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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量:5
1
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究 被引量:1
2
作者 王英 杨明来 +3 位作者 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期391-393,共3页
采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级... 采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀. 展开更多
关键词 LB膜 纳米粒子 掩模 纳米刻蚀
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纳米刻蚀法合成磁性介孔碳及水处理性能研究 被引量:1
3
作者 董艳萍 田喜强 +2 位作者 乔秀丽 马松艳 白晓波 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期24-26,共3页
以SBA-15为模板,氯化铁为铁源,采用化学气相沉积法引入碳源,通过纳米刻蚀法合成磁性介孔碳材料。且研究了磁性介孔碳样品对罗丹明B的吸附和磁性分离性能,结果表明外加磁场可有效的分离罗丹明B。
关键词 纳米刻蚀 磁性分离 磁性介孔碳
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STM针尖诱导铜表面纳米刻蚀与沉积 被引量:1
4
作者 谢兆雄 毛秉伟 汤儆 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1957-1959,共3页
At cathodic potential of bulk copper deposition in dilute Cu 2+ solution, tip was found to be able to induce local dissolution of copper by applying a rather positive tip potential, although meanwhile the copper was s... At cathodic potential of bulk copper deposition in dilute Cu 2+ solution, tip was found to be able to induce local dissolution of copper by applying a rather positive tip potential, although meanwhile the copper was still deposited on the surface far from the tip area. The more positive the tip potential or the electrode potential is, the faster induced dissolution rate is. At a rather negative tip potential, deposition of Cu was enhanced by the tip while in the case Cu was dissolved locally with a more positive tip potential. A mechanism based on overlap of double layers between tip and substrate was proposed. 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 纳米刻蚀 纳米沉积 铜表面
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用SPM纳米刻蚀方法在Ti表面制备纳米结构的研究
5
作者 申自勇 侯士敏 薛增泉 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第4期252-254,259,共4页
本文用导电原子力显微镜 (AFM)针尖诱导局域氧化反应的方法 ,在Ti膜表面制备了TiO2 纳米结构。实验结果表明 ,Ti膜的氧化阈值为 - 7伏 ,制备的TiO2 纳米线的最小线宽达到 10nm ,TiO2 纳米线的高度和宽度随针尖偏压的增大而增大。在优化... 本文用导电原子力显微镜 (AFM)针尖诱导局域氧化反应的方法 ,在Ti膜表面制备了TiO2 纳米结构。实验结果表明 ,Ti膜的氧化阈值为 - 7伏 ,制备的TiO2 纳米线的最小线宽达到 10nm ,TiO2 纳米线的高度和宽度随针尖偏压的增大而增大。在优化的氧化刻蚀条件下 ,通过控制针尖偏压和扫描方式制备出了图形化的TiO2 结构 。 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米刻蚀 纳米线 纳米结构 钛表面 二氧化钛 氧化刻蚀 纳米电子器件 扫描探针显微镜
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电化学“沾笔”纳米刻蚀及其他(英文) 被引量:6
6
作者 李彦 MaynorBen 刘杰 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第1期75-78,共4页
本文提出了一种基于“沾笔”纳米刻蚀和电化学还原技术在表面上制备金属及半导体纳米结构的普适性方法。用这种方法可以在硅表面直接书写线宽度低于50纳米的多种金属和半导体组成的纳米结构。这种简单而有效的方法在精确控制位置和结构... 本文提出了一种基于“沾笔”纳米刻蚀和电化学还原技术在表面上制备金属及半导体纳米结构的普适性方法。用这种方法可以在硅表面直接书写线宽度低于50纳米的多种金属和半导体组成的纳米结构。这种简单而有效的方法在精确控制位置和结构的功能化纳米器件制备中具有重要的潜在应用前景。 展开更多
关键词 “沾笔”纳米刻蚀 电化学还原 AFM 纳米结构 制备 半导体 金属 纳米器件
