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全方位离子注入与沉积TiN薄膜的纳米压痕和纳米划擦行为
被引量:
5
1
作者
刘洪喜
蒋业华
汤宝寅
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期545-550,共6页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜。膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征。合成薄膜前后试样的力学性能经纳米压痕和划痕实验评价...
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜。膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征。合成薄膜前后试样的力学性能经纳米压痕和划痕实验评价。XRD结果表明,膜层中主要存在TiN相,择优取向(200),同时含有少量TiO2和钛氮氧的化合物。AFM形貌显示出试样表面TiN呈定向排列,膜层均匀完整,结构致密。纳米压痕测试结果表明,膜层具有较高的纳米硬度和弹性模量,最大值分别达到22.5和330 GPa,较基体分别增长104.5%和50%。根据纳米划痕形貌和划痕深度随划痕位置的变化关系分析出,薄膜在纳米划擦过程中先后经历了弹性变形,弹塑性变形,加载开裂或卸载剥落三个阶段。划擦剥落抗力达到80mN,表明TiN薄膜具有很好的弹性恢复能力和较强的疲劳剥落抗力。
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关键词
等离子体浸没离子注入与沉积
纳米
压痕
纳米划擦行为
TIN薄膜
轴承钢
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职称材料
题名
全方位离子注入与沉积TiN薄膜的纳米压痕和纳米划擦行为
被引量:
5
1
作者
刘洪喜
蒋业华
汤宝寅
机构
昆明理工大学材料科学与工程学院
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期545-550,共6页
基金
国家自然科学基金(50671045)资助项目
云南省自然科学基金(2008ZC021M)资助项目
昆明理工大学分析测试基金(2009-022)资助项目
文摘
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜。膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征。合成薄膜前后试样的力学性能经纳米压痕和划痕实验评价。XRD结果表明,膜层中主要存在TiN相,择优取向(200),同时含有少量TiO2和钛氮氧的化合物。AFM形貌显示出试样表面TiN呈定向排列,膜层均匀完整,结构致密。纳米压痕测试结果表明,膜层具有较高的纳米硬度和弹性模量,最大值分别达到22.5和330 GPa,较基体分别增长104.5%和50%。根据纳米划痕形貌和划痕深度随划痕位置的变化关系分析出,薄膜在纳米划擦过程中先后经历了弹性变形,弹塑性变形,加载开裂或卸载剥落三个阶段。划擦剥落抗力达到80mN,表明TiN薄膜具有很好的弹性恢复能力和较强的疲劳剥落抗力。
关键词
等离子体浸没离子注入与沉积
纳米
压痕
纳米划擦行为
TIN薄膜
轴承钢
Keywords
Plasma immersion ion implantation and deposition, Nano-indentation, Nano-scratching behaviors, Titanium nitride film, Bearing steel
分类号
TG172.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
全方位离子注入与沉积TiN薄膜的纳米压痕和纳米划擦行为
刘洪喜
蒋业华
汤宝寅
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
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职称材料
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