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集成电路内部水汽含量的控制
被引量:
8
1
作者
王林
赵宇军
+1 位作者
黄先奎
邵卫平
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期121-123,共3页
简要叙述了集成电路封装内部水汽的形成;指出集成电路封装内部水汽主要是由封装环境气氛中的水份以及封装管壳和芯片表面吸附的水汽所造成的;论述了内部水汽引起集成电路电性能的退化,从而影响集成电路的可靠性。并介绍了纯氮气气氛...
简要叙述了集成电路封装内部水汽的形成;指出集成电路封装内部水汽主要是由封装环境气氛中的水份以及封装管壳和芯片表面吸附的水汽所造成的;论述了内部水汽引起集成电路电性能的退化,从而影响集成电路的可靠性。并介绍了纯氮气气氛保护封装、增加红外烘烤等控制集成电路内部水汽含量的措施。
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关键词
集成电路
水汽含量
封装
可靠性
纯氮气气氛保护封装
红外烘烤
下载PDF
职称材料
题名
集成电路内部水汽含量的控制
被引量:
8
1
作者
王林
赵宇军
黄先奎
邵卫平
机构
天光集成电路厂
中国电子科技集团公司基础部
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期121-123,共3页
文摘
简要叙述了集成电路封装内部水汽的形成;指出集成电路封装内部水汽主要是由封装环境气氛中的水份以及封装管壳和芯片表面吸附的水汽所造成的;论述了内部水汽引起集成电路电性能的退化,从而影响集成电路的可靠性。并介绍了纯氮气气氛保护封装、增加红外烘烤等控制集成电路内部水汽含量的措施。
关键词
集成电路
水汽含量
封装
可靠性
纯氮气气氛保护封装
红外烘烤
Keywords
Integrated circuit
Package
Reliability
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
集成电路内部水汽含量的控制
王林
赵宇军
黄先奎
邵卫平
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003
8
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职称材料
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