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星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备
被引量:
1
1
作者
熊礼威
崔晓慧
+3 位作者
汪建华
翁俊
龚国华
张林
《武汉工程大学学报》
CAS
2013年第11期53-58,共6页
以甲烷、氢气和氧气为反应气体,分别在镜面抛光的单晶硅片和石英玻璃基片上制备了类金刚石薄膜,并用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅立叶红外透射光谱仪等测试方法对薄膜的表面形貌、质量和光学性能进行了表征;通过对类金刚石(DLC)薄...
以甲烷、氢气和氧气为反应气体,分别在镜面抛光的单晶硅片和石英玻璃基片上制备了类金刚石薄膜,并用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅立叶红外透射光谱仪等测试方法对薄膜的表面形貌、质量和光学性能进行了表征;通过对类金刚石(DLC)薄膜制备过程中碳源浓度、基片温度等参数的研究,掌握了工艺参数对薄膜性能的影响规律,并在此基础上成功地对薄膜的沉积工艺进行了优化.结果表明,当反应气体中的流量配比为甲烷∶氢气∶氧气=10∶100∶1,腔体压力和基片温度分别为0.5kPa和400℃,制备出的DLC薄膜表面光滑平整,薄膜中的纳米金刚石特征峰明显,在石英玻璃上沉积的DLC薄膜在3 000~4 000cm-1波数区间透光率超过80%,达到了光学应用要求.
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关键词
类金刚石薄膜
石英玻璃
红外透光率
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职称材料
掺铋钇铁石榴石磁光陶瓷的热压烧结及其性能研究
被引量:
2
2
作者
邹顺
何夕云
+3 位作者
曾霞
仇萍荪
凌亮
孙大志
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期773-779,共7页
钇铁石榴石(Y_(3)Fe_(5)O_(12),YIG)材料因其优异的磁性能和磁光性能在微波通信、激光技术和光纤通讯等领域具有重要应用。离子掺杂是提高YIG材料磁光性能的有效途径之一,本研究选择离子半径适配的Bi^(3+)掺杂改性YIG陶瓷以提高材料的...
钇铁石榴石(Y_(3)Fe_(5)O_(12),YIG)材料因其优异的磁性能和磁光性能在微波通信、激光技术和光纤通讯等领域具有重要应用。离子掺杂是提高YIG材料磁光性能的有效途径之一,本研究选择离子半径适配的Bi^(3+)掺杂改性YIG陶瓷以提高材料的磁光性能。本工作采用固相法热压烧结制备Bi_(x)Y_(3–x)Fe_(5)O_(12)(x=0、0.3、0.6、0.9)陶瓷,并研究Bi^(3+)掺杂对YIG陶瓷材料相结构、微观形貌、红外透过性、磁性能以及磁光性能的影响。结果表明:陶瓷样品均呈石榴石立方相结构;显微结构致密,Bi^(3+)掺杂后晶粒尺寸不同程度增大;样品红外透过率良好,随Bi^(3+)掺杂量增大而降低;陶瓷样品的法拉第旋转角随Bi^(3+)掺杂量增加呈线性变化,Bi^(3+)掺杂量每增加1%(原子分数),在波长1064 nm和1550 nm处变化量分别约为–49.0(°)/cm和–30.2(°)/cm。Bi_(0.6)Y_(2.4)Fe_(5)O_(12)陶瓷样品在1064 nm和1550 nm波长下法拉第旋转角分别达到–703.3(°)/cm和–461.5(°)/cm,绝对值远高于未掺杂YIG陶瓷的277.6(°)/cm和172.0(°)/cm。由此可见,掺杂适量Bi^(3+)可以显著增强YIG陶瓷材料的磁光性能。
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关键词
钇铁石榴石
磁光陶瓷
铋掺杂
红外透光率
法拉第旋转
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职称材料
安光所研制硒镓银晶体实现C02激光倍频
3
《长春光学精密机械学院学报(科技信息版)》
1998年第2期23-24,共2页
由中科院安徽光机所承担的“863”计划新材料领域项目中的课题——中远红外非线性光学晶体硒镓银的研制日前取得重要进展。科研人员不仅成功地加工出长10毫米至20毫米的红外倍频元件,而且实现了连续CO2激光倍额。参加鉴定的专家们认为...
