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题名纳机械谐振器的非线性特性分析
被引量:3
- 1
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作者
朱年勇
于虹
黄庆安
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《电子器件》
EI
CAS
2005年第1期35-37,共3页
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文摘
纳机械谐振器有几百兆甚至更高的工作频率,本文利用达芬方程作为纳机械谐振器的动力学方程,用数值方法求解了电磁驱动纳机械谐振器的动态特性,计算表明谐振器有明显的非线性特性,与国外已有的实验结果相符合,该分析方法可以为纳机械混频器设计提供参考。
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关键词
纳机械谐振器
非线性效应
达芬方程
洛仑兹力
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Keywords
nanomechanical resonator
nonlinear
Duffing equation
lorentz force
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分类号
TN40
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名微纳机械谐振器能量耗散机理研究进展
被引量:14
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作者
张文明
闫寒
彭志科
孟光
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机构
上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室
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出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第19期2077-2093,共17页
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基金
国家优秀青年科学基金(11322215)
霍英东青年教师基金(141050)
中组部青年拔尖人才计划资助
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文摘
微纳机械谐振器因其具有超高的谐振频率、品质因子和灵敏度等优越特性,在物理传感、生物与化学检测、射频通信、能量收集等方面表现出了卓越的性能而备受关注,已成为当前微/纳机电系统领域的研究重点和热点之一.能量耗散一直以来都是制约微纳机械谐振器性能提升与应用发展的瓶颈问题,且耗散机制具有多样性、不确定性和尺度相关性.本文综述了微纳机械谐振器中的能量耗散机理与非线性阻尼效应的研究进展,主要针对热弹性阻尼、声子相互作用、黏性阻尼、支撑损耗、表面与界面损耗等内禀和外部耗散机制进行了综述,阐明了不同能量耗散的产生机理及影响规律,可为降低能量损耗和结构优化设计、提高谐振器件的品质因子和动态性能提供参考,对微纳机械谐振器的设计、制造及应用发展具有重要意义.
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关键词
微/纳机电系统
微/纳机械谐振器
能量耗散
品质因子
非线性阻尼
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Keywords
micro/nano-electromechanical system
micro/nanomechanical resonator
energy dissipation
quality factor
nonlinear damping
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分类号
TH-39
[机械工程]
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