气体-卤素准分子光源的最新进展
被引量:1
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作者
庄晓波
朱绍龙
张善端
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机构
复旦大学电光源研究所
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出处
《光源与照明》
2010年第1期18-21,共4页
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文摘
对准分子光源的一般性质进行了介绍,并概述了5种最具应用前景的稀有气体-卤素准分子光源的最新研究进展。目前获得的最佳紫外辐射效率为:溴化氪(KrBr*)207nm,2.4%;氯化氪(KrCl*)222nm,15%;氯化氙(XeCl*)308nm,11%;碘化氙(XeI*)253nm,2%;溴化氙(XeBr*)282nm,10.5%.
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关键词
准分子灯
介质阻挡放电(DBD)
紫外辐射效率
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分类号
TM923.32
[电气工程—电力电子与电力传动]
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