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集成电路内部水汽含量的控制 被引量:8
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作者 王林 赵宇军 +1 位作者 黄先奎 邵卫平 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期121-123,共3页
 简要叙述了集成电路封装内部水汽的形成;指出集成电路封装内部水汽主要是由封装环境气氛中的水份以及封装管壳和芯片表面吸附的水汽所造成的;论述了内部水汽引起集成电路电性能的退化,从而影响集成电路的可靠性。并介绍了纯氮气气氛...  简要叙述了集成电路封装内部水汽的形成;指出集成电路封装内部水汽主要是由封装环境气氛中的水份以及封装管壳和芯片表面吸附的水汽所造成的;论述了内部水汽引起集成电路电性能的退化,从而影响集成电路的可靠性。并介绍了纯氮气气氛保护封装、增加红外烘烤等控制集成电路内部水汽含量的措施。 展开更多
关键词 集成电路 水汽含量 封装 可靠性 纯氮气气氛保护封装 红外烘烤
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