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红外测径仪YPIR-QT的应用及改进
1
作者
张红勇
方军
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1040-1043,共4页
高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出...
高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号;同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述。
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关键词
直拉法
智能化改进
红外测径仪ypir-qt
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职称材料
题名
红外测径仪YPIR-QT的应用及改进
1
作者
张红勇
方军
机构
西安理工大学
西安工业大学
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1040-1043,共4页
文摘
高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号;同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述。
关键词
直拉法
智能化改进
红外测径仪ypir-qt
Keywords
CZ growth method
intelligent improvements
infrared diameter test device
ypir-qt
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
红外测径仪YPIR-QT的应用及改进
张红勇
方军
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2013
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