晶粒度对半导体行业中超高纯气体阀门的影响

在半导体行业中,对于超高纯气体的使用至关重要。在超高纯气体输送和控制过程中,如何保证其纯度是一个至关重要的因素。而要想保证纯度,对于阀门和管道的内壁粗糙度、材料的机械性能、材料表面的抛光效果、弯曲管道的内壁折弯情况、表面钝化程度、焊接工艺的质量等都有极其高的要求。很多厂家都在想办法通过提高工艺的技术要求,或通过改善工艺方法等来优化最终的完工效果,多数采用在原材料上的控制,但关注更多的是原材料的机械性能、化学成分、热处理效果等方面,经研究发现,原材料的晶粒度是影响这些工艺的一个非常重要因素。

大气压电离质谱在超高纯气体纯度分析中的应用

超高纯气体在工业领域有着重大的需求，必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑。大气压电离质谱（APIMS）具有非常高的灵敏度，通常比电子轰击质谱（EIMS）高10^4～10^6倍，是分析超高纯气体纯度最有效的方法。该文介绍了APIMS的产生、发展及电离原理，并综述了以往APIMS对超高纯气体纯度分析的工作，包括底气、杂质种类、杂质检出限及特殊杂质的检测方法。由于方法灵敏度对超高纯气体纯度分析至关重要，文中侧重总结了文献中报道的不同杂质的检出限。

大气压电离质谱及其用于超高纯气体分析研究进展

超高纯气体在工业生产中有非常重要的地位,如半导体工业中电子气的质量直接影响半导体器件的性能,百万分之几的微量杂质气体便可导致集成电路中元件存储信息量的减少。越来越高的气体纯度要求对分析方法及仪器的灵敏度提出了很大的挑战。大气压电离质谱（APIMS）由于可以在大气压条件下对杂质进行电离,并伴随高效的电离方式,因此具有极高的灵敏度,成为超高纯气体杂质分析中极为有效的技术手段,特别适合检测10^-9mol/mol甚至10^-12mol/mol浓度量级的气体杂质。APIMS采用电晕放电及63Ni两种电离源,通常以电晕放电电离源为主,质量分析器常采用四极杆,同时为适应超高纯气体分析,配备了气体进样系统及可将标准气体稀释产生校正气体的稀释系统。APIMS对杂质检测的灵敏度与杂质的电离方式密切相关,电荷传递是杂质电离最主要的一种方式,适用于电离能相差较大的底气与杂质,常见的N2、Ar由于电离能较高,其中的大部分杂质均可依靠该方式测定;质子转移反应的应用通常与H2有关,常用于H2中杂质的测定,也可以通过添加H2的方法促进对Ar中N2杂质的检测;运用形成团簇离子的反应尽管较少,但亦有报道,通过监测团簇离子O2^＋·H2O,可提高O2中杂质H2O的检测灵敏度。APIMS依据不同的电离反应,可以设计不同杂质的测定方式,实现对痕量、超痕量杂质的检测,检测灵敏度通常比电子轰击电离质谱（EI-MS）高104-106倍,因此目前依然是超高纯气体分析中不可替代的仪器方法,但在某些方面如对腐蚀性电子特气的分析,方法灵敏度有待提高。

纯气体在非挥发性溶剂中溶解度的关联

根据汽液平衡的基本性质和气体在液体中溶解时的特殊情况,采用RK方程的维里展开式和正规溶液理论,推得了气体溶解度与温度、压力的函数关系式,并用它对不同温度下加压气体的溶解度进行了关联和外推计算.

定向含硼MFI型沸石膜对纯气体的渗透性以及对乙醇/水体系的分离选择性

研究定向含硼MFI型沸石膜和原多孔玻璃基材对纯气体的渗透性以及对乙醇 /水体系的分离选择性 .原多孔玻璃基材对纯气体的透过表现出诺森扩散选择性 ,表明气体以诺森扩散通过 .纯气体透过焙烧后的B Al ZSM 5沸石膜 ,H2 ,He ,Ne ,Ar ,O2 ,CO2 对N2 的理想选择性分别为 16 8,15 6,12 6,9 41,8 60 ,5 3 2 ;CO和SO2 对N2 的理想选择性分别为0 13 5和 0 0 179;O2 对CO和SO2 的理想选择性分别为 63 7和 480 2 .这表明该类沸石膜对纯气体的透过不仅具有良好的理想选择性 ,而且可能为新型防毒面具提供一种很好的可选材料 .渗透汽化实验表明 ,在测定温度范围内原多孔玻璃基材对三种不同浓度的乙醇 /水体系几乎没有分离性能 .焙烧后的B Al ZSM 5沸石膜对 5wt % ,5 0wt%和 95wt%乙醇 /水体系的分离 ,水的最大分离系数分别为 2 8 2 ,13 5 7和 5 18 5 ,且温度均为 3 0 3K .

纯气体、混合气体及液体粘度的计算

介绍常压下纯气体及混合气体,加压下纯气体及混合气体以及液体粘度的计算方法。

纯气体、混合气体及液体导热系数的计算

介绍常压下纯气体及混合气体，加压下纯气体及混合气体以及液体导热系数的计算方法。

纯气体在玻璃态高分子膜中吸收过程机理的研究

基于双方式吸收的基本概念,并假设气体在膜中的溶解过程类似于在溶液中的溶解过程,得出了用于描述气体在玻璃态高分子膜中吸收过程的普遍化双方式吸收模型.该模型考虑了气体分子与膜之间的相互作用,并认为主要是溶解浓度影响了溶解度系数.

