基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制

阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器，可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要，该致动器基于微机电系统，以静电侧向梳齿为基本结构，采用变间隙设计结构，实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率（nN量级）和大输出力（大于1mN），并介绍了该测试系统的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。