PLD制备Mn掺杂ZnO薄膜的光学性能和快速红外光伏响应研究

使用脉冲激光沉积(PLD)方法在融石英基底上生长不同Mn掺杂量的ZnO薄膜。XRD测试表明,Mn掺杂的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,具有明显的(002)方向择优生长,Mn2+以取代原子的形式存在于ZnO薄膜中,Mn2+掺入后导致了晶格膨胀。薄膜吸收光谱的测试显示出Mn的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,从而改变了ZnO薄膜对光的吸收能力。薄膜具有快速响应的红外光伏效应,其红外光伏信号随激光能量的增加而线性增大,随Mn掺杂量的增多也增大。