超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计

本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.

全自动封闭式医用纯水制备系统的研制与应用

目的 :我们采用先进的自动控制技术、膜分离技术、精滤、双级反渗透和紫外消毒系统研制出全自动封闭式医用纯水制备系统。解决了基层医疗卫生单位医疗用水的困难。方法 :采用全程自动化控制、封闭式结构设计 ,由原水预处理系统、软化器、精滤、双级反渗透、紫外消毒系统、水质检测系统和压力贮水系统组成。并实行 2 4小时开机 ,无人值守。结果 :通过半年多运行观察 ,设备工作稳定 ,使用极其方便 ,完全可靠 ,水质经检测完全达到医用蒸馏水的标准要求。结论 :该套设备技术先进 ,设计合理 ,质量可靠 ,自动化程度高 ,具有省工、节能、无污染的特点 ,是基层医疗卫生单位理想的制备医用纯水的设备。

矿用反渗透纯水处理系统

矿用反渗透纯水处理系统是一套建立在矿井井下,为工作面乳化液泵站、液压支架、瓦斯抽放泵站等提供高质量用水的纯水制备系统。该系统采用先进的反渗透膜处理技术,可高效去除水中Ca^（2＋）,Mg^（2＋）,SO_4^（2-）,Cl^-等无机离子,大幅提高水质,解决设备冷却管道结垢、液压支架腐蚀等问题,延长设备使用寿命,降低设备成本。

半导体超纯水中微粒子监测故障与对策

微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预警。研究简述了超纯水中颗粒物对半导体生产工艺的影响,分析了微纳气泡(MNBs)被光感应器累计测量导致计数器误判报警的原因。通过采样解吸系统(SDS)的中试试验,消除了气泡颗粒形成的83%的粒子浓度干扰,还原了真实的在线检测值(平均粒子浓度0.06pcs/mL),为半导体工厂湿法清洗的质量监控提供了稳定保障。

关于涂装车间二级纯水管路冲洗的研究

首先对纯水制备系统进行了简介,然后以免中涂涂装车间面涂区域纯水管道的冲洗为例,对二级纯水管道冲洗过程进行了研究,并总结了经验。

引人关注的一种纤维过滤器

东北电力学院水处理设备厂近年研制成功的LLY净水器,以纤维代替粒状滤料,构思独特、设计新颖,使纤维密度在运行中可以根据需要进行调节。冲洗时,调至“疏松”,使其清洗彻底。现已成功地应用于电厂锅炉补给水处理系统、半导体工业纯水制备系统和农村改水工程。其过滤速度高达30～50m/h,截流容量可达10kg/m^3,出水浊度可控制在0～0.5度之间。而该装置的占地面积仅是传统砂滤的1/3。

引人关注的一种纤维过滤器

东北电力学院水处理设备厂近年研制成功的LLY净水器,以纤维代替粒状滤料,构思独特、设计新颖,使纤维密度在运行中可以根据需要进行调节,冲洗时,调至“疏松”,使其清洗彻底。现已成功地应用于电厂锅炉补给水处理系统,半导体工业纯水制备系统和农村改水工程。

新技术开发

威立雅推出Orion®移动纯水制备系统。默克加速扩大脂质规模以满足新冠疫情的需求。全球领先的按需数字病理学解决方案提供商OptraSCAN®近期宣布推出其智能解决方案CytoSiA。CSafe Globa与BioNTech合作为新冠疫苗保驾护航。新品首发威立雅推出Orion®移动纯水制备系统。