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题名下一代光刻技术
被引量:4
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作者
佟军民
胡松
余国彬
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机构
中国科学院光电技术研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2005年第11期27-33,共7页
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文摘
介绍了下一代光刻技术的演变,重点描述了浸没式光刻技术、极端远紫外光刻技术、纳米压印光刻技术和无掩模光刻技术的基本原理、技术优势、技术难点以及研发,并展望了这几种光刻技术的前景。
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关键词
下一代光刻技术
浸没式光刻技术
极端远紫外光刻技术
纳米压印光刻技术
无掩模光刻技术
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Keywords
The Next Generation Lithography
Immersion Lithography: Extreme Ultraviolet Lithography
Nanoimprint Lithography
Maskless Lithography
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名下一代光刻技术的设备
被引量:7
- 2
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作者
翁寿松
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机构
无锡市罗特电子有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2004年第10期35-38,共4页
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文摘
下一代光刻技术是指≤32nm工艺节点的光刻技术。介绍了下一代光刻技术与设备,包括X射线光刻技术、极紫外线光刻技术和纳米压印光刻技术等。
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关键词
下一代光刻技术
X射线光刻技术
极紫外线光刻技术
纳米压印光刻技术
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Keywords
Next generation lithography
X-ray lithography
Extreme ultraviolet lithography
Nanoimprint lithography
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名下一代光刻技术
- 3
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作者
仲冠丞
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机构
青岛杰生电气有限公司
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出处
《科技与企业》
2015年第13期210-210,共1页
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文摘
本文从多方面对下一代光刻技术做了介绍和分析,重点描述了纳米压印光刻技术、极紫外光刻技术、无掩模光刻技术、原子光刻技术、电子束光刻技术等的原理、现状和优缺点,并展望了未来数十年的主流光刻技术。
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关键词
下一代光刻技术
纳米压印光刻技术
极紫外光刻技术
无掩模光刻技术
原子光刻技术
电子束光刻技术
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化
被引量:2
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作者
贾晓辉
张大卫
田延岭
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机构
天津大学机械工程学院
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出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期624-630,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50705064)
天津市自然科学基金资助项目(08JCYBJC01400)
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文摘
针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析了该类工作台的逆运动学特性;根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间。另外,为了达到以预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积,对工作台结构参数进行优化,并通过数值仿真验证其有效性。
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关键词
机械学
纳米压印光刻技术
精密定位工作台
工作空间分析
优化设计
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Keywords
mechanics
nanoimprint lithograph
precision positioning stage
workspace analysis
optimize design
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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