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多光谱单片红外焦平面列阵探测器
1
作者
高
《红外》
CAS
2004年第2期16-16,共1页
本发明提供一种多色红外传感器件,即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下:在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接...
本发明提供一种多色红外传感器件,即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下:在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接外延生长的读出集成电路;
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关键词
红外
焦平面列阵
探测器
红外传感器件
分子束外延
碲镉汞材料
集成电路
湿法蚀刻
下载PDF
职称材料
题名
多光谱单片红外焦平面列阵探测器
1
作者
高
出处
《红外》
CAS
2004年第2期16-16,共1页
文摘
本发明提供一种多色红外传感器件,即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下:在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接外延生长的读出集成电路;
关键词
红外
焦平面列阵
探测器
红外传感器件
分子束外延
碲镉汞材料
集成电路
湿法蚀刻
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
多光谱单片红外焦平面列阵探测器
高
《红外》
CAS
2004
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