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偏压值对纳米刻蚀影响的研究
7
作者 周光茜 张英堂 任永强 《纺织高校基础科学学报》 CAS 2007年第4期408-411,共4页
STM的刻蚀机理是通过隧道电流引发局域化学反应,以达到刻蚀的目的.在刻蚀过程中,偏压值对针尖状态的影响相当大.本文以STM为手段,研究偏压值对高序石墨表面纳米刻蚀及针尖状态的影响.通过一系列改变偏压值的纳米刻蚀试验,结果表明,在偏... STM的刻蚀机理是通过隧道电流引发局域化学反应,以达到刻蚀的目的.在刻蚀过程中,偏压值对针尖状态的影响相当大.本文以STM为手段,研究偏压值对高序石墨表面纳米刻蚀及针尖状态的影响.通过一系列改变偏压值的纳米刻蚀试验,结果表明,在偏压值为4000mV不但刻蚀图像明显,而且对针尖状态的影响较少. 展开更多
关键词 STM 纳米刻蚀 偏压值 高序石墨
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运用精确电压衬度像技术实现精确定位的原位电子束纳米刻蚀:制造具有悬挂纳米线结构的纳米器件
8
作者 周维列 LIM Jin-Hee WILEY John B 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期213-218,共6页
本文演示了运用精确电压衬度像技术实现原位电子束纳米刻蚀技术的精确定位,并运用该技术制作成具有悬挂结构的纳米开关。通过运用精确电压衬度像定位技术,能够很好地控制偏转电极的定位,误差可减少到大约10nm。通过该技术,不用通过任何... 本文演示了运用精确电压衬度像技术实现原位电子束纳米刻蚀技术的精确定位,并运用该技术制作成具有悬挂结构的纳米开关。通过运用精确电压衬度像定位技术,能够很好地控制偏转电极的定位,误差可减少到大约10nm。通过该技术,不用通过任何刻蚀过程只运用一次电子束纳米刻蚀,便可实现将分散的纳米线夹在两个电阻层中间形成悬挂结构。在原位电子束刻蚀的整个过程中,无需移动样品台从而消除了样品台的移动误差。因此,整个过程中不需要高精确的激光台和定位标记,从而简化了传统的电子束纳米刻蚀工艺。通过该方法制作的纳米开关随着施加电压的改变很好地实现了闭合和断开的状态。这种简化的过程提供了一种简单、低成本、快速的通过改装过的场发射扫描电子显微镜(FESEM)来制作纳米线悬挂结构的方法,并可运用该技术进一步制造多层结构和特殊的纳米器件。 展开更多
关键词 原位电子束纳米刻蚀 扫描电子显微镜 纳米器件 纳米线
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利用聚苯乙烯纳米球刻蚀法制备周期有序δ-MnO_(2)纳米阵列 被引量:1
9
作者 邓国伟 王佳乐 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2023年第5期41-46,共6页
利用聚苯乙烯(polystyrene, PS)纳米球刻蚀结合水热生长的方法,制备周期有序δ-MnO_(2)纳米阵列。利用磁控溅射MnO_(2)靶材获得种子层,将PS纳米球通过自组装方法在MnO_(2)种子层上形成单层密堆积结构来制备图案化模板,再通过反应离子刻... 利用聚苯乙烯(polystyrene, PS)纳米球刻蚀结合水热生长的方法,制备周期有序δ-MnO_(2)纳米阵列。利用磁控溅射MnO_(2)靶材获得种子层,将PS纳米球通过自组装方法在MnO_(2)种子层上形成单层密堆积结构来制备图案化模板,再通过反应离子刻蚀(reactive ion etching,RIE)减小PS纳米球的尺寸,并利用磁控溅射SiO_(2)靶材来覆盖PS纳米球间的间隙,去除衬底上的PS纳米球以得到周期有序的MnO_(2)种子位点,用于后续水热生长。通过选取不同尺寸的PS纳米球,制备周期分别为800和500 nm的有序纳米阵列,利用透射电子显微镜(transmission electron microscopy, TEM)对其进行表征,并确认阵列中MnO_(2)材料为δ相。研究结果为寻找低成本制备半导体材料有序纳米阵列提供了方法。 展开更多
关键词 MnO_(2) 纳米阵列 纳米刻蚀 水热生长
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Dip-pen刻蚀技术直接制造蛋白质纳米阵列 被引量:4
10
作者 魏莉 洪霞 +2 位作者 郭薇 白玉白 李铁津 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期1386-1388,共3页
This paper covers the first application of Dip Pen Nanolithography(DPN) to directly write protein patterns with submicrometer dimensions onto Au substrate. Using Bovine Serum Albumin(BSA) as the ink in the DPN procedu... This paper covers the first application of Dip Pen Nanolithography(DPN) to directly write protein patterns with submicrometer dimensions onto Au substrate. Using Bovine Serum Albumin(BSA) as the ink in the DPN procedure, we were able to utilize lateral force microscopy(LFM) images to differentiate between Au substrate and patterned area with deposited monolayers of BSA. Then the first evidence for Au_S bonding was reported between the gold substrate and the BSA surface thiol groups given by the angle resolved XPS measurements. 展开更多
