用于MEMS真空封装中的纳米吸气剂

真空的获得和维持是目前MEMS真空封装技术中存在的主要难题之一。实验利用具有高比表面积和自身储气特性的碳纳米管(CNTs)作为骨架,制备一种能在高真空环境(<10-3Torr,分子状态)和低温(<400℃)下吸收活性气体的新型吸气剂——纳米吸气剂。与传统吸气剂意大利SAES公司的St175相比,在500℃下激活10min后,室温下,单位质量的纳米吸气剂吸气速率约是St175的1000倍;而带温(320℃)下测试,约是St175(750℃下激活10min后冷却至400℃下测试)的20倍。

用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析

摘要：采用双槽（自制）电化学腐蚀法在P型单晶硅表面制备多孔硅（PS）层，利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌。研究分析了电流密度为20～60mA／cm2时，多孔硅的孔径、孔深和孔隙率，并分析测试了多孔硅对高浓度乙醇的气敏特性。结果表明，在不同的电流密度腐蚀下，孔径都在10nm左右；随着电流密度的增加，多孔硅的孔深和孔隙率增大且腐蚀的均匀性较好。当电流密度大于40mA／cm2后，腐蚀的均匀性开始变差，灵敏度波动较大。通过对多孔硅气体吸附灵敏度的分析，在电流密度为40mA／cm^2时，对各浓度的乙醇气体的灵敏度相对稳定，均值达到2．24X10^6kΩ，因此该类样品更适用于MEMS高真空封装的纳米吸气剂。