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0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪的研制与应用
被引量:
3
1
作者
朱惠贤
罗晋生
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第3期69-74,共6页
本文介绍了一种新型的0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪.采用Boxcar积分平均仪来对红外探测器输出的信号进行平均处理.大大提高了信噪比.仪器波长的变换、检偏器的步进旋转、信号的采集与处理均由微机控制.测量精度高,适用于研究材料的红...
本文介绍了一种新型的0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪.采用Boxcar积分平均仪来对红外探测器输出的信号进行平均处理.大大提高了信噪比.仪器波长的变换、检偏器的步进旋转、信号的采集与处理均由微机控制.测量精度高,适用于研究材料的红外光学特性.文中给出了GaSb单晶材料红外范围光学参数的测量结果.
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关键词
光学
仪
器
椭
偏
技术
红外
椭
偏
谱
仪
下载PDF
职称材料
远程控制在红外椭偏光谱实验上的应用
被引量:
2
2
作者
刘 铸
朱晓松
+3 位作者
倪卫明
马允胜
缪 键
陈良尧
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期129-132,共4页
基于TCP/IP数据传输协议,实现对红外双傅立叶椭偏仪的远程控制.实验系统主要分为远地用户系统与本地实验服务器系统,远地实验用户经过身份认证后,取得与实验服务器的通信联系.在本地实验者的协助下按装样品并调节好光路,然后远...
基于TCP/IP数据传输协议,实现对红外双傅立叶椭偏仪的远程控制.实验系统主要分为远地用户系统与本地实验服务器系统,远地实验用户经过身份认证后,取得与实验服务器的通信联系.在本地实验者的协助下按装样品并调节好光路,然后远程通过网络设置实验测量的入射角度和光谱测量的能量范围,实验测量结束后可立即获得实验结果远程实验系统还包含视频监视系统,可以在实验中对整个系统进行监视.
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关键词
字
椭
偏
仪
红外
远程控制.
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职称材料
红外光谱椭偏仪测量硫系玻璃As_2Se_3折射率的准确性
被引量:
2
3
作者
李阳
刘永兴
+3 位作者
戴世勋
徐铁峰
林常规
陈飞飞
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期168-173,共6页
采用自制的As_2Se_3玻璃棒,制备了具有不同厚度、背面粗糙度和表面光洁度的样品,借助红外光谱椭偏仪测试了样品折射率,通过光学模型拟合得到了其折射率参数。对比分析了厚度、背面粗糙度和表面光洁度对样品折射率的影响。结果表明:样品...
采用自制的As_2Se_3玻璃棒,制备了具有不同厚度、背面粗糙度和表面光洁度的样品,借助红外光谱椭偏仪测试了样品折射率,通过光学模型拟合得到了其折射率参数。对比分析了厚度、背面粗糙度和表面光洁度对样品折射率的影响。结果表明:样品厚度、背面粗糙度和表面光洁度都会明显影响椭偏仪的测量精度,其中表面光洁度是关键因素。样品厚度应控制在1~3mm,同时增大样品背面粗糙度和样品表面光洁度,可显著提高椭偏仪的测试精度。
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关键词
测量
折射率
准确性
红外椭偏仪
As2Se3硫系玻璃
原文传递
题名
0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪的研制与应用
被引量:
3
1
作者
朱惠贤
罗晋生
机构
西安交通大学电子工程系
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第3期69-74,共6页
基金
国家教委博士点基金
文摘
本文介绍了一种新型的0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪.采用Boxcar积分平均仪来对红外探测器输出的信号进行平均处理.大大提高了信噪比.仪器波长的变换、检偏器的步进旋转、信号的采集与处理均由微机控制.测量精度高,适用于研究材料的红外光学特性.文中给出了GaSb单晶材料红外范围光学参数的测量结果.
关键词
光学
仪
器
椭
偏
技术
红外
椭
偏
谱
仪
Keywords
optical instrument
infrared application
ellipsometry
optical properties of material
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
远程控制在红外椭偏光谱实验上的应用
被引量:
2
2
作者
刘 铸
朱晓松
倪卫明
马允胜
缪 键
陈良尧
机构
复旦大学信息工程学院光科学与工程系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期129-132,共4页
基金
国家自然科学基金(批准号69878003)
联合国教科文组织的资助项目
文摘
基于TCP/IP数据传输协议,实现对红外双傅立叶椭偏仪的远程控制.实验系统主要分为远地用户系统与本地实验服务器系统,远地实验用户经过身份认证后,取得与实验服务器的通信联系.在本地实验者的协助下按装样品并调节好光路,然后远程通过网络设置实验测量的入射角度和光谱测量的能量范围,实验测量结束后可立即获得实验结果远程实验系统还包含视频监视系统,可以在实验中对整个系统进行监视.
关键词
字
椭
偏
仪
红外
远程控制.
Keywords
ellipsometer,infrared,remote control.
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
红外光谱椭偏仪测量硫系玻璃As_2Se_3折射率的准确性
被引量:
2
3
作者
李阳
刘永兴
戴世勋
徐铁峰
林常规
陈飞飞
机构
宁波大学高等技术研究院红外材料及器件实验室
浙江省光电探测材料及器件重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期168-173,共6页
基金
国家重点研发计划(2016YFB0303800)
国家自然科学基金(61675105)
宁波大学王宽诚幸福基金
文摘
采用自制的As_2Se_3玻璃棒,制备了具有不同厚度、背面粗糙度和表面光洁度的样品,借助红外光谱椭偏仪测试了样品折射率,通过光学模型拟合得到了其折射率参数。对比分析了厚度、背面粗糙度和表面光洁度对样品折射率的影响。结果表明:样品厚度、背面粗糙度和表面光洁度都会明显影响椭偏仪的测量精度,其中表面光洁度是关键因素。样品厚度应控制在1~3mm,同时增大样品背面粗糙度和样品表面光洁度,可显著提高椭偏仪的测试精度。
关键词
测量
折射率
准确性
红外椭偏仪
As2Se3硫系玻璃
Keywords
measurement
refractive index
accuracy
infrared ellipsometer
As2Se3 chalcogenide glasses
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪的研制与应用
朱惠贤
罗晋生
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993
3
下载PDF
职称材料
2
远程控制在红外椭偏光谱实验上的应用
刘 铸
朱晓松
倪卫明
马允胜
缪 键
陈良尧
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
下载PDF
职称材料
3
红外光谱椭偏仪测量硫系玻璃As_2Se_3折射率的准确性
李阳
刘永兴
戴世勋
徐铁峰
林常规
陈飞飞
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
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