电子特气高纯度制备技术及其对半导体器件性能的影响研究

本文主要针对高纯度电子特气的制备工艺及对半导体器件性能产生的影响进行深入的研究。首先对电子特气高纯度制备工艺现状进行分析,指出现有工艺中存在的瓶颈问题,讨论新技术开发和应用进展情况。然后,详细描述电子特气纯度对于半导体器件电学性能及可靠性所产生的具体作用,并结合案例研究进一步验证纯度提升对于器件性能所产生的明显提升作用。同时本论文还注意到高纯度电子特气制备技术所面临的一些挑战,主要是技术创新和成本平衡、环保和可持续发展等方面的要求,最后展望了该技术发展的趋势和前景。

“弹出式”技术可制备微纳米半导体器件

见过一打开便有小房子或城堡立起来的那种立体书吧。受这种儿童玩具书的启发，中国、美国、韩国研究人员开发出一种特别简单的“弹出式”三维成型技术，可制备现有3D打印技术无法实现的微纳米半导体器件。这项成果发表在新一期美国《科学》杂志上。研究负责人之一、美国西北大学研究助理教授张一慧说，这种技术被称为“屈曲引导的三维成型技术”。

纳米半导体材料的制备技术

介绍了纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位,讨论了纳米半导体材料的制备方法。

纳米半导体薄膜制备技术

采用分类综述的方法，介绍了纳米半导体薄膜制备技术的研究进展，并对各种制备技术的特点进行了评价。

第三代半导体器件制备及评价技术取得突破

以氮化镓（GaN）和碳化硅（SiC）为代表的第三代半导体材料,具备高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及抗强辐射能力等优异性能,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率电子器件,在光电子和微电子领域具有重要的应用价值.

“弹出式”三维成型技术可制造微纳米半导体器件

受儿童立体书的启发，中国、美国、韩国的研究人员合作开发出一种“弹出式”三维成型技术，可制造现有3D打印技术无法制造的微纳米半导体器件。据介绍，该技术被称为“屈曲引导的三维成型技术”，是现有3D打印技术的重要补充。该技术的基本步骤是：先形成具有一定构型的平面结构，然后将其转移至l张已经拉伸的弹性基底上，通过表面化学处理将平而结构选择性地粘接于弹性基底，再释放弹性基底的预拉伸，即可将未粘接于基底的平而结构弹出，形成三维结构。

印刷硅挑战有机材料，新技术将带来半导体器件的革新!

市场研究公司Nano MarketsLC研究员预测硅纳米晶体（Silicon Nanocrystals）和印刷方式将对传统的电子电路和有机电子产生巨大的影响。该公司的报道预测到2015年，该技术的市场价值将达到25亿美元。

浅析新型纳米半导体包覆材料的制备及其光催化性能

文章首先以氧化锌为例介绍了新型半导体包裹材料的性能并分析了半导体光催化技术的催化机理、特点,然后阐述了氧化锌纳米半导体材料包覆材料的两种制备方法,最后通过实验分析的形式研究了氧化锌纳米半导体材料包覆材料的光催化性能。

超细晶/纳米晶钨材料制备技术的研究进展

晶粒细化可显著提高超细晶/纳米晶钨材料的性能,介绍了超细晶/纳米晶钨材料制备技术的最新研究进展,包括粉末冶金法和深度塑性变形法,粉末冶金法的烧结工艺主要包括热等静压烧结、超高压通电烧结、放电等离子体烧结、微波烧结等;深度塑性变形法包括高压扭转、等通道挤压、表面机械研磨处理和累积轧制等。由于超细晶/纳米晶钨材料存在大量的晶界可有效提高材料的力学性能和抗辐照性能,因此有望解决纯钨材料作为核聚变堆面向等离子体材料存在的问题,对超细晶/纳米晶钨材料的发展提出了建议。

硅纳米线纳米电子器件及其制备技术

硅纳米线由于特殊的光学及电学性能如量子限制效应及库仑阻塞效应等,在纳米电子器件的应用方面具有潜在的发展前景。介绍了采用电子束蚀刻技术(EB)、反应性离子蚀刻技术(RIE)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等制备技术及场效应晶体管、单电子探测器及存储器、双方向电子泵及双重门电路等硅纳米线纳米电子器件的最新进展情况,并对其发展前景作了展望。

美意两国在纳米半导体材料中制备出“人造石墨烯”

据ScienceDaily网站2017年12月12日消息,美国哥伦比亚大学、普林斯顿大学、普渡大学和意大利理工学院首次重构了石墨烯在半导体器件中的电子结构,从而设计出“人造石墨烯”.研究人员采用纳米光刻和蚀刻技术,在砷化镓标准半导体材料中开发出类石墨烯结构、具有半导体性质的“人造石墨烯”.新型“人造石墨烯”在凝聚态物理和纳米加工领域具有里程碑的意义,未来有望在半导体器件和量子芯片等领域获得应用.

