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光读出红外成像芯片真空封装研究
被引量:
5
1
作者
张云胜
冯飞
+2 位作者
魏旭东
戈肖鸿
王跃林
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第2期44-46,共3页
为解决光读出红外成像焦平面阵列器件的真空封装,提出了一种新颖的真空封装方法。该封装结构由可见光窗口、硅垫片和红外窗口三部分构成。硅垫片和可见光窗口(玻璃)通过阳极键合形成封装腔体,用于放置芯片;红外窗口不仅选择性增透8~1...
为解决光读出红外成像焦平面阵列器件的真空封装,提出了一种新颖的真空封装方法。该封装结构由可见光窗口、硅垫片和红外窗口三部分构成。硅垫片和可见光窗口(玻璃)通过阳极键合形成封装腔体,用于放置芯片;红外窗口不仅选择性增透8~14μm波段的红外辐射,且作为封装盖板;封装腔体和红外窗口在真空室内通过焊料键合完成真空封装。该封装结构通过了气密检测,并测试得到了200℃电烙铁热像图。
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关键词
真空封装
红外成像焦平面阵列
光读出
阳极键合
焊料键合
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职称材料
粮食工业的一种新的成像检测方法
2
作者
贾华坡
武文斌
+1 位作者
张玉华
管华威
《现代面粉工业》
2014年第1期24-26,共3页
简要陈述近红外光谱分析技术和近红外焦平面阵列定量成像技术、原理及其在面粉加工过程中具有实现对单元加工过程中胚乳质量的平衡、控制能力及应用于磨粉机加工工艺改进的潜在作用。
关键词
近
红外
光谱
近
红外
光谱分析技术
近
红外
焦
平面
阵列
定量
成像
技术
下载PDF
职称材料
最省心省力的反坦克导弹
3
《国防科技》
2002年第8期80-80,共1页
关键词
“标枪”反坦克导弹
美国
红外
焦
平面
阵列
成像
制导
目标探测能力
反应装甲
下载PDF
职称材料
题名
光读出红外成像芯片真空封装研究
被引量:
5
1
作者
张云胜
冯飞
魏旭东
戈肖鸿
王跃林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院大学
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第2期44-46,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60876081
61172151)
国家"863"计划资助项目(2009AA04Z317)
文摘
为解决光读出红外成像焦平面阵列器件的真空封装,提出了一种新颖的真空封装方法。该封装结构由可见光窗口、硅垫片和红外窗口三部分构成。硅垫片和可见光窗口(玻璃)通过阳极键合形成封装腔体,用于放置芯片;红外窗口不仅选择性增透8~14μm波段的红外辐射,且作为封装盖板;封装腔体和红外窗口在真空室内通过焊料键合完成真空封装。该封装结构通过了气密检测,并测试得到了200℃电烙铁热像图。
关键词
真空封装
红外成像焦平面阵列
光读出
阳极键合
焊料键合
Keywords
vacuum packaging
IRFPA
optically readable
anodic bonding
solder bonding
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
粮食工业的一种新的成像检测方法
2
作者
贾华坡
武文斌
张玉华
管华威
机构
河南工业大学粮油机械研究所
出处
《现代面粉工业》
2014年第1期24-26,共3页
文摘
简要陈述近红外光谱分析技术和近红外焦平面阵列定量成像技术、原理及其在面粉加工过程中具有实现对单元加工过程中胚乳质量的平衡、控制能力及应用于磨粉机加工工艺改进的潜在作用。
关键词
近
红外
光谱
近
红外
光谱分析技术
近
红外
焦
平面
阵列
定量
成像
技术
分类号
TS211.7 [轻工技术与工程—粮食、油脂及植物蛋白工程]
TN214 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
最省心省力的反坦克导弹
3
出处
《国防科技》
2002年第8期80-80,共1页
关键词
“标枪”反坦克导弹
美国
红外
焦
平面
阵列
成像
制导
目标探测能力
反应装甲
分类号
TJ761.12 [兵器科学与技术—武器系统与运用工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光读出红外成像芯片真空封装研究
张云胜
冯飞
魏旭东
戈肖鸿
王跃林
《传感器与微系统》
CSCD
2015
5
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职称材料
2
粮食工业的一种新的成像检测方法
贾华坡
武文斌
张玉华
管华威
《现代面粉工业》
2014
0
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职称材料
3
最省心省力的反坦克导弹
《国防科技》
2002
0
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职称材料
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参考文献
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