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用纳米压痕仪测量Cu50Zr43Ti7非晶合金的硬度和弹性模量 被引量:7
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作者 黎业生 李洪 +2 位作者 马永红 谢骏 王家佳 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期147-150,共4页
用Berkovich和Cube-Corner压头分别测量了Cu50Zr43Ti7非晶合金的硬度(H)和弹性模量(E)。结果发现,该合金的H和E与压头形状及测量所用载荷无关,H=(6.5±0.2)GPa,E=(114.4±2.1)GPa;相对于Berkovich压头,用Cube-Corner压头得到的... 用Berkovich和Cube-Corner压头分别测量了Cu50Zr43Ti7非晶合金的硬度(H)和弹性模量(E)。结果发现,该合金的H和E与压头形状及测量所用载荷无关,H=(6.5±0.2)GPa,E=(114.4±2.1)GPa;相对于Berkovich压头,用Cube-Corner压头得到的压痕周围观察到较多的剪切带。该合金没有硬度的尺寸效应,变形也没有明显的加工硬化。用有限元(FE)计算得到该合金的屈服强度(σ)约为1.8GPa,与压缩试验结果相符。 展开更多
关键词 纳米压痕仪 硬度 弹性模量 非晶合金 有限元
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纳米压痕仪测量镧奶对牙釉质再矿化的实验研究 被引量:1
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作者 蓝海 周萍 周济 《大理学院学报(综合版)》 CAS 2009年第6期24-26,共3页
目的:研究镧奶对牙釉质的再矿化作用。方法:利用纳米压痕仪定点精确测量32颗牛切牙的牙釉质开窗唇面,选择恒载荷模式,加载到牙齿唇面上的最大载荷为300μN,连续测量加载力和加载深度,得到载荷—深度曲线,并用Oliver-Pharr方法计算纳米... 目的:研究镧奶对牙釉质的再矿化作用。方法:利用纳米压痕仪定点精确测量32颗牛切牙的牙釉质开窗唇面,选择恒载荷模式,加载到牙齿唇面上的最大载荷为300μN,连续测量加载力和加载深度,得到载荷—深度曲线,并用Oliver-Pharr方法计算纳米硬度和弹性模量,每个样品进行30次压痕检测。结果:再矿化液处理的牙釉质表面,纳米硬度分别增高3.46%(P<0.05)、236.22%(P<0.01)、19.77%(P<0.05),弹性模量分别增高了8.62%(P<0.05)、170.68%(P<0.01)、12.90%(P<0.05)。结论:精确测量了牙釉质的纳米硬度和弹性模量分布,表明镧奶对牙釉质再矿化有促进作用,含镧2mg/L的镧奶再矿化液的防龋作用最强。 展开更多
关键词 纳米硬度 弹性模量 纳米压痕仪 镧奶 再矿化
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大型仪器设备开放共享平台纳米压痕仪的开放使用与维护 被引量:1
3
作者 姬晓悦 《化工管理》 2018年第34期154-155,共2页
以Nanomechanics,inc.(USA)公司的iMicro纳米压痕仪为例,介绍纳米压痕仪的仪器原理,软硬件设施特点,日常使用和维护的注意事项,在本校大型仪器设备开放共享平台的前提下,重点阐述iMicro纳米压痕仪开放使用、维护事项和对管理员的要求等... 以Nanomechanics,inc.(USA)公司的iMicro纳米压痕仪为例,介绍纳米压痕仪的仪器原理,软硬件设施特点,日常使用和维护的注意事项,在本校大型仪器设备开放共享平台的前提下,重点阐述iMicro纳米压痕仪开放使用、维护事项和对管理员的要求等,从而实现共享平台的规范有序、安全高效地运行,以期更好地为教学和科研服务。 展开更多
关键词 纳米压痕仪 器共享平台 使用与维护
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利用纳米压痕加载曲线计算硬度-压入深度关系及弹性模量 被引量:39
4
