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吸收光谱型气体红外传感器的设计与实现 被引量:10
1
作者 杜鹏 谭秋林 +3 位作者 薛晨阳 秦丽 鲍爱达 熊继军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第6期1-2,共2页
对一种吸收光谱型气体红外传感器的工作原理、设计原理和集成化设计进行了分析。其中气体浓度对光谱的吸收会影响光强的变化,所以将微型热释电红外敏感头、小型灯泡都集成在1个小型的气室中,气室中有2个通道,气体探测通道和参考通道。2... 对一种吸收光谱型气体红外传感器的工作原理、设计原理和集成化设计进行了分析。其中气体浓度对光谱的吸收会影响光强的变化,所以将微型热释电红外敏感头、小型灯泡都集成在1个小型的气室中,气室中有2个通道,气体探测通道和参考通道。2个通道光强的强弱差就会体现出气体浓度的大小,这样就实现了测试气体浓度的功能。集成化采用MEMS工艺将红外双路敏感元件及滤光片制作成探测头,然后通过微封装和微小集成技术将探测头、红外光源、过滤网集成在气室内。 展开更多
关键词 吸收光谱型气体红外传感器 红外探测器 集成化
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基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器
2
作者 刘英明 王健 +2 位作者 俞大海 顾海涛 高秀敏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期146-147,共2页
对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20 ppm的H_2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确;在低浓度时测量有一定... 对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20 ppm的H_2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确;在低浓度时测量有一定的偏差。测量的浓度波动小于3 ppm. 展开更多
关键词 高精细腔 红外吸收光谱型气体传感器 集成化
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气体滤光相关红外吸收法测定空气中一氧化碳的测量不确定度评定 被引量:1
3
作者 张宇烽 《广东化工》 CAS 2012年第7期178-179,170,共3页
建立气体滤光相关红外吸收法(GFC)测定空气中一氧化碳的测量不确定度的评定方法。方法通过建立数学模型,分析各种不确定分量的来源来评定标准不确定度,最后确定合成不确定度和扩展不确定度。
关键词 不确定度 一氧化碳 气体滤光相关红外吸收法(GFC)
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基于红外光谱吸收型光纤气体传感器的煤矿瓦斯监测监控系统初探 被引量:1
4
作者 郑刚 《中国西部科技》 2008年第22期50-51,53,共3页
本文依据公司多年以来的煤矿监测监控系统使用、升级改造、维护过程以及应用情况,提出了一种基于红外光谱吸收型光纤气体传感器的煤矿瓦斯监测监控系统的模型,并对这种监测监控网络模型的优势及推广价值进行了初步探讨。
关键词 红外光谱吸收型光纤气体传感器 自愈光纤环网 瓦斯监测监控系统
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惰气熔融红外吸收法测定高纯金中痕量氧 被引量:5
5
作者 唐一川 崔彦杰 +3 位作者 张见营 何升 周涛 吴冰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期622-626,共5页
在采用全杂质元素扣除法进行纯度计算时,痕量氧对高纯金的纯度测定具有明显影响,而以往的杂质扣除法不计算氧等非金属元素,使得纯度测定结果缺乏说服力。通过建立惰气熔融红外吸收法,测量高纯金纯度标准物质中痕量氧含量,同时采用二次... 在采用全杂质元素扣除法进行纯度计算时,痕量氧对高纯金的纯度测定具有明显影响,而以往的杂质扣除法不计算氧等非金属元素,使得纯度测定结果缺乏说服力。通过建立惰气熔融红外吸收法,测量高纯金纯度标准物质中痕量氧含量,同时采用二次离子质谱法进行了方法比对,确保测量结果的可靠性。优化了氧氮氢分析仪的测量参数,确定了最佳工作条件:吹扫时间35 s,分析延迟75 s,排气周期2,排气时间25 s,排气功率4500 W,分析功率4000 W;选择金属锡作为助熔剂,通过氧释放实验确定金锡比为5∶3,对金样品进行二次测量发现氧残留与空白一致,说明锡粒的加入可以促进金中氧的释放,从而解决了金中氧释放不完全的难题;对锡粒进行反复脱氧,降低空白,获得了稳定的测量空白,方法定量限达到0.1 mg·kg^(-1);采用碳酸钠纯度标准物质对氧氮氢分析仪进行了校正,校正系数为1.012,同时氧的加标回收率在95%~105%之间,验证了测量方法的可靠性并保证了测量结果的溯源性。将高纯金制备成树脂靶件,在二次离子质谱仪中以Cs^(+)作为一次离子源,光阑400μm,离子束强度为3 nA,束斑大小约20μm,栅格扫描大小为10μm,二次离子光路光阑为400μm,质量分辨率约为2400,经过溅射和电离,采集^(16) O-和^(18) O-离子流,以SRM685高纯金标准物质作为测量标准,通过标准、样品的循环测量,以标准和样品的离子强度对比计算含氧量。采用两种方法的测量结果分别为(1.1±0.3)和(0.9±0.3)mg·kg^(-1),两个结果在不确定度范围内一致,对测量不确定度的评定表明其主要来源为测量重复性,最终确定高纯金纯度标准物质中痕量氧含量为(1.0±0.4)mg·kg^(-1)。测量方法的建立实现了高纯金中痕量氧的准确测定,为痕量氧测量和高纯金及其他高纯金属纯度标准物质的研制提供了有效的技术手段。 展开更多
关键词 高纯金 惰性气体熔融红外吸收 二次离子质谱
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新型室温微机械红外探测器原理与设计 被引量:3
6
作者 李兰 沈光地 +4 位作者 邹德恕 刘铮 邓军 杨道虹 吴畯苗 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期34-36,43,共4页
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的... 利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。 展开更多
关键词 红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体
