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红外器件钝化膜专用磁控溅射系统镀膜工艺研究
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作者 刘杰 黄也 +3 位作者 袁祖浩 佘鹏程 石任凭 何秋福 《电子工业专用设备》 2024年第2期33-38,共6页
为研究工艺参数对碲镉汞红外器件单层钝化膜工艺影响规律,采用红外器件钝化膜专用磁控溅射系统设备作为实验载体,通过仿真优化指导设计磁控溅射阴极靶,加快实现磁控溅射靶的制备;并采用仿真与实验相结合的方法研究靶基距、靶偏置角度等... 为研究工艺参数对碲镉汞红外器件单层钝化膜工艺影响规律,采用红外器件钝化膜专用磁控溅射系统设备作为实验载体,通过仿真优化指导设计磁控溅射阴极靶,加快实现磁控溅射靶的制备;并采用仿真与实验相结合的方法研究靶基距、靶偏置角度等工艺参数对镀膜均匀性的影响规律,获得较优的一组工艺参数值,为钝化膜工艺形成稳定、均匀性较好的膜层提供理论指导,为进一步研究双层钝化膜层奠定基础。 展开更多
关键词 碲镉汞 红外器件 钝化膜 磁控溅射 工艺参数 均匀性
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二氧化碲晶体及其在红外器件中的应用研究进展 被引量:3
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作者 朱勇 岳世海 +2 位作者 王威 殷学技 葛增伟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期802-808,共7页
二氧化碲(TeO2)晶体同时具有优异的声光性能和高自然丰度的130Te双b衰变性能,既可用于高性能声光器件,也可用于中微子与暗物质研究。近年来,这两方面的应用都对TeO2晶体的尺寸和质量提出了更高要求。本文简要介绍了TeO2晶体的结构与物... 二氧化碲(TeO2)晶体同时具有优异的声光性能和高自然丰度的130Te双b衰变性能,既可用于高性能声光器件,也可用于中微子与暗物质研究。近年来,这两方面的应用都对TeO2晶体的尺寸和质量提出了更高要求。本文简要介绍了TeO2晶体的结构与物理性能,综述了大尺寸、高质量TeO2晶体制备的研究进展以及该晶体在红外器件中的应用进展,最后展望了TeO2晶体的制备与应用趋势。 展开更多
关键词 TeO2晶体 制备 红外器件 综述
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应用于弹丸跟踪测量的红外器件工作波段选择 被引量:7
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作者 高昕 李建安 《测试技术学报》 2002年第3期192-195,共4页
目的 探讨利用红外焦平面热像仪对常规快速弹丸目标进行跟踪与测量 ,以提高对弹丸目标的跟踪测量能力 .方法 对靶场试验中常用弹丸目标的光谱辐射特性、背景辐射特性以及大气透过率进行了综合理论分析 ,并在理论分析的基础上结合试验... 目的 探讨利用红外焦平面热像仪对常规快速弹丸目标进行跟踪与测量 ,以提高对弹丸目标的跟踪测量能力 .方法 对靶场试验中常用弹丸目标的光谱辐射特性、背景辐射特性以及大气透过率进行了综合理论分析 ,并在理论分析的基础上结合试验结果进行分析 .结果 对工作波段 3μm~ 5μm,8μm~ 1 2μm的红外焦平面热像仪以及可见光电视的探测能力进行了比较 .结论 响应工作波段为 3μm~ 展开更多
关键词 弹丸 跟踪测量 红外器件 工作波段 焦平面器件 光学测量
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ME MS技术用于红外器件制作 被引量:1
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作者 李兰 刘铮 +1 位作者 邹德恕 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期212-214,共3页
MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此... MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此也开始被红外技术领域所采用,为该领域研究提供了一条新途径。文中简要介绍了MEMS技术的主要特点和工艺,并对MEMS技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述。 展开更多
关键词 MEMS MOEMS 红外器件 IR光源 微细加工技术 微电子机械系统 焦平面阵列
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类金刚石薄膜碲镉汞红外器件钝化膜的研究 被引量:2