作者 谭孟曦 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1020-1024,共5页
通过对纳米压痕法基本原理的分析与实验研究,证明了一般材料的接触刚度一位移(压入深度)为线性关系.该关系可从两个不同压入深度的压痕实验得到,利用该关系可从任意一条加载曲线计算出材料的硬度-位移关系及弹性模量值.实验结果表明这... 通过对纳米压痕法基本原理的分析与实验研究,证明了一般材料的接触刚度一位移(压入深度)为线性关系.该关系可从两个不同压入深度的压痕实验得到,利用该关系可从任意一条加载曲线计算出材料的硬度-位移关系及弹性模量值.实验结果表明这个计算结果是可靠的. 展开更多
关键词 纳米压痕仪 硬度 弹性模量 位移 接触刚度
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基于纳米压痕法的民机复合材料胶接维修界面微区力学性能研究 被引量:1
5
作者 杨文锋 赖跃 +2 位作者 李绍龙 孙婷 刘畅 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第A01期473-476,共4页
胶接维修是民机碳纤维增强树脂基复合材料(CFRP)结构的重要维修方式,而胶接界面微观结构及微区力学性能几乎决定了胶接维修效果及耐久性。以共固化胶接维修试样为基础,以维修试样的界面微区为研究对象,采用扫描电镜(SEM)对界面微区形貌... 胶接维修是民机碳纤维增强树脂基复合材料(CFRP)结构的重要维修方式,而胶接界面微观结构及微区力学性能几乎决定了胶接维修效果及耐久性。以共固化胶接维修试样为基础,以维修试样的界面微区为研究对象,采用扫描电镜(SEM)对界面微区形貌进行分析;采用纳米压痕仪对界面微区的微观力学性能进行测试,主要表征界面微区不同位置的微观硬度、模量及加载-卸载曲线。研究结果表明,胶接维修界面存在过渡区域,其宽度约为2μm;维修母体与补片中纤维的微观力学性能并无太大差异;但由于固化成型工艺不同(母体为热压罐工艺,补片及胶膜为真空袋工艺),母体树脂的硬度与弹性模量略高于补片树脂。 展开更多
关键词 民机复合材料 胶接维修 界面 纳米压痕仪 微区力学
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实验参数对高分子树脂纳米压痕硬度测试结果的影响
6
作者 杨化浩 者东梅 +2 位作者 朱天戈 武鹏 罗莎 《中国塑料》 CSCD 北大核心 2017年第4期85-90,共6页
研究了测试过程中的最大加载力、加卸载时间和保载时间对高分子材料压痕硬度测试结果的影响。结果表明,测试过程中的最大加载力和加卸载时间对均质高分子树脂纳米压痕硬度的测试结果影响较小,保载时间显著影响测试结果,保载时间越长,纳... 研究了测试过程中的最大加载力、加卸载时间和保载时间对高分子材料压痕硬度测试结果的影响。结果表明,测试过程中的最大加载力和加卸载时间对均质高分子树脂纳米压痕硬度的测试结果影响较小,保载时间显著影响测试结果,保载时间越长,纳米压痕硬度测试结果越小。 展开更多
关键词 纳米压痕仪 器化 实验参数 高分子树脂
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纳米压痕技术在材料力学测试中的应用 被引量:22
7
作者 靳巧玲 李国禄 +2 位作者 王海斗 刘金娜 张建军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期127-136,共10页
近年来,材料纳米级力学测试日益引起广大研究者的重视。纳米压痕仪凭借极高的载荷和位移分辨率,广泛应用于材料表面的微纳米级力学性能的测试,包括硬度、弹性模量、塑性应变、薄膜界面结合强度以及材料疲劳特性等。综述了几种纳米压痕... 近年来,材料纳米级力学测试日益引起广大研究者的重视。纳米压痕仪凭借极高的载荷和位移分辨率,广泛应用于材料表面的微纳米级力学性能的测试,包括硬度、弹性模量、塑性应变、薄膜界面结合强度以及材料疲劳特性等。综述了几种纳米压痕和纳米冲击技术测试材料力学性能的方法和原理,介绍了纳米压痕技术在材料力学性能测试方面的若干先进应用实例及其测试机理,以及原子力显微镜和扫描探针显微镜在力学测试方面的原理和应用。最后,提出了纳米压痕仪存在的若干问题,并对纳米压痕技术的发展进行了展望,认为纳米压痕技术结合有限元模拟建立材料疲劳断裂模型,是纳米压痕在力学测试方面发展的必然趋势。 展开更多