超高纯气体管路系统

着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。

应用于高纯气体净化过程的不锈钢气动阀门

介绍了 ZDF 2 5 - 45气动波纹管阀门 ,该阀具有价格低廉、运行高效等特点 ,可以替代进口阀门 ,广泛应用于高纯、超纯、超高纯气体生产、净化、输送等领域。

用固体吸附剂分离和提纯气体

绪言 现在，对气体和液体系统，已广泛采用固体吸附剂作为分离和提纯的方法。能成功使用的吸附剂，一般需要该吸附剂被气体饱和之后，在解吸阶段能再生。在某些应用中，吸附剂可能报废，要用新的吸附剂填充。在另一些情况下，采用几个床层，每个床层在循环过程的不同部分操作，这种场合有助于吸附和解吸循环。这样，可保证连续池从系统中获得产品。

一种超高纯气体的钢瓶处理系统

一种超高纯气体的钢瓶处理系统,包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置;置换气源的输出端连通至减压器的输入端;减压器的输出端连通管至吸附器的输入端,减压器的输出端还连通至分析装置的输入端;吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端;钢瓶组包括多个钢瓶和总管,多个钢瓶连通至总管,多个钢瓶放置于加热烘箱内;过滤器组的输出端连通至总管的输入端,总管的输出端连通至真空泵的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法,使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。

在线式超高纯气体纯化器

在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...

赛斯纯气体有限公司为福顺半导体制造厂提供钯膜氢气净化器

赛斯纯气体有限公司作为半导体和发光二极管芯片制造厂的气体净化设备制造商，已经向福建久策气体集团有限公司供应了一台MegaTorr钯膜氢气净化器。该设备将用于福建福顺半导体制造厂超高纯氢气的供应。

焊丝中稀土金属对纯CO_(2)保护气体GMAW熔滴过渡形态的影响

综述了焊丝中稀土金属对纯CO_(2)保护气体GMAW熔滴过渡形态的影响。结果表明,含稀土金属的焊丝以正极性纯CO_(2)保护气体焊时,由于电弧中阴极斑点面积扩大(位于熔滴上方的电弧呈圆锥形),被细化的熔滴形成轴向喷射过渡形态,飞溅很小,工艺性优良。稀土金属降低了阴极电子逸出功,同时高的电磁夹持力使熔滴以更小的尺寸轴向过渡,还有作用在熔滴上的主导力方向有利熔滴过渡,最终纯CO_(2)保护气下完全满足了熔滴喷射过渡形成条件。含有稀土金属的焊丝在电流波形控制新型电源中的应用,使J-STAR焊接方法在一个较宽电流范围内实现了超低飞溅,拓宽了该工艺的应用范围。

一种纯气体水合物相平衡的判定方法

分析了国内外气体水合物相平衡测定方法,在恒温压力搜索法的基础上,通过合理的改进,设计了一套可以应用于反应盲釜中气体水合物相平衡判定的实验方法。以甲烷水合物相平衡实验为例,介绍了该改进方法的原理、操作步骤及实验结果,实验结果与软件预测结果吻合较好,误差在工程应用的允许范围内。

基于纯氩保护气体的304不锈钢激光-CMT电弧复合热源焊接试验研究

利用高速摄像分别采集了纯Ar保护气氛下激光与CMT电弧复合前后的CMT电弧形貌。研究了在采用纯Ar保护气体焊接304不锈钢时的激光-CMT电弧复合热源焊接过程稳定性、焊缝成形、焊接效率、焊接接头的力学性能及组织特点,并将试验结果与304不锈钢TIG填丝焊进行对比。分析结果表明,纯Ar保护的激光-CMT复合热源焊接接头的综合力学性能与TIG填丝焊接头的综合力学性能具有相当的水平,但焊接效率可以提高5倍,因此在不锈钢、镍基合金等高性能金属材料的焊接中,用纯Ar保护的激光-CMT电弧复合热源焊接取代TIG填丝焊具有可行性。

纯甲烷气体在脉冲电晕等离子体中的偶联反应

通过改变电参数和工艺参数，考察了甲烷在脉冲电晕等离子体中偶联反应的转化率和Ｃ２收率的变化。结果表明：当脉冲峰值电压为３５ｋＶ、重复频率为５０Ｈｚ及气体流量为２１ｍｌ／ｍｉｎ时，Ｃ２收率可达１１．１％。

Caterpillar推出纯气体船用发电机

Caterpillar Marine Power Systems2012年早些时候宣布研发出了一种基于3500发动机平台的高速气体发动机。据悉，该气体机G3500主要设计作为电力推进的发电机，目标针对海工和渡船市场2MW功率以下领域，为火花点火型，100％以气体燃料运行，而不是双燃料方案。该公司称该气体机源自公司的陆用气体发动机，能提供一流的功率密度和运行可靠性．高于船舶污染排放标准，符合船级社要求。