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纳米多孔SiO2微粉
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作者 许珂敬 杨新春 《硅铝化合物》 2003年第1期11-15,共5页
多孔状纳米SiO2微粉的制备是以水玻璃的盐酸为原料,添加适定的稳定剂(非离了表面活性剂)在适宜的pH值和温度下沉淀合成,要得到性能优良的SiO2纳米微粉,最佳工艺的研究尤其重要,用BDL-B型电位仪,ET,EPMA-电子探针及DTA-TGA等... 多孔状纳米SiO2微粉的制备是以水玻璃的盐酸为原料,添加适定的稳定剂(非离了表面活性剂)在适宜的pH值和温度下沉淀合成,要得到性能优良的SiO2纳米微粉,最佳工艺的研究尤其重要,用BDL-B型电位仪,ET,EPMA-电子探针及DTA-TGA等手段对其性能进行表征,结果表明,制得的SiO2超细微粉,颗粒呈多孔状,具有巨大的比表面积,高达1000m2/g以上,孔径为25A左右,粒度分布均匀,粒度可达纳米级,这种粉末具有特殊的性能。 展开更多
关键词 纳米多孔sio2微粉 化学沉淀法 二氧化硅 生产工艺 水玻璃 盐酸
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溶胶凝胶制备纳米多孔SiO_2光学增透薄膜耐磨特性强化研究 被引量:6
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作者 吴广明 沈军 +2 位作者 王珏 周斌 倪星元 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期374-379,共6页
在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。... 在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明 :采用碱 /酸两步催化法能够明显提高纳米多孔SiO2 光学增透薄膜的力学特性 ,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等力学性能增强归因于SiO2 颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时 ,薄膜折射率仍保持约 1 2 4的较低值 ,光学增透效果良好 ,透射率≥ 99 5 %。 展开更多
关键词 制备 纳米多孔sio2 光学增透薄膜 耐磨特性 强化 溶胶-凝胶技术 二氧化硅 性能 形貌
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超低介电常数纳米多孔SiO_2薄膜制备技术进展 被引量:4
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作者 甄聪棉 刘雪芹 +2 位作者 何志巍 兰伟 王印月 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期878-882,共5页
纳米多孔SiO_2薄膜具有超低的介电常数,作为绝缘介质在超大规模集成电路互连系统有着巨大的应用潜力。文中概述了纳米多孔SiO_2薄膜的孔隙度与介电常数的关系,指出所有模型均位于串联和并联模型之间,介电常数均随孔隙度的增加而下降。... 纳米多孔SiO_2薄膜具有超低的介电常数,作为绝缘介质在超大规模集成电路互连系统有着巨大的应用潜力。文中概述了纳米多孔SiO_2薄膜的孔隙度与介电常数的关系,指出所有模型均位于串联和并联模型之间,介电常数均随孔隙度的增加而下降。说明了多孔siO_2薄膜按孔隙度不同主要分气凝胶和干凝胶两类。介绍了从溶液前驱物中合成的原理,给出了制备纳米多孔SiO_2薄膜的一般流程。详细总结了用气凝胶/干凝胶法和模板法制备纳米多孔SiO_2薄膜的技术进展。探讨了旋转涂覆制备多孔SiO_2薄膜的弱点及改进办法,指明了超低介电常数纳米多孔SiO_2薄膜制备技术的发展方向。 展开更多
关键词 超低介电常数 纳米多孔sio2薄膜 旋转涂覆 综述
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纳米多孔SiO_2功能薄膜制备方法的研究进展 被引量:4
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作者 陈娟 蒋继富 +3 位作者 赵宗彦 张瑾 朱忠其 柳清菊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F05期58-60,共3页
纳米多孔SiO2薄膜的各种优异性能,使其在众多领域中占有极大的应用潜力。对一些新的制备纳米多孔SiO2薄膜的方法如自组装法、酸碱两步催化法、微波合成法进行了概括和总结,并分析了其原理、方法和特点。
关键词 纳米多孔sio2薄膜 溶胶-凝胶法 自组装法 酸碱两步催化法 微波合成法
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纳米多孔SiO_2/PI杂化薄膜的制备与性能研究 被引量:5
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作者 田晶 张瑾 +3 位作者 柳清菊 朱忠其 刘强 曾坤伟 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期870-873,共4页
采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备了掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并利用差热分析(DSC-TGA)、红外吸收光谱(FTIR)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、台阶仪(Atom-ic-P... 采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备了掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并利用差热分析(DSC-TGA)、红外吸收光谱(FTIR)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、台阶仪(Atom-ic-Profiler)等对薄膜的性能进行了分析表征。结果表明,所制备的SiO2/PI杂化多孔薄膜为多孔的无定型结构,具有较好的热稳定性及力学性能,一层膜和两层膜的平均孔径分别为68和72nm,厚度分别为917和1288nm。 展开更多