关键词 纳米级力学测试 纳米压痕仪 测试机理 力学性能 疲劳失效
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纳米硬度仪测量人类牙釉质的纳米力学性能分布 被引量:3
8
作者 葛俊 崔福斋 +1 位作者 吉宁 阎建新 《牙体牙髓牙周病学杂志》 CAS 2005年第10期537-541,共5页
目的:人牙釉质内的力学性能分布,对实现釉质的优异性能起到了重要作用,因而本工作的目的是使用结合原子力显微镜(Atom ic Force M icroscope,AFM)的纳米压痕仪,在纳米尺度上精确测量其分布特点。方法:釉质样本取自成人第三磨牙。使用由... 目的:人牙釉质内的力学性能分布,对实现釉质的优异性能起到了重要作用,因而本工作的目的是使用结合原子力显微镜(Atom ic Force M icroscope,AFM)的纳米压痕仪,在纳米尺度上精确测量其分布特点。方法:釉质样本取自成人第三磨牙。使用由AFM控制的纳米压痕仪,定点精确测量釉质样品内的釉柱、釉柱间质和釉质鞘区域的纳米硬度和弹性模量。测量后,用AFM观察压痕形貌。结果:对纳米力学性能的测量结果显示出显著差异,釉质鞘和柱间质的纳米硬度比釉柱的硬度分别低73.5%和12.9%,其弹性模量分别下降了52.6%和7.1%。对压痕形貌的观察也得到了同样的结果。结论:本工作精确测量了人牙釉质的釉柱、柱间质以及釉质鞘的纳米硬度和弹性模量分布。纳米力学性能存在的差异性主要与成分及晶体排列方式有关。 展开更多
关键词 纳米硬度 弹性模量 纳米压痕仪 原子力显微镜 牙釉质
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纳米尺度接触过程力学特性实验研究 被引量:2
9
作者 杨承铭 杨晓京 刘艳荣 《机械设计与制造》 北大核心 2013年第7期227-229,232,共4页
利用纳米压痕仪进行纳米尺度接触力学特性实验研究,通过金刚石探针与单晶硅试件接触作用,获得不同载荷、不同接触深度条件下的接触压入和脱离接触的位移-载荷曲线,并利用原子力显微镜对接触区域扫描,获得接触区域AFM三维形貌图。研究表... 利用纳米压痕仪进行纳米尺度接触力学特性实验研究,通过金刚石探针与单晶硅试件接触作用,获得不同载荷、不同接触深度条件下的接触压入和脱离接触的位移-载荷曲线,并利用原子力显微镜对接触区域扫描,获得接触区域AFM三维形貌图。研究表明,在不同载荷条件下接触压入,随着载荷的增大,接触深度也随之增大;在不同深度条件下接触压入,随着接触深度的增大,接触作用力也随之增大。脱离接触的时候,接触区有弹性恢复,但有残余变形,接触区域表现出了塑性变形,压痕附近区域没有裂纹情况出现,载荷或接触深度越大,接触塑性变形越明显。此外,在不同载荷、不同接触深度条件下,接触区的压痕硬度和弹性模量相应有不同值,接触压痕硬度值和弹性模量值均有一定变化。 展开更多
关键词 纳米尺度 纳米压痕仪 原子力显微镜 接触力学
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Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能测试及其仿真分析
10
作者 李春 杨平 尚帅华 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期63-66,共4页
采用纳米压痕仪测量Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能,结合有限元仿真的手段对压痕测试进行模拟。通过实验测出了双层膜的弹性模量值和硬度值随着压深h的不同而表现出一定的变化规律,以及得出了溅射时由于核能粒子的轰击而形成的界面层的厚... 采用纳米压痕仪测量Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能,结合有限元仿真的手段对压痕测试进行模拟。通过实验测出了双层膜的弹性模量值和硬度值随着压深h的不同而表现出一定的变化规律,以及得出了溅射时由于核能粒子的轰击而形成的界面层的厚度及其力学性能特征。有限元仿真是对纳米压痕实验的补充,找出了应力主要集中在压头附近的区域,并且发现了最大应力主要集中在双层膜的下层Al膜中,而非上层膜Cr膜中。 展开更多
