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a-SiO_xN_y薄膜的红光发射能级
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作者 石旺舟 余楚迎 《汕头大学学报（自然科学版）》 2000年第2期1-4,共4页
在ＰＥＣＶＤ法制备的ａ－ＳｉＯｘＮｙ薄膜中首次观察到分立能级的红光发射，采用荧光激发谱研究了发光能级与其它能级之间的相互关系，建立了产生光跃迁的能级模型．
关键词 红光发射能级 a-SiOxNy薄膜 荧光发射 分立能级 PECVD法 光跃迁 能级模型
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