关键词 纳米多孔sio2/pI杂化薄膜 碱催化 溶胶-凝胶法
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掺杂TiO_2的纳米多孔SiO_2薄膜的制备及性能研究 被引量:4
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作者 陈娟 张瑾 +2 位作者 蒋继富 王向前 柳清菊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期99-101,共3页
采用溶胶-凝胶法、分子模板法及旋转涂覆法在硅衬底上制备掺杂TiO_2的SiO_2薄膜,并采用差热分析(DSC-TGA)、红外吸收光谱(FTIR)、X射线衍射、小角衍射(SAXS)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)以及纸擦拭法(paper-wiping met... 采用溶胶-凝胶法、分子模板法及旋转涂覆法在硅衬底上制备掺杂TiO_2的SiO_2薄膜,并采用差热分析(DSC-TGA)、红外吸收光谱(FTIR)、X射线衍射、小角衍射(SAXS)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)以及纸擦拭法(paper-wiping method)和胶带剥离法(adhesive tpe-stripping method)对薄膜的性能进行了分析与表征,结果表明,薄膜的最佳热处理温度为400℃,所制备的掺杂TiO_2的SiO_2薄膜为多孔结构的无定形态,具有较好的机械性能,平均孔径随着膜层的增加而减小,一层膜和两层膜的平均孔径分别为87.4nm和62.8nm,厚度分别为538.7 nm和1032.3nm。 展开更多
关键词 掺杂TiO2纳米多孔sio2薄膜 溶胶-凝胶法 分子模板法
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疏水型纳米多孔SiO_2薄膜的制备与性能表征 被引量:1
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作者 高庆福 冯坚 +3 位作者 李明月 张长瑞 王小东 冯军宗 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A02期221-224,共4页
采用TMCS对超临界干燥后的纳米多孔SiO2薄膜进行疏水处理,利用FTIR、SEM、椭偏仪和LCR测量仪等对薄膜的性能进行表征。研究表明:TMCS修饰后薄膜呈疏水性;薄膜的厚度有所降低,但孔隙率无明显变化;薄膜的实测介电常数值接近理论计算值,为... 采用TMCS对超临界干燥后的纳米多孔SiO2薄膜进行疏水处理,利用FTIR、SEM、椭偏仪和LCR测量仪等对薄膜的性能进行表征。研究表明:TMCS修饰后薄膜呈疏水性;薄膜的厚度有所降低,但孔隙率无明显变化;薄膜的实测介电常数值接近理论计算值,为2.0~2.3,且随时间无显著增大。 展开更多
关键词 纳米多孔sio2薄膜 疏水处理 低介电常数
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纯水体系SiO2纳米多孔材料的低成本制备与表征 被引量:10
8
作者 赵晶晶 沈军 +3 位作者 邹丽萍 王文琴 祖国庆 张志华 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1081-1084,共4页
以低成本工业级硅溶胶为硅源,水为溶剂,在常压条件下干燥后制备出纳米多孔Si O2块体材料。在制备过程中,采用表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)来降低水的表面张力,减少样品在干燥过程中开裂和收缩,避免了繁琐的溶剂替换过程。所... 以低成本工业级硅溶胶为硅源,水为溶剂,在常压条件下干燥后制备出纳米多孔Si O2块体材料。在制备过程中,采用表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)来降低水的表面张力,减少样品在干燥过程中开裂和收缩,避免了繁琐的溶剂替换过程。所制备的Si O2块体密度为150~260 mg/cm^3,比表面积为91~140 m^2/g,平均孔径为15~27 nm,其室温热导率可达0.048 W/(m·K)。该方法大大缩减了制备Si O2纳米多孔材料的成本,并降低了操作工艺难度和危险,将在很大程度上推动硅纳米孔材料的工业化生产与应用。 展开更多
关键词 sio2纳米多孔材料 硅溶胶 常压干燥 表面活性剂
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γ-Al_2O_3对纳米SiO_2多孔绝热材料烧结行为的影响 被引量:6
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作者 封金鹏 陈德平 +2 位作者 倪文 胡子君 孙陈诚 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期35-38,共4页
针对纳米SiO2多孔绝热材料高温收缩问题,采用纳米γ-Al2O3作为添加剂,研究了煅烧温度和γ-Al2O3添加量对绝热材料体积收缩率的影响,以及γ-Al2O3的引入对材料绝热性能的影响。结果表明:煅烧温度越高,纳米SiO2多孔绝热材料体积收缩越严... 针对纳米SiO2多孔绝热材料高温收缩问题,采用纳米γ-Al2O3作为添加剂,研究了煅烧温度和γ-Al2O3添加量对绝热材料体积收缩率的影响,以及γ-Al2O3的引入对材料绝热性能的影响。结果表明:煅烧温度越高,纳米SiO2多孔绝热材料体积收缩越严重。γ-Al2O3的引入能明显降低绝热材料的高温体积收缩率,当添加量为5%(质量分数)时,1 000℃体积收缩率从10.49%下降至3.47%,随着添加量的增加,抑制体积收缩效果越明显。在高温环境下,γ-Al2O3的引入对纳米SiO2多孔绝热材料绝热性能影响较小。此外,通过固体烧结动力学理论以及XRD、FESEM等表征方法阐释了γ-Al2O3抑制高温收缩机理。 展开更多