关键词 纳米阵列 Dip-pen纳米刻蚀 协同作用力 蛋白质 生物芯片 金属氧化物
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动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀与单个DNA分子上的物理纳米图形制造 被引量:3
11
作者 李宾 汪颖 +5 位作者 武海萍 张益 张志祥 周星飞 李民乾 胡钧 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期444-447,共4页
利用“蘸笔”纳米刻蚀技术(DPN)可在金、硅和氧化硅等较硬的固相衬底表面上制作不同的纳米级图案。但是,在柔软的物体表面如生物大分子上直接制作纳米图形是尚需开拓的研究领域。本文发展的动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀技术(CDDPN)可... 利用“蘸笔”纳米刻蚀技术(DPN)可在金、硅和氧化硅等较硬的固相衬底表面上制作不同的纳米级图案。但是,在柔软的物体表面如生物大分子上直接制作纳米图形是尚需开拓的研究领域。本文发展的动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀技术(CDDPN)可实现在生物大分子上直接制怍纳米图形,并且能达到在拉直的单个DNA分子上制造纳米图形的目的。 展开更多
关键词 原子力显微镜 “蘸笔” 纳米刻蚀技术 单分子DNA 物理纳米图形 动态组合模式 图形制造
原文传递
纳米球刻蚀技术 被引量:5
12
作者 钟智勇 刘爽 +2 位作者 赵文多 李敏姬 张怀武 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1312-1315,共4页
纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备。本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响。最后,综述了纳米球刻... 纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备。本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响。最后,综述了纳米球刻蚀技术的发展状况与趋势。 展开更多
关键词 纳米刻蚀 纳米阵列 纳米加工
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基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究 被引量:1
13
作者 蒋洪奎 胡礼广 +1 位作者 陆爽 姚汤伟 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期577-581,共5页
基于原子力显微镜AFM(atomic force microscope)的纳米机械刻蚀加工是扫描探针刻蚀加工技术(scanning probe lithography,SPL)的一个重要组成,目前已取得较大进展。但由于纳米机械刻蚀涉及原子的结构与运动,其加工机理尚有待于进一步研... 基于原子力显微镜AFM(atomic force microscope)的纳米机械刻蚀加工是扫描探针刻蚀加工技术(scanning probe lithography,SPL)的一个重要组成,目前已取得较大进展。但由于纳米机械刻蚀涉及原子的结构与运动,其加工机理尚有待于进一步研究。分子动力学模拟技术是近年来发展的继实验和理论研究后的又一重要研究方法。文章综述采用分子动力学模拟技术,研究基于AFM的纳米机械刻蚀加工的进展,分析纳米尺度的加工机理,评述探针、刻蚀工艺、工件材料等因素对纳米机械加工过程的影响。文章最后指出今后研究的方向。 展开更多
关键词 原子力显微镜 分子动力学 模拟 纳米机械刻蚀
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纳米笔刻蚀技术构建小牛胸腺组蛋白纳米结构 被引量:2
14
作者 周化岚 施文健 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期614-616,共3页
采用纳米笔刻蚀(DPN)技术控制针尖的运行,成功地将小牛胸腺组蛋白传递到新剥离的云母表面,获得了不同尺寸、形状的小牛胸腺组蛋白纳米结构,同时考察了针尖移动速率、针尖-基底接触时间对DPN技术的影响。结果表明,较快的针尖移动速率和... 采用纳米笔刻蚀(DPN)技术控制针尖的运行,成功地将小牛胸腺组蛋白传递到新剥离的云母表面,获得了不同尺寸、形状的小牛胸腺组蛋白纳米结构,同时考察了针尖移动速率、针尖-基底接触时间对DPN技术的影响。结果表明,较快的针尖移动速率和较短的针尖-基底接触时间沉积较少的墨水分子,同时形成的纳米图案和墨水分子的本身性质也有关系。这种方法可以用于构建其他蛋白质分子,为生物纳米器件的合成提供更多机会,同时组蛋白纳米结构的构建也可以作为模板沉积其他分子,在蛋白质监测、生物传感器方面有着潜在的应用。 展开更多
关键词 纳米刻蚀技术 纳米结构 小牛胸腺组蛋白 原子力显微镜
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纳米刻蚀术产生任意图案
15
《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2009年第4期9-9,共1页
美国普林斯顿大学的研究人员研制出了一种直接将纳米图案刻蚀在衬底上的并行工艺。他们用一台激光器来捕获微透镜阵列,用另一台激光器以均匀尺寸和15nm的相对定位精度来制造100nm的结构。该方法能制造任意的纳米图案。
关键词 纳米图案 纳米刻蚀 普林斯顿大学 微透镜阵列 并行工艺 研究人员 定位精度 激光器
原文传递
用纳米刻蚀技术在晶片上制成的超高效硅纳米线
16
作者 杨英惠(摘译) 《现代材料动态》 2008年第11期14-15,共2页
美国劳伦兹呗克莱国家实验室和加里福尼亚大学用无电刻蚀技术制成了超高效硅纳米线,这种由硅纳米线排列成的阵列是在置于水溶液中的硅片表面上形成的。
关键词 纳米刻蚀技术 纳米线 超高效 晶片 国家实验室 硅片表面 水溶液
原文传递