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作者 居建华 夏义本 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2000年第3期253-256,共4页
采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜(DLC)。用原子力显微镜(AFM)和侧向力显微镜(LFM)和对DLC和MCT表面形貌进行表征;用俄歇电子能谱(AES)和DL... 采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜(DLC)。用原子力显微镜(AFM)和侧向力显微镜(LFM)和对DLC和MCT表面形貌进行表征;用俄歇电子能谱(AES)和DLC/MC 面附近各元素含量的分布进行分析研究。结果表明:当膜厚达到25nm以上,这种DLC膜就能够有效地抑制MCT中HgTe的分解和Hg与Te的外扩散。AFM和LFM的观察结果表明。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 钝化膜 界面 红外器件 碲镉汞
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“新型红外器件”专栏序目
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作者 龚海梅 卢进 +1 位作者 司俊杰 史衍丽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期I0004-I0005,共2页
红外探测技术在全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域具有重要的应用价值。面向高空间分辨率、高光谱分辨率、高时间分辨率、高辐射分辨率以及多场景应用的红外探测需求,基于Ⅱ-Ⅵ族体系和Ⅲ-族... 红外探测技术在全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域具有重要的应用价值。面向高空间分辨率、高光谱分辨率、高时间分辨率、高辐射分辨率以及多场景应用的红外探测需求,基于Ⅱ-Ⅵ族体系和Ⅲ-族光电材料体系等,新一代红外器件正在朝大面阵、宽光谱、高速、高探测率以及智能化方向发展,对我国经济、社会、国家安全及科学技术的进步具有重大意义。 展开更多
关键词 高光谱分辨率 高空间分辨率 智能化方向 红外器件 红外探测技术 高时间分辨率 光电材料 国土资源
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SACP技术在红外器件研制工艺中的应用探讨
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作者 徐晓华 李萍 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期268-268,共1页
各类半导体器件的性能几乎都与界面状态有关,研制高性能的红外探测元件首要的就是如何获得表面无污染、无损伤、结构完整的优质晶片。诚然,晶体结构的完整性取决於晶体生长,而晶片表面的污染,损伤则与晶片制作的各种工艺密切相关。本文... 各类半导体器件的性能几乎都与界面状态有关,研制高性能的红外探测元件首要的就是如何获得表面无污染、无损伤、结构完整的优质晶片。诚然,晶体结构的完整性取决於晶体生长,而晶片表面的污染,损伤则与晶片制作的各种工艺密切相关。本文介绍利用电子通道技术来检验半导体晶片表面的污染、损伤及结构完整性我们所进行的一些初步工作。对由同一晶锭上切割下的碲镉汞晶片任取10片分为两组进行了对比分析。结果表明在机械磨。 展开更多
关键词 红外器件 工艺 SACP技术
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HQC-2型红外器件测试台的设计与调试
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作者 邹品言 《红外技术》 CSCD 1991年第4期29-31,共3页
本文讨论了HQC—2型红外器件测试台高输入阻抗、超低噪声交流阻抗变换器的设计技术和电磁屏蔽技术。
关键词 红外器件 测试台 设计 调试
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2020年第1期“新型红外器件”专栏特邀组稿专家
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《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期I0010-I0010,共1页