关键词 纳米sio2多孔绝热材料 Γ-AL2O3 烧结 体积收缩率
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碱催化多孔SiO_2/PI杂化薄膜的制备与力学性能研究
10
作者 田晶 张瑾 +1 位作者 赵鹤云 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期79-83,共5页
采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并在其表面制备致密过渡膜。利用差热分析(DSC-TGA)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)、微纳... 采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并在其表面制备致密过渡膜。利用差热分析(DSC-TGA)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)、微纳力学性能测试仪(Universal Nano+Micro Mechanical Tester)等对薄膜的性能进行了分析表征。结果表明,所制备的SiO2/PI杂化多孔薄膜具有较好的力学性能和热稳定性;一层膜和两层膜的平均厚度分别为917和1288nm;镀有过渡膜的样品具有最为平整的表面形貌和最小的表面动摩擦系数。 展开更多
关键词 碱催化 纳米多孔sio2/PI杂化薄膜 表面过渡层 力学性能
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三甲基氯硅烷对纳米多孔二氧化硅薄膜的修饰 被引量:18
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作者 王娟 张长瑞 冯坚 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1399-1403,共5页
以正硅酸乙酯为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.用三甲基氯硅烷(TMCS)对该SiO2薄膜进行了表面修饰,采用FTIR、TG-DTA、AFM和椭偏仪等方法研究了TMCS修饰前后薄膜的结构、形貌、厚... 以正硅酸乙酯为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.用三甲基氯硅烷(TMCS)对该SiO2薄膜进行了表面修饰,采用FTIR、TG-DTA、AFM和椭偏仪等方法研究了TMCS修饰前后薄膜的结构、形貌、厚度与介电常数等性能.超临界干燥后的SiO2薄膜含有Si-O-Si与Si-OR结构,呈疏水性.在空气中250℃以上热处理后SiO2薄膜因含有Si-OH而呈吸水性.TMCS修饰后的SiO2薄膜在温度不高于450℃时可保持其疏水性和多孔结构.SiO2薄膜经TMCS修饰后基本粒子和孔隙尺寸增大,孔隙率提高,介电常数可降低至2.5以下. 展开更多
关键词 纳米多孔sio2薄膜 溶胶-凝胶 三甲基氯硅烷 低介电常数(low κ)
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实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响 被引量:4
12
作者 王娟 张长瑞 冯坚 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期16-19,29,共5页
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30~40nm。利用椭偏仪... 以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30~40nm。利用椭偏仪测量了薄膜的厚度和折射率,薄膜的厚度为300~1100nm,折射率为1.13~1.23,孔隙率为50%~70%,介电常数为1.9~2.4。SiO2薄膜的厚度随溶剂异丙醇(IPA)用量的减少、催化剂NH4OH用量的增加、SiO2溶胶粘度的增大和旋转涂胶速度的降低而增大;介电常数随NH4OH用量和SiO2溶胶粘度的增加而降低,IPA用量和旋转速度对SiO2薄膜的介电常数影响较小。 展开更多
关键词 纳米多孔sio2薄膜 溶胶-凝胶 低介电常数
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新型阿维菌素纳米控释剂的制备及性能研究 被引量:18
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作者 李珠柱 文利雄 +3 位作者 刘凡 刘安琪 王青 陈建峰 《农药学学报》 CAS CSCD 2005年第3期275-281,共7页
提出利用无机-有机双模板法,即以纳米碳酸钙(平均粒径为70 nm左右)作为无机模板,表面活性剂吸附在其表面作为有机模板,以硅酸钠为硅源,通过溶胶-凝胶法,制备出空心多孔SiO2纳米颗粒,其粒径很小,平均约100 nm,壁厚大约15 nm,孔径约4.5 n... 提出利用无机-有机双模板法,即以纳米碳酸钙(平均粒径为70 nm左右)作为无机模板,表面活性剂吸附在其表面作为有机模板,以硅酸钠为硅源,通过溶胶-凝胶法,制备出空心多孔SiO2纳米颗粒,其粒径很小,平均约100 nm,壁厚大约15 nm,孔径约4.5 nm。首次采用空心多孔SiO2纳米颗粒作为控释载体对阿维菌素进行载药研究。结果表明:空心多孔SiO2纳米颗粒对阿维菌素有较强的吸附能力,包埋率高达62.5%;其对阿维菌素的吸附主要为物理吸附;初步观察发现,空心多孔SiO2纳米颗粒能够保护阿维菌素不被紫外光降解。阿维菌素纳米控释剂(Av-PHSN)在连续不断搅拌的溶出介质中的控制释放时间可长达33 h以上,这表明新型空心多孔SiO2纳米控释剂具有很好的缓释效果。因此,空心多孔SiO2纳米颗粒可望作为理想的新一代农药保护型控释载体。 展开更多
关键词 空心多孔sio2纳米颗粒 纳米控释载体 阿维菌素 控制释放 紫外线
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以稻壳为模板制备TO_2/SiO_2纳米孔复合材料及其催化性能(英文) 被引量:2
