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题名多重图形技术的研究进展
被引量:1
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作者
洪中山
吴汉明
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机构
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第10期656-661,共6页
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基金
国家科技重大专项(2011ZX02502-004)
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文摘
综述了多重图形技术的研究进展,简述了多重图形技术的目的和意义。首先,按照技术特征,将多重图形技术分为纯间距分离技术、纯间距分割技术和间距分离分割混合技术。然后,介绍了三种多重图形技术的代表性工艺流程,并展开介绍了纯间距分割技术。最后,从工艺效果、成本评估和适用范围等方面比较了各种技术的优劣,给出了多重图形技术选择的建议,并对多重图形技术的趋势进行了展望,指出纯间距分割多重图形技术,将是实现40 nm以下间距的最优途径。
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关键词
多重图形技术
纯间距分离技术
纯间距分割技术
间距分离分割混合技术
先进图形技术
微缩化技术
图形转移
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Keywords
multiple patterning technique
pure pitch split technique
pure pitch division technique
pitch split division hybrid technique
advanced patterning technology
shrinking technology
pattern transfer
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN47
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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