由中科院安徽光机所承担的“863”计划新材料领域项目中的课题——中远红外非线性光学晶体硒镓银的研制日前取得重要进展。科研人员不仅成功地加工出长10毫米至20毫米的红外倍频元件,而且实现了连续CO2激光倍额。参加鉴定的专家们认为,该晶体的主要拄术指标已居国内领先水平。
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关键词
硒镓银晶体
二氧化碳
激光倍频器
红外透光率
吸收系数
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职称材料
题名
星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备
被引量:
1
1
作者
熊礼威
崔晓慧
汪建华
翁俊
龚国华
张林
机构
武汉工程大学材料科学与工程学院
广东生之源数码电子股份有限公司
出处
《武汉工程大学学报》
CAS
2013年第11期53-58,共6页
基金
国家自然科学基金项目(No.11175137)
湖北省教育厅科学技术研究项目(No.Q20121501)
武汉工程大学科学研究基金(No.11111051)
文摘
以甲烷、氢气和氧气为反应气体,分别在镜面抛光的单晶硅片和石英玻璃基片上制备了类金刚石薄膜,并用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅立叶红外透射光谱仪等测试方法对薄膜的表面形貌、质量和光学性能进行了表征;通过对类金刚石(DLC)薄膜制备过程中碳源浓度、基片温度等参数的研究,掌握了工艺参数对薄膜性能的影响规律,并在此基础上成功地对薄膜的沉积工艺进行了优化.结果表明,当反应气体中的流量配比为甲烷∶氢气∶氧气=10∶100∶1,腔体压力和基片温度分别为0.5kPa和400℃,制备出的DLC薄膜表面光滑平整,薄膜中的纳米金刚石特征峰明显,在石英玻璃上沉积的DLC薄膜在3 000~4 000cm-1波数区间透光率超过80%,达到了光学应用要求.
关键词
类金刚石薄膜
石英玻璃
红外透光率
Keywords
diamond-like carbon film
quartz glass
infrared transmittance
分类号
TQ174.15 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
掺铋钇铁石榴石磁光陶瓷的热压烧结及其性能研究
被引量:
2
2
作者
邹顺
何夕云
曾霞
仇萍荪
凌亮
孙大志
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所
上海师范大学化学与材料科学学院
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期773-779,共7页
文摘
钇铁石榴石(Y_(3)Fe_(5)O_(12),YIG)材料因其优异的磁性能和磁光性能在微波通信、激光技术和光纤通讯等领域具有重要应用。离子掺杂是提高YIG材料磁光性能的有效途径之一,本研究选择离子半径适配的Bi^(3+)掺杂改性YIG陶瓷以提高材料的磁光性能。本工作采用固相法热压烧结制备Bi_(x)Y_(3–x)Fe_(5)O_(12)(x=0、0.3、0.6、0.9)陶瓷,并研究Bi^(3+)掺杂对YIG陶瓷材料相结构、微观形貌、红外透过性、磁性能以及磁光性能的影响。结果表明:陶瓷样品均呈石榴石立方相结构;显微结构致密,Bi^(3+)掺杂后晶粒尺寸不同程度增大;样品红外透过率良好,随Bi^(3+)掺杂量增大而降低;陶瓷样品的法拉第旋转角随Bi^(3+)掺杂量增加呈线性变化,Bi^(3+)掺杂量每增加1%(原子分数),在波长1064 nm和1550 nm处变化量分别约为–49.0(°)/cm和–30.2(°)/cm。Bi_(0.6)Y_(2.4)Fe_(5)O_(12)陶瓷样品在1064 nm和1550 nm波长下法拉第旋转角分别达到–703.3(°)/cm和–461.5(°)/cm,绝对值远高于未掺杂YIG陶瓷的277.6(°)/cm和172.0(°)/cm。由此可见,掺杂适量Bi^(3+)可以显著增强YIG陶瓷材料的磁光性能。
关键词
钇铁石榴石
磁光陶瓷
铋掺杂
红外透光率
法拉第旋转
Keywords
yttrium iron garnet
magneto-optical ceramics
Bi-doped
infrared transmittance
Faraday rotation
分类号
TM284 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
安光所研制硒镓银晶体实现C02激光倍频
3
出处
《长春光学精密机械学院学报(科技信息版)》
1998年第2期23-24,共2页
文摘
由中科院安徽光机所承担的“863”计划新材料领域项目中的课题——中远红外非线性光学晶体硒镓银的研制日前取得重要进展。科研人员不仅成功地加工出长10毫米至20毫米的红外倍频元件,而且实现了连续CO2激光倍额。参加鉴定的专家们认为,该晶体的主要拄术指标已居国内领先水平。
关键词
硒镓银晶体
二氧化碳
激光倍频器
红外透光率
吸收系数
分类号
TN771 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备
熊礼威
崔晓慧
汪建华
翁俊
龚国华
张林
《武汉工程大学学报》
CAS
2013
1
下载PDF
职称材料
2
掺铋钇铁石榴石磁光陶瓷的热压烧结及其性能研究
邹顺
何夕云
曾霞
仇萍荪
凌亮
孙大志
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
3
安光所研制硒镓银晶体实现C02激光倍频
《长春光学精密机械学院学报(科技信息版)》
1998
0
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职称材料
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