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纳米光波导光滑技术研究进展 被引量:4
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作者 石强 桑胜波 +3 位作者 张文栋 李朋伟 胡杰 李刚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第11期3040-3046,共7页
随着半导体工业的发展,集成光电器件的特征尺寸越来越小,纳米光波导表面光滑技术将面临新的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度,制造超低损耗纳米光波导,实现其高效片间光互连与片内光耦合,是集成光电子器件,特别是高灵敏微陀螺、生化传感... 随着半导体工业的发展,集成光电器件的特征尺寸越来越小,纳米光波导表面光滑技术将面临新的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度,制造超低损耗纳米光波导,实现其高效片间光互连与片内光耦合,是集成光电子器件,特别是高灵敏微陀螺、生化传感器、光通讯等器件发展的关键。主要分析了光波导表面粗糙度与传播损耗的关系,着重阐述纳米光波导表面光滑工艺方法,包括热氧化法、氢退火法及激光束法的研究现状及最新进展,总结了各类工艺的技术难点与发展前景,并展望其在微机电、光集成方面应用前景。 展开更多
关键词 光滑工艺 纳米光波导 表面粗糙度
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中美科学家在纳米光波导领域获重大原创性成果
2
《微纳电子技术》 CAS 2004年第7期47-47,共1页
关键词 纳米光波导 氧化硅线 低损耗传输 性能
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纳米光波导研究获突破
3
《光学仪器》 2004年第2期160-160,共1页
关键词 纳米光波导 纳米线 纳米材料 氧化硅线 纳米光集成器件
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硅基纳米光波导微腔全光开关新进展 被引量:1
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作者 李淳飞 《物理》 CAS 北大核心 2015年第12期803-809,共7页
全光开关研究已有50年历史,至今尚未全面达到实用开关器件所要求的技术指标。近几年来基于SOI材料(做在绝缘层上的硅材料)、工作在光通信波长、采用成熟CMOS工艺(互补金属氧化物半导体工艺)的硅基纳米波导微腔结构全光开关已成为国际科... 全光开关研究已有50年历史,至今尚未全面达到实用开关器件所要求的技术指标。近几年来基于SOI材料(做在绝缘层上的硅材料)、工作在光通信波长、采用成熟CMOS工艺(互补金属氧化物半导体工艺)的硅基纳米波导微腔结构全光开关已成为国际科学界的研究热点,大大推进了全光开关的实用化。文章介绍了国际上近十年研究硅基纳米波导微腔全光开关的5种典型方案,包括脊形和槽形纳米光波导;环腔和F-P腔两种微腔结构;纳米光波导、光子晶体、表面等离子体激元三种工作原理。分析总结了它们的共同特点和值得借鉴的研究经验,以便推动国内相关研究工作的开展。 展开更多
关键词 全光开关 非线性光学 SOI材料 纳米光波导 微腔 CMOS工艺
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保偏等离激元纳米光波导、等离激元纳米光子路由器和多路转接器评述
5
作者 李志鹏 方蔚瑞 +1 位作者 黄映洲 徐红星 《物理》 CAS 北大核心 2010年第8期558-559,共2页
关键词 纳米光波导 等离激元 光子 转接器 路由器 保偏 多路 信息技术
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氧化硅亚微米纳米线光波导的制备 被引量:1
6
作者 姜玲玲 隋成华 姜吉光 《光学仪器》 2005年第5期132-135,共4页
介绍一种新的氧化硅亚微米纳米线光波导的制备方法。使用这种方法制备出的光波导具有良好的直径均匀性和表面粗糙度,满足低损耗传输的要求。纳米级的尺寸以及独特的光学特性,使得亚微米纳米线光波导在亚波长结构的微电子、光电子及光子... 介绍一种新的氧化硅亚微米纳米线光波导的制备方法。使用这种方法制备出的光波导具有良好的直径均匀性和表面粗糙度,满足低损耗传输的要求。纳米级的尺寸以及独特的光学特性,使得亚微米纳米线光波导在亚波长结构的微电子、光电子及光子器件中具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 亚微米纳米线光波 火焰加热两步拉伸 传感器
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纳米级铝包覆光波导耦合特性研究
7
作者 陈青梅 冯国英 +4 位作者 孙年春 周国瑞 张一 王建军 马孜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期183-187,共5页
