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基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
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作者 周亮 王兵 +3 位作者 熊鹰 叶勤燕 王东 吴高华 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期75-78,共4页
通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗... 通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗糙度为16.56 nm,薄膜平均生长速率约为0.6μm/h。此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法。 展开更多
关键词 富勒烯C60 纳米晶金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积
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氧氛围下PLD法沉积纳米金刚石薄膜
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作者 欧阳钢 郭建 +1 位作者 颜晓红 丁书龙 《湘潭大学自然科学学报》 CAS CSCD 2003年第2期30-33,共4页
用固体脉冲激光 (Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2 O3(0 0 0 1)上沉积纳米金刚石薄膜 .用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析 .结果表明 :显微Raman谱出现三个峰包 :115 0cm- 1 、13 5 0cm- 1 、15 80cm- ... 用固体脉冲激光 (Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2 O3(0 0 0 1)上沉积纳米金刚石薄膜 .用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析 .结果表明 :显微Raman谱出现三个峰包 :115 0cm- 1 、13 5 0cm- 1 、15 80cm- 1 ,分别对应着纳米金刚石特征峰、石墨的D峰和G峰 ;XRD衍射谱在 41.42°出现金刚石的 (10 0 )衍射峰 .实验结果表明 ,影响薄膜生长的关键参数主要是氧气压的大小和衬底的温度 .在氧气压为 6Pa和衬底温度为 5 5 0℃时 ,制备的薄膜质量较好 . 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 纳米晶金刚石薄膜 生长机理
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340 GHz宽带金刚石输能窗的设计优化与试验研究
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作者 张琳 潘攀 +5 位作者 李莉莉 高大川 李亚南 马可心 蔡军 冯进军 《真空电子技术》 2024年第5期83-85,92,共4页
针对340 GHz行波管用金刚石输能窗的宽带传输要求,基于多晶金刚石膜和微米晶-超纳米晶金刚石复合膜,开展了金刚石输能窗的优化设计与试验验证研究。研究结果表明,多晶金刚石输能窗在320~363 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-3 dB... 针对340 GHz行波管用金刚石输能窗的宽带传输要求,基于多晶金刚石膜和微米晶-超纳米晶金刚石复合膜,开展了金刚石输能窗的优化设计与试验验证研究。研究结果表明,多晶金刚石输能窗在320~363 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-3 dB;微米晶-超纳米晶复合金刚石输能窗在313~385 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-2.5 dB,同比工作带宽增加近2倍,有效拓展了金刚石输能窗的工作带宽。 展开更多
关键词 340 GHz行波管 输能窗 微米-超纳米复合金刚石薄膜 带宽
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Fabrication and application of nano/microcrystalline composite diamond coated drawing dies using alternative carbon sources 被引量:1
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作者 Cheng-chuan WANG Xin-chang WANG Fang-hong SUN 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期1602-1610,共9页
Nano/microcrystalline composite diamond films were deposited on the holes of WC-6%Co drawing dies by a two-step procedure using alternative carbon sources, i.e., methane for the microcrystalline diamond(MCD) layer a... Nano/microcrystalline composite diamond films were deposited on the holes of WC-6%Co drawing dies by a two-step procedure using alternative carbon sources, i.e., methane for the microcrystalline diamond(MCD) layer and acetone for the nanocrystalline diamond(NCD) layer. Moreover, the monolayer methane-MCD and acetone-NCD coated drawing dies were fabricated as comparisons. The adhesion and wear rates of the diamond coated drawing dies were also tested by an inner hole polishing apparatus. Compared with mono-layer diamond coated drawing die, the composite diamond coated one exhibits better comprehensive performance, including higher adhesive strength and better wear resistance than the NCD one, and smoother surface(Ra=65.3 nm) than the MCD one(Ra=95.6 nm) after polishing at the same time. Compared with the NCD coated drawing die, the working lifetime of the composite diamond coated one is increased by nearly 20 times. 展开更多
关键词 MICROCRYSTALLINE NANOCRYSTALLINE composite diamond film WC Co drawing die alternative carbon source
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