用于均匀照明的纯位相元件多元化分析

论文通过理论分析探讨了用于均匀照明问题的纯位相元件的通用性问题 ,揭示了纯位相元件的设计与实际应用系统各类参数指标的依赖关系 .并且还研究了刻蚀工艺中的正负片问题 。

应用于光束均匀化整形的SAGAGD算法

分析了模拟退火算法、基因算法、梯度下降法的主要步骤和应用中的优劣 ,将这三种方法加以综合运用于纯位相元件的优化设计以实现光束均匀化 ,结果表明 。