为了研究10nm级铝包覆光波导特征参量对其耦合情况的影响,理论模拟了不同金属层折射率和厚度、不同导波层折射率和厚度情况下的衰减全反射谱,分析了特征参量对耦合情况的影响。通过实验验证了金属层折射率和厚度对其耦合情况的影响,发... 为了研究10nm级铝包覆光波导特征参量对其耦合情况的影响,理论模拟了不同金属层折射率和厚度、不同导波层折射率和厚度情况下的衰减全反射谱,分析了特征参量对耦合情况的影响。通过实验验证了金属层折射率和厚度对其耦合情况的影响,发现纳米级铝膜的复介电常数发生了很大的变化。结果表明,导波层厚度影响激发导模的数目,但对耦合深度影响不大;导波层折射率同时影响激发导模的数目和耦合深度;耦合层金属膜厚度不影响激发导模的模数,但对耦合深度的影响很大;对于相同的耦合层金属膜厚度,金属折射率不同,耦合情况大不相同。研究结果为基于双面金属包覆光波导的脉冲展宽器的制作和设计过程提供了参考。 展开更多
关键词 光电子学 纳米级铝包覆光波 衰减全反射谱 耦合情况
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SOI纳米波导的优化制备与弯曲损耗测试 被引量:1
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作者 臧俊斌 薛晨阳 +4 位作者 韦丽萍 王景雪 崔丹凤 王永华 仝晓刚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1498-1502,共5页
主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱... 主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱功率法等研究手段精确测试了在高纯氮退火和BOE腐蚀后处理不变的情况下,不同温度热氧化退火处理下的波导侧壁粗糙度和对应的弯曲损耗,结果表明:波导的侧壁粗糙度随退火温度的变化近似呈二次抛物线变化趋势,在900℃附近达到最低值2.1 nm,对应的半径15μm的环形波导的弯曲损耗为(0.0109±0.001)dB/turn,其损耗值与理论分析结果一致。利用这一结论就可以通过选择不同的优化处理条件来减小环形波导的弯曲损耗,从而实现光能量的高效传输。 展开更多
关键词 SOI 纳米光波导 MEMS 粗糙度 弯曲损耗
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不同沉积层的纳米波导谐振腔特性测试
9
作者 臧俊斌 赵国英 +1 位作者 韦丽萍 薛晨阳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期162-166,共5页
为确定硅基片上系统半导体光电器件集成中绝缘层材料对器件整体性能的影响,设计并制备了带有覆层的纳米波导谐振腔.谐振透射谱功率测试表明顶层覆盖Si_3N_4薄膜和SiO_2薄膜绝缘层没有削弱环形谐振腔的品质因素,沉积后的最佳耦合间距为70... 为确定硅基片上系统半导体光电器件集成中绝缘层材料对器件整体性能的影响,设计并制备了带有覆层的纳米波导谐振腔.谐振透射谱功率测试表明顶层覆盖Si_3N_4薄膜和SiO_2薄膜绝缘层没有削弱环形谐振腔的品质因素,沉积后的最佳耦合间距为70~110 nm.覆层为SiO_2时谐振点波长附近的谐振峰消光比达16.5 dB,3 dB带宽为0.12 nm;覆层为Si_3N_4时谐振点波长附近的谐振峰消光比达13.9 dB,3 dB带宽为0.18 nm.该研究为片上系统集成设计中最佳绝缘层材料的选择提供参考. 展开更多
关键词 光电器件 片上系统 纳米光波导 微环谐振腔
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“微纳光子学”专题导读
10
作者 李志远 宋清海 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期1-2,共2页
随着电子器件小型化需求的不断提升,微电子技术的发展受到限制。相对而言,微纳尺度上光学现象及微纳光电子器件的研究起步较晚,但随着光子学与微纳加工技术的发展,微纳光子学逐渐兴起且受到越来越多的关注。微纳光子学主要研究在微纳尺... 随着电子器件小型化需求的不断提升,微电子技术的发展受到限制。相对而言,微纳尺度上光学现象及微纳光电子器件的研究起步较晚,但随着光子学与微纳加工技术的发展,微纳光子学逐渐兴起且受到越来越多的关注。微纳光子学主要研究在微纳尺度下光与物质相互作用的规律及其在光的产生、传输、调控、探测和传感等方面的应用,包括微纳光子学理论、微纳光纤及纳米光波导、光学微腔及应用、硅基光子学、微纳光子学器件等。 展开更多
关键词 光子学 光电子器件 微纳加工技术 光学微腔 微纳光纤 微电子技术 纳米光波导 微纳尺度
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氧化硅线直径几十纳米
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《有机硅氟资讯》 2004年第1期26-27,共2页
关键词 纳米线 纳米材料 氧化硅线 纳米光波导技术 制备方法
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业界快讯
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《微纳电子技术》 CAS 2004年第2期46-47,共2页
关键词 纳米光波导 纳米步进马达 应用处理器 纳米管生产装置 45NM处理器 纳米级晶体管 存储设备