关键词 Cr/Al双层纳米薄膜 纳米压痕仪 力学性能 有限元
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Zr基大块非晶合金的微区变形及力学性能 被引量:8
11
作者 武晓峰 张海峰 +3 位作者 李宏 王爱民 杨洪才 胡壮麒 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1368-1373,共6页
利用纳米压痕仪、扫描电镜等研究了Zr基大块非晶合金在纳米压痕条件下的变形及力学性能。Zr基大块非晶合金在纳米压头作用下以弹性塑性方式变形 ,载荷—位移曲线及压痕周边多重剪切带 (堆起或波纹状 )的特征证明了塑性变形的存在。冷却... 利用纳米压痕仪、扫描电镜等研究了Zr基大块非晶合金在纳米压痕条件下的变形及力学性能。Zr基大块非晶合金在纳米压头作用下以弹性塑性方式变形 ,载荷—位移曲线及压痕周边多重剪切带 (堆起或波纹状 )的特征证明了塑性变形的存在。冷却速度、第二相及退火等因素影响非晶合金的压痕硬度HV和弹性模量E ,冷却速度小的试样或部位 (如试样中心 )的HV ,E值略高 ;离第二相 (W丝 )越近 ,HV ,E值越高 ;退火处理提高非晶的HV ,E值 ,同时退火与第二相还明显改变压痕周边的变形状态及塑性变形量的大小 ,退火显著减小塑性变形量 ,使压痕周边凹陷 ,而第二相使压痕堆起消失。对塑性变形机理进行了初步分析。 展开更多
关键词 锆基大块非晶合金 纳米 变形 力学性能 扫描电镜 纳米压痕仪
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304/Q245R爆炸复合板结合界面的退火组织和硬度 被引量:9
12
作者 张罡 林东升 姜岳峰 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期95-98,118,共4页
针对304/Q245R爆炸焊接复合板,采用扫描电镜(SEM)和纳米压痕仪研究了消应力退火后基材侧结合界面中珠光体(P)和铁素体(F)形态的演变及对硬度的影响.结果表明,细晶区为再结晶形成的直径为1μm的等轴晶粒,原珠光体位置形成的等轴晶粒中,... 针对304/Q245R爆炸焊接复合板,采用扫描电镜(SEM)和纳米压痕仪研究了消应力退火后基材侧结合界面中珠光体(P)和铁素体(F)形态的演变及对硬度的影响.结果表明,细晶区为再结晶形成的直径为1μm的等轴晶粒,原珠光体位置形成的等轴晶粒中,铁素体亚晶尺寸小于100 nm,亚晶界由不连续的球化渗碳体和连续分布的碳原子构成;纤维区中珠光体破碎部位分别发生渗碳体球化和铁素体亚晶析出,部分未破碎的层状珠光体发生时效软化;扭转晶粒区少量破碎的珠光体发生渗碳体球化和铁素体亚晶析出,大量未破碎的层状珠光体区域则发生时效硬化;结合界面中铁素体和珠光体的硬度依据各区域软化或硬化的机制而不同. 展开更多
关键词 爆炸焊接 基材 显微组织 纳米压痕仪
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磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究 被引量:7
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作者 倪晟 孙卓 赵强 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1842-1844,1848,共4页
使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列Al含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜。在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小。Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都... 使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列Al含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜。在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小。Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都高于TiN薄膜。而Al含量较高时(>26%),薄膜的硬度和弹性模量也随含量增加减小。 展开更多
