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改善金属材料的表面性质——向金属中注入离子
1
作者
岩木正哉
李本川
《材料开发与应用》
CAS
1985年第9期15-19,共5页
一、前言离子注入法是向固体中加入粒子的方法之一,是将要加入的粒子在真空(约10-8mmHg)中离子化,并借助静电场加速后照射在固体基板上的方法。这一方法在制作半导体元件中,作为高精度、高控制的杂质添加法占有重要地位。这种粒子添加法...
一、前言离子注入法是向固体中加入粒子的方法之一,是将要加入的粒子在真空(约10-8mmHg)中离子化,并借助静电场加速后照射在固体基板上的方法。这一方法在制作半导体元件中,作为高精度、高控制的杂质添加法占有重要地位。这种粒子添加法,由于是利用了固体和离子束的相互作用的非热平衡过程,因此认为是包括金属在内的许多材料的表层复合化和多功能化的起点。
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关键词
离子
基板
离子注入法
约瑟夫逊器件
金属材料
下载PDF
职称材料
日本制出2cm钇系超导单晶
2
作者
李春鸿
《稀土信息》
1996年第7期13-13,共1页
据日本《工业材料》1995年第13期报道,日本超导工学研究所采用改良型熔融液直拉法(SRL—CP)成功地拉出2cm大尺寸钇系超导单晶。采用这种方法的重现性好。
关键词
超导单晶
直拉法
日本
超导转变温度
约瑟夫逊器件
熔融液
工业材料
生长速度
微波照射
约瑟夫逊
结
下载PDF
职称材料
题名
改善金属材料的表面性质——向金属中注入离子
1
作者
岩木正哉
李本川
出处
《材料开发与应用》
CAS
1985年第9期15-19,共5页
文摘
一、前言离子注入法是向固体中加入粒子的方法之一,是将要加入的粒子在真空(约10-8mmHg)中离子化,并借助静电场加速后照射在固体基板上的方法。这一方法在制作半导体元件中,作为高精度、高控制的杂质添加法占有重要地位。这种粒子添加法,由于是利用了固体和离子束的相互作用的非热平衡过程,因此认为是包括金属在内的许多材料的表层复合化和多功能化的起点。
关键词
离子
基板
离子注入法
约瑟夫逊器件
金属材料
分类号
F4 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
日本制出2cm钇系超导单晶
2
作者
李春鸿
出处
《稀土信息》
1996年第7期13-13,共1页
文摘
据日本《工业材料》1995年第13期报道,日本超导工学研究所采用改良型熔融液直拉法(SRL—CP)成功地拉出2cm大尺寸钇系超导单晶。采用这种方法的重现性好。
关键词
超导单晶
直拉法
日本
超导转变温度
约瑟夫逊器件
熔融液
工业材料
生长速度
微波照射
约瑟夫逊
结
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
改善金属材料的表面性质——向金属中注入离子
岩木正哉
李本川
《材料开发与应用》
CAS
1985
0
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职称材料
2
日本制出2cm钇系超导单晶
李春鸿
《稀土信息》
1996
0
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职称材料
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