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Design and fabrication of ultrasmall arrayed waveguide grating multiplexers based on Si nanowire waveguides 被引量:1
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作者 DAI Dao-xin LIU Liu ZHEN Sheng HE Sai-ling 《Optoelectronics Letters》 EI 2007年第1期7-9,共3页
The large refractive index difference between Si and SiO2 makes it possible to realize ultrasmall photonic integrated circuits. A 5×5 ultracompact arrayed waveguide grating multiplexer based on 500×250 nm Si... The large refractive index difference between Si and SiO2 makes it possible to realize ultrasmall photonic integrated circuits. A 5×5 ultracompact arrayed waveguide grating multiplexer based on 500×250 nm Si nanowire waveguides is designed and fabricated by using the technologies of E-beam writing and amorphous-Si deposition. The mea- sured channel spacing is about 1.5 nm (close to the design value) and the channel crosstalk is about –8 dB. 展开更多
关键词 超小阵列波光栅 波分复用器 纳米线波 设计 制造
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硅基纳米光子集成回路中的模式转换与耦合 被引量:1
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作者 李晨蕾 戴道锌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第5期34-49,共16页
硅纳米光波导具有超高折射率差与超小横截面,因而具有超强光场限制能力,为实现超高集成度纳米光子回路提供了一种极具吸引力的途径。众所周知,在光子集成回路中,模式转换与耦合是实现各种功能器件的重要基础。对硅光子集成回路中的模式... 硅纳米光波导具有超高折射率差与超小横截面,因而具有超强光场限制能力,为实现超高集成度纳米光子回路提供了一种极具吸引力的途径。众所周知,在光子集成回路中,模式转换与耦合是实现各种功能器件的重要基础。对硅光子集成回路中的模式转换与耦合原理、新结构与新器件进行了详细分析和讨论。研究了硅纳米光波导锥形结构中模式传输及演化过程,揭示了其特有的偏振相关模式转换机制。结果表明,当光波导横截面存在不对称性时,可能在某些特定波导宽度范围内产生偏振模杂化,为实现偏振旋转提供了一种方便的方法。通过调控非对称定向耦合结构中模式转换与耦合的相位匹配条件,为实现超小型偏振分束器、大带宽模式复用-解复用器等关键器件提供重要途径。 展开更多
关键词 集成光学 纳米光波导 模式耦合 模式转换 偏振 复用
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微纳结构光纤光谱学 被引量:7
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作者 靳伟 鲍海泓 +4 位作者 齐云 赵焱 赵鹏程 高寿飞 何海律 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期395-412,共18页
微纳结构光纤光谱学是指以空芯微结构或微纳光纤为样品池,光和物质在纤芯内部或表面进行相互作用的光谱学技术。本文回顾空芯和微纳光纤导光的基本原理,介绍气体、液体样品池构建的理论和方法,综述基于光谱吸收、光热、光声、荧光、拉... 微纳结构光纤光谱学是指以空芯微结构或微纳光纤为样品池,光和物质在纤芯内部或表面进行相互作用的光谱学技术。本文回顾空芯和微纳光纤导光的基本原理,介绍气体、液体样品池构建的理论和方法,综述基于光谱吸收、光热、光声、荧光、拉曼等效应的微纳结构光纤光谱学的最新进展及今后可能的发展方向。微纳结构光纤对光场的束缚能力强、模场能量在空气中的比例高,可实现光和物质在其中的高效、长距离相互作用。微纳结构光纤样品池的采用,可提升传统光谱学系统的性能或构建新型的光谱学系统;应用传输光纤与其他光学元器件进行柔性连接,可促进光谱学仪器和传感器的小型化和实用化。 展开更多
关键词 光谱学 激光光谱 微结构光纤 空芯光纤 光纤传感器 纳米光波导 拉曼光谱学
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科技动向