龚海梅,中国科学院上海技术物理研究所,党委书记,研究员与传感技术联合国家重点实验室副主任,主要从事肮天红外传感器、紫外焦平面等新型探测组件及其抗辐射机理与可靠性技术方面硏究。国家973计划项目首席科学家,历年来获省部级科技奖... 龚海梅,中国科学院上海技术物理研究所,党委书记,研究员与传感技术联合国家重点实验室副主任,主要从事肮天红外传感器、紫外焦平面等新型探测组件及其抗辐射机理与可靠性技术方面硏究。国家973计划项目首席科学家,历年来获省部级科技奖励12项,其中国家自然科学和科技进步二等奖各1项。培养硕士、博士研究生50余名,发表学术论文百余篇,申请和获得国家专利50多项。 展开更多
关键词 博士研究生 国家重点实验室 中国科学院 红外器件 省部级科技奖 可靠性技术 传感技术 红外传感器
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混成非致冷红外器件可生产性进展
10
作者 Robert Owen 高国龙 《红外》 CAS 1999年第8期1-9,共9页
几项关键加工工艺的发展,正在推动混成非致冷红外探测器现有制备技术向前发展。按照一份为期四年的可生产性行程图,离子铣网状结构方法、晶片加工方法以及标准半导体加工工艺正在向实施阶段靠近。本文介绍几项原理验证实验及实验结果,... 几项关键加工工艺的发展,正在推动混成非致冷红外探测器现有制备技术向前发展。按照一份为期四年的可生产性行程图,离子铣网状结构方法、晶片加工方法以及标准半导体加工工艺正在向实施阶段靠近。本文介绍几项原理验证实验及实验结果,并将目前的工艺方法同原有的一个精细的工艺模型进行了比较。由于推力在继续朝低成本、大批量生产方向推进,所以侧重点依然在瞬时性能改进方面。分析及初步数据表明,利用已确定的战略,完全能够达到中等性能和低探测器成本的目标。 展开更多
关键词 红外器件 非致冷 技术评述 可生产性
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利用红外器件SNS 9201制作延时开关
11
作者 秉时 《红外》 CAS 1999年第6期48-48,F003,共2页
SNS9201是一种新型热释电红外专用集成器件。用它做成的楼道、厕所等场所用的延时开关具有电路简单、功耗小、性能可靠等优点,故便于普及推广。根据SNS9201的功能参数和延时开关的实际需要,参考有关资料,制作了一种延时开关。下面,分别... SNS9201是一种新型热释电红外专用集成器件。用它做成的楼道、厕所等场所用的延时开关具有电路简单、功耗小、性能可靠等优点,故便于普及推广。根据SNS9201的功能参数和延时开关的实际需要,参考有关资料,制作了一种延时开关。下面,分别叙述其功能、电路、原理及制作。一、功能该延时开关具有以下三种功能: 展开更多
关键词 热释电器件 延时开关 红外器件 电路图
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半导体红外器件及红外遥控的发展
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作者 彭万华 《机械与电子》 1992年第3期41-43,共3页
本文介绍半导体红外发射和接收器件的主要性能,以及红外遥控系统应用的发展。
关键词 红外器件 红外遥控 半导体
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用集成红外器件制作的室内报警器
13
作者 秉时 肖军 《红外》 CAS 2000年第10期48-48,F003,共2页
我们曾经介绍过集成红外器件SRS9201在公厕自动冲水控制器中的应用。根据办公室、仓库、商店、银行和家庭夜间保安的实际需要,还可用它制作具有如下功能的报警器:(1)连续触发功能,如果红外探测器连续接收到人体的红外信号,则报警器将连... 我们曾经介绍过集成红外器件SRS9201在公厕自动冲水控制器中的应用。根据办公室、仓库、商店、银行和家庭夜间保安的实际需要,还可用它制作具有如下功能的报警器:(1)连续触发功能,如果红外探测器连续接收到人体的红外信号,则报警器将连续发出报警声;(2)夜间触发功能,报警器只在晚上发出报警声,白天则不报警;(3) 展开更多
关键词 集成红外器件 室内报警器 红外探测
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红外器件用InSb体单晶
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作者 毕叔和 《电子材料快报》 1999年第8期14-15,共2页
关键词 Ⅲ-Ⅴ族 红外器件 锑化铟 单晶 化合物半导体
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HQC—2型红外器件测试台
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作者 邹品言 《技术通讯(南峰机械厂)》 1990年第1期31-33,共3页
关键词 红外器件 测试台 结构