纳米纤维纱线静电纺制备技术研究进展

针对静电纺纳米纤维纱线制备技术的产率低、纱线力学性能较差以及生产过程有安全风险和环保隐患的技术现状,对静电纺纳米纤维纱线制备技术进行了综述。首先从纳米纤维聚集加捻原理出发,概述了手动加捻法、电场诱导成纱法、高速旋转加捻法、水浴成纱法和气流辅助成纱法的成纱机制、技术特点及研究现状,指出高速旋转加捻法以纱线制备连续稳定可控等优势成为静电纺纳米纤维纱线制备技术的主流;随后从纤维特性及纱线结构出发,探讨工艺、装置与材料对纱线力学性能的影响,研究认为静电纺纳米纤维纱线增强的本质在于提升纤维取向、纤维抱合紧密度与单纤维力学性能。最后介绍了静电纺纳米纤维纱线的产率现状及影响因素,指出熔体或绿色纺丝液体系的无针静电纺技术与成纱技术的结合是静电纺纳米纤维纱线高效制备的有效途径。

纳米氧化锌液相法制备技术进展

纳米氧化锌是一种新型无机功能材料,广泛用于橡胶、涂料、催化等领域。其液相法制备技术具有产物粒径及形貌易控制、经济成本低、易于实现工业化的优点。重点综述了包括微乳液法、溶胶-凝胶法、水热/溶剂热法和化学沉淀法在内的纳米氧化锌液相法制备技术,阐释了各方法的基本原理、关键影响因素,强调了过程强化技术在制备过程中的重要作用。进一步介绍了“气泡液膜法”的新思路,其特征在于通过表面活性剂与反应液、空气的快速混合,形成具有高堆密度微气泡的纳米反应环境,成核晶体在气泡间10~100 nm的液膜内限域生长,通过控制气泡间液膜厚度调控纳米粒子大小,所得产物粒径均一、不易团聚,有望实现低成本纳米氧化锌的连续规模化生产。

制备纳米级ULSI的极紫外光刻技术

在下一代光刻技术中,由于极紫外光刻(EUVL)分辨率高、且具有一定的产量优势及传统光学光刻技术的延伸性,因而是IC业界制备纳米级ULSI器件的首选光刻方案之一。本文论述了EUVL技术的原理、加工工艺和设备,并对比分析了EUVL的生产成本、应用前景及其优缺点。

“纳米材料制备及技术”课程线上教学初探

随着计算机信息技术和网络技术的发展,为做好“纳米材料制备及技术”课程的教学工作,对该课程进行线上教学与实践,从科学修订教学大纲、建设内容丰富的线上教学资源、深入挖掘课程思政教育元素、采用多元化的教学方法、注重学生创新实践能力培养等方面进行了深入研究与探索,经教学实践有效地提高了该课程教学质量,教学效果良好。

纳米材料制备技术及其研究进展

系统介绍了纳米材料体系中的纳米微粒、纳米薄膜和纳米复合材料的制备技术 ,对各种技术的特点进行了评述 。

高性能纳米二氧化钛制备技术研究进展

纳米二氧化钛以其优异的性能成为半导体光催化剂的杰出代表,探寻优良的二氧化钛制备工艺有着重要的现实意义。本文主要介绍了近年来国内外纳米二氧化钛制备工艺的研究状况,根据反应体系的物理形态将制备工艺分成气相、液相、固相三大类进行阐述,在此基础上分析比较了不同制备工艺的优缺点,最后展望了今后的发展方向。

燃烧合成技术制备α-Al_2O_3纳米粉

研究了燃烧合成技术制备纳米粉Al2 O3 ·铝的硝酸盐和有机物为前驱体 ,一次反应即合成α Al2 O3 产物·实验考查了合成条件 ,最佳反应温度为 65 0～ 75 0℃·采用XRD和红外光谱分析了纳米粉的结构 ,电子透射电镜研究了Al2 O3 粉的粒度与形貌 ,研究结果表明 ,Al2 O3 粉体为α型 ,粒度在 60～ 80nm之间 ,球状·

溶胶凝胶技术制备纳米材料的研究进展

溶胶 凝胶技术是制备纳米材料的特殊工艺 ,工艺简单 ,易于操作。笔者对溶胶 凝胶技术的基本过程、工艺特点进行了分析 ,从溶胶 凝胶技术在薄膜方面的应用、膜板合成纳米阵列 ,以及制备纳米复合材料等方面 ,对溶胶

果胶提取及其银纳米粒子制备技术概述

果胶是一种天然植物多糖,结构异常复杂,功能多种多样。因具有优异的流变学特性及独特的组织结构,作为高档天然食品添加剂和保健品因子,被广泛应用于食品、医药和化妆品等。银纳米粒子(AgNPs)具有广谱的抑菌性和对哺乳动物细胞的低毒性,得到广泛地认可和应用。本文着重介绍近年来国外主流期刊有关果胶提取及其银纳米粒子制备技术,以期为进一步使用新的果胶资源,采用绿色提取技术,开发新的果胶产品提供借鉴。