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《中国科技成果》 2004年第3期64-64,共1页
关键词 非典型肺炎 防治 纳米光波导 智能弧焊机器人 铁皮石斛 中药材 栽培
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Design of ultra-compact wavelength splitter based on lithium niobate nanowire optical waveguides 被引量:2
17
作者 陈明 刘子晨 《Optoelectronics Letters》 EI 2012年第1期17-20,共4页
A wavelength splitter with ultra-compact and simple structure is proposed and analyzed by using both plane wave expansion (PWE) method and finite difference time domain (FDTD) method. The device is based on direct... A wavelength splitter with ultra-compact and simple structure is proposed and analyzed by using both plane wave expansion (PWE) method and finite difference time domain (FDTD) method. The device is based on directional coupling between two parallel lithium niobate (LiNbO3, LN) nanowire optical waveguides. The wavelength splitter with a coupling region length of 5 um can separate 1.3 um and 1.55 um wavelengths for corresponding outputs with transmittance higher than 97%. 展开更多
关键词 Finite difference time domain method NANOWIRES
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Design and fabrication of 25-channel 200 GHz AWG based on Si nanowire waveguides 被引量:1
18
作者 LI Kai-li ZHANG Jia-shun +6 位作者 AN Jun-ming LI Jian-guang WANG Liang-liang WANG Yue WU Yuan-da YIN Xiao-jie HU Xiong-wei 《Optoelectronics Letters》 EI 2017年第4期241-244,共4页
A 25-channel 200 GHz arrayed waveguide grating (AWG) based on Si nanowire wavegnides is designed, simulated and fab- ricated. Transfer function method is used in the simulation and error analysis of AWG with width f... A 25-channel 200 GHz arrayed waveguide grating (AWG) based on Si nanowire wavegnides is designed, simulated and fab- ricated. Transfer function method is used in the simulation and error analysis of AWG with width fluctuations. The 25-channel 200 GHz AWG exhibits central channel insertion loss of 6.7 dB, crosstalk of-13 dB, and central wavelength of 1 560.55 nm. The error analysis can explain the experimental results of 25-channel 200 GHz AWG well. By using deep ul- traviolet lithography (DUV) and inductively coupled plasma etching (ICP) technologies, the devices are fabricated on sili- con-on-insulator (SOI) substrate. 展开更多
关键词 Error analysis FABRICATION Inductively coupled plasma NANOWIRES Silicon on insulator technology WAVEGUIDES
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