应用纳米球刻蚀法在自组装膜修饰的硅表面生成中尺度的网状蛋白层(英文)
17
作者 SCHLERETH Andrew NOOMUNA Panae GAO Pei 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2017年第4期810-815,共6页
在自组装膜修饰的硅表面制备有序的蛋白阵列是研发生物传感器的先决条件之一,因此如何产生有序的表面蛋白阵列一直是生物医药研究方向的前沿。本研究通过应用纳米球刻蚀法在氧化的10-烯基十一烷基三氯硅烷自组装膜修饰的硅表面生成了网... 在自组装膜修饰的硅表面制备有序的蛋白阵列是研发生物传感器的先决条件之一,因此如何产生有序的表面蛋白阵列一直是生物医药研究方向的前沿。本研究通过应用纳米球刻蚀法在氧化的10-烯基十一烷基三氯硅烷自组装膜修饰的硅表面生成了网状结构溶菌酶蛋白层。网孔的大小(从纳米到微米级别)由表面沉积的纳米球的尺寸来调控。我们利用原子力显微镜和荧光显微镜对样品表面进行了详细表征。结果表明:这种新方法比传统的通过扫描探针在固体表面修饰而聚集溶菌酶蛋白的方法更快捷简便,而且它能够在相对大的硅表面形成网状蛋白层。此外,网孔表面附着具有强吸附活性的羧酸基团层,它可以通过静电吸引或者共价结合来吸附液相中的第二种蛋白分子。 展开更多
关键词 纳米刻蚀 溶菌酶 网状阵列 自组装膜 原子力显微镜 荧光显微镜
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基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展 被引量:4
18
作者 朱守星 丁建宁 +1 位作者 蔡兰 杨继昌 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2002年第3期8-13,共6页
作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工... 作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工方法 ,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础 纳米加工技术是一门综合性的交叉学科 ,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面 ,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题 。 展开更多
关键词 加工机理 纳米加工 原子力显微镜 AFM 纳米材料 纳米刻蚀
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嵌段共聚物自组装及其在纳米材料制备中的应用(下) 被引量:12
19
作者 袁建军 程时远 封麟先 《高分子通报》 CAS CSCD 2002年第2期9-17,28,共10页
嵌段共聚物可以自组装形成丰富的有序微结构。这些微结构可以拥有各种不同的几何形态和晶体 准晶结构及宽泛的尺寸选择性 ,而且具有良好的可调控性及相对容易的加工方法。利用嵌段共聚物这种自组装特性来制备一些利用传统技术难以获得... 嵌段共聚物可以自组装形成丰富的有序微结构。这些微结构可以拥有各种不同的几何形态和晶体 准晶结构及宽泛的尺寸选择性 ,而且具有良好的可调控性及相对容易的加工方法。利用嵌段共聚物这种自组装特性来制备一些利用传统技术难以获得的纳米材料 (如功能纳米材料、纳米结构材料、模板材料、介孔固体等 )及微米 亚微米微结构材料 (如光子晶体等 ) ,具有优越性。这些材料将在信息技术、生物医学。 展开更多
关键词 嵌段共聚物 纳米材料 光子晶体 自组装 制备 功能纳米材料 纳米刻蚀模板 纳米结构材料
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利用DPN技术直接构建磁性纳米图形 被引量:1
20
作者 洪霞 魏莉 +4 位作者 郭薇 李军 宋文龙 白玉白 李铁津 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1778-1780,共3页
We use 8 nm magnetite nanoparticles as "ink", self assembly monolayer(SAM) of bovine serum albumin(BSA) as "paper" to generate arbitrary structures at micro or nanometer scales in the DPN procedure... We use 8 nm magnetite nanoparticles as "ink", self assembly monolayer(SAM) of bovine serum albumin(BSA) as "paper" to generate arbitrary structures at micro or nanometer scales in the DPN procedure. AFM and LFM are used to image the patterns. The height profile of pattern is about 8 nm, which is consistent with the diameter of magnetite nanoparticles. It means that the magnetic monolayer pattern has been obtained. The SAM of BSA is measured by diffuse reflection IR spectra and the data is coincided with the one of the literature. After writing the magnetite "ink", the band of magnetite appears at 570 cm -1 , which gives a further proof. 展开更多
关键词 DPN技术 磁性微粒纳米图形 静电力 四氧化三铁 纳米刻蚀技术 血清白蛋白
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