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纳米半导体颗粒膜的研究现状 被引量:1
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作者 栾彩霞 柴跃生 张敏刚 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期39-40,共2页
介绍了纳米半导体颗粒膜的制备方法及研究现状,提出了纳米半导体颗粒膜研究的问题和今后的发展方向。
关键词 纳米半导体颗粒膜 制备工艺 粒度 溶胶-凝胶法 溅射法 化学气相沉积
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