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红外器件钝化膜专用磁控溅射系统研制及验证
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作者 佘鹏程 龚俊 +2 位作者 黄也 罗超 范江华 《技术与市场》 2022年第11期39-40,共2页
为了探讨红外器件钝化膜工艺专用磁控溅射系统的设计,通过分析红外器件钝化膜工艺特性,采用多腔群集式结构、多梯度真空等设计优化了专用磁控溅射系统,实现了8英寸范围内高均匀性薄膜沉积和基片可旋转上置可靠传输,其性能稳定可靠。
关键词 红外器件 钝化膜 磁控溅射 多腔群集式 高均匀性
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电热远红外器件的技术进展
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作者 严增濯 《灯与照明》 1993年第4期1-3,共3页
关键词 电热器件 红外器件 发展
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集成红外器件SNS9201在室内报警器中的应用
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作者 赵善祥 雷铁军 延清 《电子制作》 1999年第9期13-14,共2页
在《电子制作》杂志96年第9期我们介绍了集成红外器件SRS9201的管脚排列,功能表和在冲水控制器中的应用,现在我们把SNS9201在室内报警器中的应用作一介绍。根据SNS9201的功能和实际需要,我们制作了具有如下功能的报警器。 1.连续触发功... 在《电子制作》杂志96年第9期我们介绍了集成红外器件SRS9201的管脚排列,功能表和在冲水控制器中的应用,现在我们把SNS9201在室内报警器中的应用作一介绍。根据SNS9201的功能和实际需要,我们制作了具有如下功能的报警器。 1.连续触发功能:如果红外探测器连续收到人体红外信号,则报警器将连续发生报警声。 2.报警器只在晚上发出报警声,白天不发生报警。 展开更多
关键词 SNS9201 室内报警器 集成红外器件
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IrDA红外器件物理层测试规范
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作者 闻佳 《世界电子元器件》 1997年第1期46-48,共3页
IrDA技术和元件在家用电器和数据通信的应用日新月异,未来几年内人们会发现IrDA在凡是电缆进行数字信号传输的场合几乎都可以被IrDA无线传输所替代。为此,目前已有超过130多家的IrDA硬件,软件厂商共同组织了IrDA协会,并且制定了一系列I... IrDA技术和元件在家用电器和数据通信的应用日新月异,未来几年内人们会发现IrDA在凡是电缆进行数字信号传输的场合几乎都可以被IrDA无线传输所替代。为此,目前已有超过130多家的IrDA硬件,软件厂商共同组织了IrDA协会,并且制定了一系列IrDA标准及其运用范围,以便各厂商产品能相互链接,互相兼容,便于在世界市场上被广泛应用。 本文就IrDA器件最低层物理层串行协议的测试作一介绍。 展开更多
关键词 物理层 红外器件 电压转换器 IRDA 传输速率 存储式示波器 待测部件 传输器 数字信号传输 测试方法
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高性能红外器件在移动设备中有了多种新的应用
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作者 文月 《通信世界》 1999年第9期89-89,共1页
IBM已开发出用于笔纪本电脑或其它移动设备(如数字照相机,PDA等)的具有卓越功能的“点到多点”红外器件。IBMResearehlillx)。tories研制的“先进红外收发器”(Air-AdvancedIrllll... IBM已开发出用于笔纪本电脑或其它移动设备(如数字照相机,PDA等)的具有卓越功能的“点到多点”红外器件。IBMResearehlillx)。tories研制的“先进红外收发器”(Air-AdvancedIrlllllxedtI7lllsceiver),能提供4Mb/s传输率,将红外信号送至较目前的红外标准产品要远的距离和更宽广的直径范围,免除了必须将红外设备对准其它红外端口的麻烦。目前的红外器件的工作只限干lin和3eq角的范围,而新产品则可工作干lbo和12(mg角的范围。IBM公司称新器件将在9月份左右集成到膝上机、PDA等产品中去。 展开更多
关键词 红外器件 移动设备 高性能 数字照相机 红外信号 红外技术 字符串转换 作用距离 红外设备 移动电话
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