全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统

由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示薄膜折射率的误差<0.1,薄膜厚度的误差<3%。