关键词 TIALN薄膜 磁控共溅射 纳米压痕仪 机械性能
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陶瓷润滑油添加剂对渗氮和镀铬缸套作用效果的研究 被引量:3
14
作者 田斌 岳文 +3 位作者 郑鲜 刘沅东 马向东 郭凤炜 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期74-77,80,共5页
在含陶瓷添加剂润滑油润滑下,研究了添加剂分别对渗氮和镀铬两种缸套的作用效果,采用显微硬度计、纳米压痕仪、原子力显微镜和扫描电镜对缸套进行了测试分析。结果表明,该陶瓷添加剂大大改善了两种缸套表面粗糙度,使渗氮处理的缸套表面... 在含陶瓷添加剂润滑油润滑下,研究了添加剂分别对渗氮和镀铬两种缸套的作用效果,采用显微硬度计、纳米压痕仪、原子力显微镜和扫描电镜对缸套进行了测试分析。结果表明,该陶瓷添加剂大大改善了两种缸套表面粗糙度,使渗氮处理的缸套表面硬度有明显提高,使镀铬处理的缸套表面硬度有些许降低。光学显微照片和扫描电镜照片结果表明,添加剂作用后,镀铬缸套表面形成了一层极薄的分布不很均匀的透明物质,从而大大改善了摩擦表面的性能;添加剂对两种缸套的作用机制并不相同。 展开更多
关键词 陶瓷添加剂 渗氮缸套 镀铬缸套 原子力显微镜 纳米压痕仪
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环氧基倍半硅氧烷杂化膜的摩擦性能研究 被引量:1
15
作者 张兴文 孙科军 +1 位作者 胡立江 孙德智 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期185-188,共4页
采用溶胶-凝胶法,将不同含量的正硅酸乙酯(TEOS)与r-缩水甘油醚基丙基三甲基硅烷(GPMS)共水解缩合,所得终产物为有机-无机纳米杂化材料,用浸渍法使其在玻璃基体上成膜,并利用扫描探针电镜(SPM)对膜的形貌进行了表征.通过MTS Nano Indent... 采用溶胶-凝胶法,将不同含量的正硅酸乙酯(TEOS)与r-缩水甘油醚基丙基三甲基硅烷(GPMS)共水解缩合,所得终产物为有机-无机纳米杂化材料,用浸渍法使其在玻璃基体上成膜,并利用扫描探针电镜(SPM)对膜的形貌进行了表征.通过MTS Nano Indenter XP纳米压痕仪研究了TEOS的含量对杂化体系摩擦性能的影响.结果表明,环氧基倍半硅氧烷杂化膜在TEOS含量为5%时表面粗糙度最小、弹性恢复能力最大,TEOS含量为10%时摩擦系数最小. 展开更多
关键词 环氧基倍半硅氧烷 纳米杂化膜 MTS NANO Indenter XP纳米压痕仪 纳米 摩擦性能
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微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 被引量:2
16
作者 陈吉安 杨春生 +5 位作者 周勇 丁桂甫 王莉 王明军 张亚民 张泰华 《微细加工技术》 2003年第3期66-71,共6页
采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为... 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。 展开更多
关键词 MEMS 镍膜微桥结构 弹性模量 残余应力 纳米压痕仪
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脉冲高能量密度等离子体沉积新型TiAlN薄膜 被引量:1
17
作者 柳国萍 刘元富 +1 位作者 张谷令 杨思泽 《新技术新工艺》 北大核心 2004年第5期54-55,共2页
