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红外测径仪YPIR-QT的应用及改进
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作者 张红勇 方军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1040-1043,共4页
高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出... 高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号;同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述。 展开更多
关键词 直拉法 智能化改进 红外测径仪ypir-qt
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