金刚石薄膜的红外增透性

以 CH_3COCH_3/H_2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。

金刚石薄膜的红外增透性质

本文研究了用热解化学气相沉积方法在硅单晶衬底上制备的金刚石膜对硅衬底的红 外透过率的影响，发现有些金刚石薄膜具有明显的红外增透性质。

金刚石薄膜结构和光学性质的研究

采用电子辅助热丝CVD方法在Si衬底上制备出金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM).Raman光谱和红外吸收光谱等研究方法对金刚石薄膜的结构及其红外增透性进行了详尽的研究。