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新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制 被引量:3
7
作者 刘铮 李兰 +3 位作者 邹德恕 杨道虹 徐晨 沈光地 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第5期452-455,共4页
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品... 介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号。 展开更多
关键词 微机械 红外探测器 非制冷 红外吸收气体
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新型室温工作微机械红外探测器
8
作者 李兰 刘铮 +1 位作者 邹德恕 沈光地 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z2期140-141,共2页
提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外... 提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8~14μm有良好的应用前景。 展开更多
关键词 红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体
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H_(2)S及CO的近红外波段光声光谱检测技术 被引量:9
9
作者 张晓星 陈振伟 +3 位作者 程宏图 张引 唐炬 肖淞 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2021年第4期95-101,共7页
SF_(6)常用于电力设备内部充当绝缘介质,在SF_(6)绝缘设备内部出现过热或局部放电时,进一步反应后还会出现SO_(2)、SOF_(2)、SO_(2)F_(2)、H_(2)S、CO等分解产物。本研究基于光声光谱检测技术对H_(2)S、CO进行定量测量,从理论出发对影... SF_(6)常用于电力设备内部充当绝缘介质,在SF_(6)绝缘设备内部出现过热或局部放电时,进一步反应后还会出现SO_(2)、SOF_(2)、SO_(2)F_(2)、H_(2)S、CO等分解产物。本研究基于光声光谱检测技术对H_(2)S、CO进行定量测量,从理论出发对影响光声信号的因素进行探讨,搭建光声光谱试验平台,根据气体的光声效应对气体进行光声光谱检测。通过选择合适的气体吸收谱线作为特征谱线进行检测,避免其他组分气体存在潜在的交叉干扰。根据HITRAN仿真结果,选定的H_(2)S气体特征谱线为6336.6 cm^(-1),CO气体特征谱线为6380.3 cm^(-1)。结果表明:所测气体CO、H_(2)S的气体浓度与净光声信号幅值之间的线性度非常高,即通过测量气体光声信号值可精确反演计算出气体浓度。在SF6作为背景气体情况下,CO检测下限为9.88×10^(-6),H_(2)S检测下限为1.75×10^(-6)。 展开更多
关键词 气体红外吸收 光声光谱 痕量气体检测 SF_(6)分解组分
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西门子为其紧凑型气体分析仪增加了顺磁氧测量功能
10
《流程工业》 2011年第22期58-58,共1页
近日.西门子工业自动化集团推出了气体分析仪Ultramat 23的新版本。该分析仪在测量多达3种红外吸收气体的同时,可采用顺磁测量单元记录氧浓度。
关键词 气体分析仪 测量功能 西门子 氧浓度 紧凑型 红外吸收气体 工业自动化 测量单元
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西门子工业自动化集团 西门子为其紧凑型气体分析仪增加了顺磁氧测量功能
11
《流程工业》 2012年第5期102-102,共1页
近日.西门子工业自动化集团推出了气体分析仪Ultramat 23的新版本。该分析仪在测量多达3种红外吸收气体的同时,可采用顺磁测量单元记录氧浓度。
关键词 气体分析仪 工业自动化 测量功能 西门子 氧浓度 紧凑型 红外吸收气体 测量单元
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红外瓦斯检测系统中硬件电路设计与实验
12
作者 武天姿 吕晨梦 +3 位作者 杨通 苏洋 刘昀 于鑫 《石油石化物资采购》 2019年第13期90-90,共1页
利用气体在红外区有选择性吸收原理,设计便携式甲烷浓度检测系统。将红外辐射强度转换成电压信号,实现对特定气体的测量,具备检测精度高、响应速度快、稳定性好等优点。采用非分光红外检测技术与宽带热光源,设计光源调制电路和模拟信号... 利用气体在红外区有选择性吸收原理,设计便携式甲烷浓度检测系统。将红外辐射强度转换成电压信号,实现对特定气体的测量,具备检测精度高、响应速度快、稳定性好等优点。采用非分光红外检测技术与宽带热光源,设计光源调制电路和模拟信号调理电路,实验结果显示优良检测性能。 展开更多
关键词 红外气体吸收 光电信息检测 热光源 传感器
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基于红外吸收技术的多组分混合气体检测的研究 被引量:3
13
作者 刘彬 童敏明 王晶晶 《煤矿安全》 CAS 北大核心 2011年第3期5-8,共4页
针对多组分混合气体的检测问题,提出了基于红外吸收技术进行探测并利用BP神经网络进行信号分析处理的检测方法。该方法采用宽带中红外光源和前端带有窄带滤光片的探测器进行气体探测,探测器输出的每路微弱电信号对应1种气体吸收波长的光... 针对多组分混合气体的检测问题,提出了基于红外吸收技术进行探测并利用BP神经网络进行信号分析处理的检测方法。该方法采用宽带中红外光源和前端带有窄带滤光片的探测器进行气体探测,探测器输出的每路微弱电信号对应1种气体吸收波长的光波,在对此电信号放大滤波后经A/D采样送达计算机。对实验采集到的数据利用BP神经网络进行分析,能够很好的消除各组分气体之间的干扰,测量相对误差在5%以内,测量拟合曲线呈现良好的线性关系,完全能够满足多组分气体鉴别和测量的要求。 展开更多
关键词 混合气体检测 红外气体吸收 BP神经网络 宽带红外光源 热电堆探测器
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Self-adaptive CH_4 concentration detection system based on infrared spectrum absorption principle 被引量:6