利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下 ,在 45钢基材上制备出了 Ti Al N薄膜。利用 XRD、SEM等手段分析了薄膜的相组成及显微组织 ,利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度分布及薄膜与基材的结合力。结果表明 :薄膜主要组成相为 Ti... 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下 ,在 45钢基材上制备出了 Ti Al N薄膜。利用 XRD、SEM等手段分析了薄膜的相组成及显微组织 ,利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度分布及薄膜与基材的结合力。结果表明 :薄膜主要组成相为 Ti Al N,薄膜组织致密、均匀 。 展开更多
关键词 脉冲高能量密度等离子体 TiA1N薄膜 45钢 沉积 XRD SEM 显微组织 相组成 纳米压痕仪
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分子沉积膜的力学特性研究
18
作者 兰惠清 李德才 张嗣伟 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期320-321,共2页
 在金衬底上制备了分子沉积膜。用原子力显微镜研究了它的摩擦力,结果表明沉积膜能明显地减小摩擦力。用纳米压痕仪研究它的纳米力学特性,结果表明在金表面沉积一层膜后,弹性模量、硬度和载荷都减小,说明分子沉积膜能改善金衬底的纳米...  在金衬底上制备了分子沉积膜。用原子力显微镜研究了它的摩擦力,结果表明沉积膜能明显地减小摩擦力。用纳米压痕仪研究它的纳米力学特性,结果表明在金表面沉积一层膜后,弹性模量、硬度和载荷都减小,说明分子沉积膜能改善金衬底的纳米力学特性。 展开更多
关键词 分子沉积膜 原子力显微镜 纳米压痕仪 力学特性
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基于小波变换的Nanoindenter图像处理
19
作者 张振宇 李鸿琦 周红秀 《工程图学学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期88-92,共5页
根据纳米压痕仪的特点,对小波变换应用于纳米压痕仪图像的降噪、增强及融合方法进行了阐述。采用纳米压痕仪对单晶Al进行纳米级压痕,利用纳米定位平台原位扫描技术获得了三维图像,使用bior3.3,coif2,sym8分别对所得图像进行降噪、增强... 根据纳米压痕仪的特点,对小波变换应用于纳米压痕仪图像的降噪、增强及融合方法进行了阐述。采用纳米压痕仪对单晶Al进行纳米级压痕,利用纳米定位平台原位扫描技术获得了三维图像,使用bior3.3,coif2,sym8分别对所得图像进行降噪、增强、及融合处理。结果表明,利用小波变换对纳米压痕仪图像进行处理是有效的、可行的,图像质量得到明显提高。 展开更多
关键词 信息处理技术 图像降噪 图像增强 图像融合 小波变换 纳米压痕仪
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Si/Al/BN多层膜的制备及研究
20
作者 曲长庆 孙连婕 +2 位作者 陈希明 郭燕 吴小国 《天津理工大学学报》 2012年第1期76-78,88,共4页
本文采用磁控溅射系统制备了Si/Al/BN多层膜结构,并通过XRD,AFM,傅立叶红外光谱仪,纳米压痕仪等对Si/Al/BN多层膜结构进行了表征,表征结果表明本实验制备的Si/Al/BN多层膜基片符合高频声表面波器件基片的要求,为金刚石/IDT/BN多层膜超... 本文采用磁控溅射系统制备了Si/Al/BN多层膜结构,并通过XRD,AFM,傅立叶红外光谱仪,纳米压痕仪等对Si/Al/BN多层膜结构进行了表征,表征结果表明本实验制备的Si/Al/BN多层膜基片符合高频声表面波器件基片的要求,为金刚石/IDT/BN多层膜超高频声表面波器件的制备奠定了基础. 展开更多
关键词 Si/Al/BN多层膜 高频声表面波 原子力显微镜 纳米压痕仪
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