非约束纯相位空间匹配滤波器设计研究

根据非约束相关匹配滤波器和纯相位匹配滤波器的概念,分析了非约束纯相位匹配滤波器的特性及其在光学相关识别中的应用,并与其他典型纯相位匹配滤波器进行了比较.模拟和实验结果表明,非约束纯相位匹配滤波器具有畸变容限大、相关峰高、算法简单的特点.用于光学相关识别是一种实用的空间匹配滤波器算法.

纯相位匹配滤波模式识别在光刻对位系统中的应用

针对光刻对准系统的微纳级对位精度,本文提出一种在图像相关识别的理论分析基础上,利用纯相位匹配滤波算法以及它所特有的相干峰高度旋转敏感特性而进行投影式光刻对准的新型套刻技术。该技术可求得在套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的量化驱动值,其对位精度与对位效率显著提高。通过实验数据证明了该理论的实验可靠性与有效性。

基于UNPOF和ECPSDF的复合匹配滤波器设计研究

根据UNPOF算法和ECPSDF算法的特性分析,综合得出了基于上述两种算法的复合匹配滤波器算法。模拟和试验结果表明该算法能实现UNPOF和ECPSDF算法的相互补偿,进一步改善匹配滤波器畸变容限。

光学滤波与频谱分析

O438 2000031768全息空间滤波器=Holographic spatial filters[刊,中]/章鹤龄,张光勇,卢明(首都师范大学物理系.北京(100037))//光子学报.—1999,28(Z1).—71-74论述了传统空间滤波器若干不足之处;阐述了用厚膜透射体积全息图实现空间滤波原理;提出了一套行之有效的厚膜位相型记录介质制备工艺及全息空间滤波器制作方法,实验证明效果良好。图5参3(李士范)O438 2000031769纯相位二值化匹配滤波器的优化设计=Optimizeddesign of binary phase-only matched filtersand their optical implementation[刊,中]/李豫华,

投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术

分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有的相干峰尖锐特性与高度旋转敏感特性,分别求取得光刻套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的精密量化驱动值。将此算法的实施单元建立在一套成型的大面积投影光刻系统中,使得该系统的对位精度与对位效率显著地提高。