14
作者 叶玮琳 于鑫 +4 位作者 郑传涛 赵从辛 丛梦龙 宋占伟 王一丁 《Optoelectronics Letters》 EI 2011年第3期217-221,共5页
Considering that the noises resulting from low modulation frequency are serious and cannot be totally eliminated by the classic filters,a novel infrared(IR) gas concentration detection system based on the least square... Considering that the noises resulting from low modulation frequency are serious and cannot be totally eliminated by the classic filters,a novel infrared(IR) gas concentration detection system based on the least square fast transverse filtering(LS-FTF) self-adaptive modern filter structure is proposed.The principle,procedure and simulation on the LS-FTF algorithm are described.The system schematic diagram and key techniques are discussed.The procedures for the ARM7 processor,including LS-FTF and main program,are demonstrated.Comparisons between the experimental results of the detection system using the LS-FTF algorithm and those of the system without using this algorithm are performed.By using the LS-FTF algorithm,the maximum detection error is decreased from 14.3 to 5.4,and also the detection stability increases as the variation range of the relative error becomes much smaller.The proposed LS-FTF self-adaptive denoising method can be of practical value for mid-IR gas detection,especially for weak signal detection. 展开更多
关键词 Absorption spectroscopy Algorithms Modulation Program processors Schematic diagrams
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CO and CO_2 dual-gas detection based on mid-infrared wideband absorption spectroscopy 被引量:2
15
作者 董明 钟国强 +2 位作者 苗澍茁 郑传涛 王一丁 《Optoelectronics Letters》 EI 2018年第2期119-123,共5页
A dual-gas sensor system is developed for CO and CO_2 detection using a single broadband light source, pyroelectric detectors and time-division multiplexing(TDM) technique. A stepper motor based rotating system and a ... A dual-gas sensor system is developed for CO and CO_2 detection using a single broadband light source, pyroelectric detectors and time-division multiplexing(TDM) technique. A stepper motor based rotating system and a single-reflection spherical optical mirror are designed and adopted for realizing and enhancing dual-gas detection. Detailed measurements under static detection mode(without rotation) and dynamic mode(with rotation) are performed to study the performance of the sensor system for the two gas samples. The detection period is 7.9 s in one round of detection by scanning the two detectors. Based on an Allan deviation analysis, the 1σ detection limits under static operation are 3.0 parts per million(ppm) in volume and 2.6 ppm for CO and CO_2, respectively, and those under dynamic operation are 9.4 ppm and 10.8 ppm for CO and CO_2, respectively. The reported sensor has potential applications in various fields requiring CO and CO_2 detection such as in the coal mine. 展开更多
关键词 CO and CO_2 dual-gas detection based on mid-infrared wideband absorption spectroscopy
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