用于纳米生产的等离子逆变电源的研制及应用

IGBT逆变电源的应用越来越受到人们的关注,尤其是在生产纳米装置中的应用。IGBT的使用,使得产品具有高频化、小型化、精度高、效率高和重量轻等优点。频率高、电压高的大功率电源,控制系统也较复杂,这就需要不断创新。主要介绍了等离子逆变电源的构成、工作原理和关键器件的选型,并通过控制系统及温升实验进行验证,达到满意的效果。