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作者 陈辉 赵雷 +2 位作者 王玺堂 李淑静 雷中兴 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1607-1611,共5页
以稻壳为模板及硅原,采用溶胶凝胶法制备了具有高锐钛矿含量、高比表面积和较优光催化性能的TiO2/SiO2纳米孔复合材料。采用综合热分析仪(TG-DSC)、X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜、和N2吸/脱附手段对所制材料的热学性能、显... 以稻壳为模板及硅原,采用溶胶凝胶法制备了具有高锐钛矿含量、高比表面积和较优光催化性能的TiO2/SiO2纳米孔复合材料。采用综合热分析仪(TG-DSC)、X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜、和N2吸/脱附手段对所制材料的热学性能、显微结构和化学组成经行了表征。结果表明,复合材料中锐钛矿型TiO2在700~800℃热处理后开始转变为金红石TiO2,1000℃转变完全。当处理温度在500~600℃时,纳米二氧化钛颗粒在稻壳引理生长,形成催化活性点。随着处理温度的升高,二氧化钛在稻壳孔隙结构表面形成层状结构。处理温度500℃时,TiO2/SiO2纳米孔复合材料具有最佳的催化性能,对甲基蓝的降解4 h达82%。 展开更多
关键词 稻壳 模板 TiO2/sio2纳米多孔复合材料 光催化性能
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低介电常数介质薄膜的研究进展 被引量:6
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作者 王娟 张长瑞 冯坚 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1001-1011,共11页
用低介电常数介质薄膜作金属线间和层间介质可以降低超大规模集成电路(ULSI)的互连延迟、串扰和能耗。从介质极化的原理出发,揭示了开发低介电常数介质薄膜的可能途径;综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性... 用低介电常数介质薄膜作金属线间和层间介质可以降低超大规模集成电路(ULSI)的互连延迟、串扰和能耗。从介质极化的原理出发,揭示了开发低介电常数介质薄膜的可能途径;综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性等领域的最新进展。 展开更多
关键词 低介电常数介质薄膜 多孔薄膜 SSQ基介质 纳米多孔sio2薄膜 含氟氧化硅(sioF)薄膜 含碳氧化硅(sioCH)薄膜 有机聚合物介质
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Preparation of Nano-sized Silica-alumina Support by Supersolubilizing Self-assembly Technique
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作者 Liu Yan Zhao Shanlin +3 位作者 Li Ping Jin Yingjie Zhang Xin Zhai Yuchun 《China Petroleum Processing & Petrochemical Technology》 SCIE CAS 2011年第1期32-37,共6页
Nano-sized silica-alumina particles were in-situ synthesized in supersolubilizing reverse micellae.Both the most probable pore diameters and the particle sizes were distributed in nano-scale SiO2-Al2O3 particulates.Th... Nano-sized silica-alumina particles were in-situ synthesized in supersolubilizing reverse micellae.Both the most probable pore diameters and the particle sizes were distributed in nano-scale SiO2-Al2O3 particulates.The influence of SiO2/Al2O3 mass ratio and the surfactant content on the particle size and morphology,pore structure,and acidity was characterized by the low temperature nitrogen adsorption/desorption (BET),SEM,TEM and NH3-TPD methods.The test results indicated that the most probable pore diameter of SiO2-Al2O3 nanoparticles was around 10 nm,the specific surface area was about 223-286 m2 /g,the pore volumes were about 0.48-0.63 cm 3 /g,and the particle sizes of porous SiO2-Al2O3 calcined at 550 ℃ were distributed always in the range between 10 nm to 50 nm.The calcined SiO2-Al2O3 nano-powders showed their acidity being stronger than the porous γ-Al2O3 support. 展开更多
关键词 supersolubility NANOPARTICLE SELF-ASSEMBLY porous silica-alumina
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